-
题名基于光流像素匹配的扫描显微相位测量轮廓术
- 1
-
-
作者
王思远
刘元坤
于馨
-
机构
四川大学电子信息学院
-
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期37-46,共10页
-
基金
国家重点研发计划(2022YFF0712902)。
-
文摘
在扫描相位测量轮廓术中,需要先将不同位置的物体匹配到同一点,再根据相移算法提取相位信息,而像素匹配精度与相移算法均会影响测量精度。为此,采用显微系统,根据其远心光路特性实现物体移动量与像素移动量的等量转换;通过交替采集白场图像和条纹图像,由白场图像通过光流法实现精确的像素匹配,再根据物体匀速运动特点实现条纹图像的精确像素匹配;根据初始条纹周期选择基本符合满周期的N幅条纹图,由任意步数相移方法计算出截断相位分布,再通过概率密度函数搜索最佳条纹周期,进而得到准确的相位信息,完成物体形貌测量。实验表明,所提方法有效提高了测量精度,相移算法也适用于任意N(N≥3)幅图,在模拟工业流水线场景中物体的三维测量时,RMSE(均方根误差)可达0.008 mm左右。
-
关键词
扫描测量
光流法
显微系统
概率密度函数
任意n步相移
-
Keywords
scanning measurement
optical flow method
microscopic system
probability density function
arbitrary n-step phase-shifting
-
分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
O438
[机械工程—光学工程]
-
