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掺氮二氧化钛薄膜的介质阻挡放电化学气相沉积及其结构性能研究
被引量:
5
1
作者
李喆
张溪文
韩高荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期318-324,共7页
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法,以四异丙醇钛(TTIP)作为钛源,氨气(NH3)和笑气(N2O)分别作为氮源的气相反应先驱体,成功制备了不同掺杂量的掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。SEM、XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明:所制得的掺氮二氧...
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法,以四异丙醇钛(TTIP)作为钛源,氨气(NH3)和笑气(N2O)分别作为氮源的气相反应先驱体,成功制备了不同掺杂量的掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。SEM、XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明:所制得的掺氮二氧化钛薄膜均为锐钛矿相,氮源的引入对TiO2薄膜晶粒成长、晶体取向、表面形貌影响很大,并促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。且NH3掺氮效果整体好于N2O。
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关键词
介质
阻挡
放
电化学
气
相
沉积
掺氮TiO2薄膜
光催化性
亲水性
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职称材料
DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能
被引量:
1
2
作者
高倩
李喆
+3 位作者
李铭
刘涌
宋晨路
韩高荣
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期93-97,共5页
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备TiO2透明自清洁功能薄膜,选用四异丙醇钛(TTIP)、NH3作为反应先驱体,另外再加入一定量的N2、Ar或者He作为稀释气体控制气体的流量和流速。通过对其进行X射线衍射、紫外-可见光谱、X光电子...
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备TiO2透明自清洁功能薄膜,选用四异丙醇钛(TTIP)、NH3作为反应先驱体,另外再加入一定量的N2、Ar或者He作为稀释气体控制气体的流量和流速。通过对其进行X射线衍射、紫外-可见光谱、X光电子能谱、场发射扫描电镜、光催化性质、光亲水性质等测试表明,过DBD-CVD方法制备TiO2薄膜,只存在锐钛矿相,氮掺杂改变了薄膜中锐钛矿相晶粒生长的取向,从而影响薄膜的表面微观结构,促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。
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关键词
TIO2薄膜
介质
阻挡
放
电化学
气
相
沉积
(
dbd-cvd
)
表面微观结构
掺N
光催化性
亲水性
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职称材料
题名
掺氮二氧化钛薄膜的介质阻挡放电化学气相沉积及其结构性能研究
被引量:
5
1
作者
李喆
张溪文
韩高荣
机构
浙江大学硅材料国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期318-324,共7页
基金
国家重点基础研究发展计划(No.2007CB613403)
浙江省科技计划项目纳米技术攻关及示范应用专项(No.2006C11118)
高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目(No.705026)
文摘
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法,以四异丙醇钛(TTIP)作为钛源,氨气(NH3)和笑气(N2O)分别作为氮源的气相反应先驱体,成功制备了不同掺杂量的掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。SEM、XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明:所制得的掺氮二氧化钛薄膜均为锐钛矿相,氮源的引入对TiO2薄膜晶粒成长、晶体取向、表面形貌影响很大,并促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。且NH3掺氮效果整体好于N2O。
关键词
介质
阻挡
放
电化学
气
相
沉积
掺氮TiO2薄膜
光催化性
亲水性
Keywords
dbd-cvd
, N doped titanium dioxide film, Photocatalysis, Hydrophilicity
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能
被引量:
1
2
作者
高倩
李喆
李铭
刘涌
宋晨路
韩高荣
机构
浙江大学材料科学与工程学系
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期93-97,共5页
基金
国家科技支撑计划资助项目(2011BAE14B02)
文摘
采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备TiO2透明自清洁功能薄膜,选用四异丙醇钛(TTIP)、NH3作为反应先驱体,另外再加入一定量的N2、Ar或者He作为稀释气体控制气体的流量和流速。通过对其进行X射线衍射、紫外-可见光谱、X光电子能谱、场发射扫描电镜、光催化性质、光亲水性质等测试表明,过DBD-CVD方法制备TiO2薄膜,只存在锐钛矿相,氮掺杂改变了薄膜中锐钛矿相晶粒生长的取向,从而影响薄膜的表面微观结构,促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。
关键词
TIO2薄膜
介质
阻挡
放
电化学
气
相
沉积
(
dbd-cvd
)
表面微观结构
掺N
光催化性
亲水性
Keywords
TiO2 thin films
dbd-cvd
surface microstructure
N doping
photocatalysis and hydrophilicity
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺氮二氧化钛薄膜的介质阻挡放电化学气相沉积及其结构性能研究
李喆
张溪文
韩高荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
在线阅读
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职称材料
2
DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能
高倩
李喆
李铭
刘涌
宋晨路
韩高荣
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
已选择
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