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一种可同时测量位移和角度的电容式传感器设计 被引量:7
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作者 叶湘滨 刘正春 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第3期34-37,共4页
提出了一种可同时测量位移和角度的变面积式差动电容传感器的设计方案。位移测量范围为-50~50mm,准确度可达0.2mm,角度测量范围为0~180°,准确度可达0.5°。通过在结构上采用介质差动法,该传感器克服了边缘效应的影响,具有测... 提出了一种可同时测量位移和角度的变面积式差动电容传感器的设计方案。位移测量范围为-50~50mm,准确度可达0.2mm,角度测量范围为0~180°,准确度可达0.5°。通过在结构上采用介质差动法,该传感器克服了边缘效应的影响,具有测量范围宽、线性度良好、受温度影响小等优点。 展开更多
关键词 电容式传感器 位移 角度 介质差动法 脉宽调制电路
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