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基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟
被引量:
4
1
作者
岳瑞峰
曾雪锋
+2 位作者
吴建刚
康明
刘理天
《电子器件》
EI
CAS
2006年第3期778-780,共3页
根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于20...
根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于200μm时,液滴分离容易失败。模拟结果与已有的实验结果符合的非常好。
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关键词
介质上电润湿
数字微流控器件
“三明治”结构
模拟
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职称材料
导电硅橡胶电极片上的介质上电润湿特性
被引量:
3
2
作者
梁忠诚
李菁
+3 位作者
信恒杰
杨鹏
陈陶
赵瑞
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期146-150,共5页
采用特定的"导电硅橡胶基片/绝缘膜层"微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性。实验获得了不同绝缘层厚度和相对介电常数下导电液滴接触角随电压变化的图形,得到了不同材料组合的EWOD特性。实验结果表明,导...
采用特定的"导电硅橡胶基片/绝缘膜层"微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性。实验获得了不同绝缘层厚度和相对介电常数下导电液滴接触角随电压变化的图形,得到了不同材料组合的EWOD特性。实验结果表明,导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大;在硅橡胶绝缘层厚度不同的情况下,绝缘层厚度与接触角余弦值变化率成反比;在绝缘层相同厚度情况下,硅橡胶绝缘层性能要优于派瑞林绝缘层。相关结论为新型微流控光学变焦透镜阵列器件的设计和研制提供了重要依据。
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关键词
导
电
硅橡胶
介质上电润湿
绝缘层参数
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职称材料
基于介质上电润湿的液滴产生器的研究
被引量:
3
3
作者
岳瑞峰
吴建刚
+2 位作者
曾雪锋
康明
刘理天
《电子器件》
CAS
2007年第1期41-45,共5页
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵...
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
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关键词
介质上电润湿
液滴的操纵与控制
数字微流控系统
芯片实验室
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职称材料
基于介质上电润湿的微流控多功能器件
被引量:
1
4
作者
蒙列
万静
+2 位作者
袁文志
陈一净
朱旭
《光通信研究》
2022年第3期50-54,共5页
文章提出了一种微流控多功能器件,利用介质上电润湿(EWOD)效应灵活改变进光能量,可实现可变光圈、可变光衰减器和光开关等多个功能。其具有结构简单、体积小、操作简便、应用广且灵活和成本低等优点。文章分析讨论了所提微流控多功能器...
文章提出了一种微流控多功能器件,利用介质上电润湿(EWOD)效应灵活改变进光能量,可实现可变光圈、可变光衰减器和光开关等多个功能。其具有结构简单、体积小、操作简便、应用广且灵活和成本低等优点。文章分析讨论了所提微流控多功能器件的光学特性并做了结构优化。研究结果表明,所提微流控多功能器件的插入损耗很小,仅为0.014 dB;液体可变光圈的通光孔径变化范围为0~0.506 mm;可变光衰减器理论上具有0~100%的可变衰减范围,外加91.1 V电压时的衰减量为40.2 dB;微流控光开关无电压时处于“关”状态,外加电压大于135 V时,处于“开”状态。
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关键词
微流控光学
介质上电润湿
可变光圈
可变光衰减器
光开关
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职称材料
介电材料在介电润湿器件中的应用进展
被引量:
3
5
作者
王亮
段俊萍
+1 位作者
王万军
张斌珍
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第19期70-76,88,共8页
介电材料的选择以及介电层的制备是介电润湿器件制作工艺中最关键的部分,在介电润湿器件中,介电层不仅是其重要组成部分,也是影响器件实用性能和具体应用领域的关键。首先简述了介电润湿驱动的原理以及介电材料的选取原则,然后在结合国...
介电材料的选择以及介电层的制备是介电润湿器件制作工艺中最关键的部分,在介电润湿器件中,介电层不仅是其重要组成部分,也是影响器件实用性能和具体应用领域的关键。首先简述了介电润湿驱动的原理以及介电材料的选取原则,然后在结合国内外该领域研究现状的基础上对已报道的介电材料在各类介电润湿器件中的应用实例进行了归纳,最后对目前介电材料在应用中出现的问题以及解决方法进行了讨论。
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关键词
介
电
材料
介质上电润湿
微流控
液体透镜
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职称材料
新型低驱动电压电子纸显示单元的研究
被引量:
1
6
作者
吴建刚
岳瑞峰
+1 位作者
曾雪锋
刘理天
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期198-200,共3页
研制了一种基于介质上电润湿(electrow etting-on-d ielectric,EWOD)的新型低驱动电压电子纸反射式显示单元器件.本文分析了器件的工作原理以及性能影响因素,并提出用优化的氮化硅与碳氟聚合物复合介质层来改善器件的驱动电压.实验证实...
研制了一种基于介质上电润湿(electrow etting-on-d ielectric,EWOD)的新型低驱动电压电子纸反射式显示单元器件.本文分析了器件的工作原理以及性能影响因素,并提出用优化的氮化硅与碳氟聚合物复合介质层来改善器件的驱动电压.实验证实,器件在15V低电压驱动下成功实现了“开启”、“关闭”功能,其“开启”、“关闭”响应时间小于1/30 s.
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关键词
反射式显示
介质上电润湿
微流体
微
电
子机械系统
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职称材料
基于液体光阑的微流控可变光衰减器阵列
7
作者
万静
俞廷杰
+2 位作者
陈建松
周瑞
万洪丹
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期609-614,共6页
可变光衰减器(Variable optical attenuator,VOA)广泛应用于光通信和光电子系统中,然而很少有VOA阵列的报道。本文提出一种基于液体光阑的微流控VOA阵列,利用螺旋形轨道实现多光束能量同步非等量衰减,或者使用环形轨道同步等量衰减,其...
可变光衰减器(Variable optical attenuator,VOA)广泛应用于光通信和光电子系统中,然而很少有VOA阵列的报道。本文提出一种基于液体光阑的微流控VOA阵列,利用螺旋形轨道实现多光束能量同步非等量衰减,或者使用环形轨道同步等量衰减,其中液体光阑的通光孔径通过介质上电润湿效应调节。该VOA阵列结构紧凑、体积小、操作简单、成本低,可灵活调整多光束之间的衰减比以实现多信道功率均衡。研究结果表明:所提微流控VOA阵列具有超越一般VOA阵列的宽衰减范围(0-100%衰减)和很小的插入损耗(0.26 dB),响应时间为0.1 ms,对偏振不敏感。它也能兼作光开关阵列。所提VOA阵列展示了集成和高性能的潜力,并为应用提供一种经济有效的方式。
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关键词
微流控光学
可变光衰减器阵列
液体光阑
介质上电润湿
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职称材料
新型开放式液滴驱动芯片
被引量:
1
8
作者
吴建刚
岳瑞峰
+1 位作者
曾雪锋
刘理天
《电子器件》
EI
CAS
2005年第4期699-702,共4页
研制出一种利用介质上电润湿(Electrowetting-on-dielectric,EWOD)机理的新型开放式离散液滴驱动器,它采用重掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水介质层,悬挂的细硅铝丝作为参考零电极。通过控制施加在微电...
研制出一种利用介质上电润湿(Electrowetting-on-dielectric,EWOD)机理的新型开放式离散液滴驱动器,它采用重掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水介质层,悬挂的细硅铝丝作为参考零电极。通过控制施加在微电极阵列上的脉冲电压时序,来精确操作和控制疏水介质层表面液滴的运动。该器件采用了悬挂线开放式结构,在空气环境下,在40V低驱动脉冲电压下成功实现了液滴的传输。
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关键词
微全分析系统
微流控
介质上电润湿
开放式结构
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职称材料
微流控矩阵光开关
被引量:
1
9
作者
蒙列
万静
+3 位作者
张伟
郭明瑞
罗曜伟
俞廷杰
《光通信研究》
2022年第6期58-63,共6页
通常一种光开关只适用于一个特定的较窄领域。文章提出了一种基于介质上电润湿驱动技术的微流控矩阵光开关,可较广泛地应用于光通信和光电子系统中,并且结构简单、操作方便、偏振无关,易集成大型矩阵开关。文章给出了矩阵光开关的结构...
通常一种光开关只适用于一个特定的较窄领域。文章提出了一种基于介质上电润湿驱动技术的微流控矩阵光开关,可较广泛地应用于光通信和光电子系统中,并且结构简单、操作方便、偏振无关,易集成大型矩阵开关。文章给出了矩阵光开关的结构和工作原理,并设计了矩阵驱动电路。光开关的工作电压为58 V。研究结果表明:此矩阵光开关从“开”到“关”和从“关”到“开”的响应时间分别为120和100 ms;其插入损耗为0.26 dB,远比一般矩阵光开关低;消光比大,为139.7 dB。此外,文章给出了两种应用方案:光电显示器和多光束阵列开关。该课题的工作可为大型可集成矩阵光开关提供新的思路,并可促进微流控光学在光电子系统中的应用。
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关键词
微流控光学
介质上电润湿
效应
矩阵光开关
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职称材料
题名
基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟
被引量:
4
1
作者
岳瑞峰
曾雪锋
吴建刚
康明
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《电子器件》
EI
CAS
2006年第3期778-780,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10472055)
清华大学基础研究基金资助项目(JC2003060)
文摘
根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于200μm时,液滴分离容易失败。模拟结果与已有的实验结果符合的非常好。
关键词
介质上电润湿
数字微流控器件
“三明治”结构
模拟
Keywords
electrowetting-on-dielectric
digital microfluidic device
sandwich structure
simulation
分类号
O35 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
导电硅橡胶电极片上的介质上电润湿特性
被引量:
3
2
作者
梁忠诚
李菁
信恒杰
杨鹏
陈陶
赵瑞
机构
南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期146-150,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60878037)
南京邮电大学攀登计划资助项目(NY206076)
文摘
采用特定的"导电硅橡胶基片/绝缘膜层"微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性。实验获得了不同绝缘层厚度和相对介电常数下导电液滴接触角随电压变化的图形,得到了不同材料组合的EWOD特性。实验结果表明,导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大;在硅橡胶绝缘层厚度不同的情况下,绝缘层厚度与接触角余弦值变化率成反比;在绝缘层相同厚度情况下,硅橡胶绝缘层性能要优于派瑞林绝缘层。相关结论为新型微流控光学变焦透镜阵列器件的设计和研制提供了重要依据。
关键词
导
电
硅橡胶
介质上电润湿
绝缘层参数
Keywords
conductive silicone rubber
electrowetting-on-dielectric
parameters of insulating layer
分类号
TN204 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于介质上电润湿的液滴产生器的研究
被引量:
3
3
作者
岳瑞峰
吴建刚
曾雪锋
康明
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《电子器件》
CAS
2007年第1期41-45,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10472055)
清华大学基础研究基金资助项目(JC2003060)
文摘
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
关键词
介质上电润湿
液滴的操纵与控制
数字微流控系统
芯片实验室
Keywords
Electrowetting-on-Dielectric (EWOD)
manipulation and control of droplet of liquid
digital microfluidic system
lab on a chip
分类号
O35 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
基于介质上电润湿的微流控多功能器件
被引量:
1
4
作者
蒙列
万静
袁文志
陈一净
朱旭
机构
南京邮电大学
出处
《光通信研究》
2022年第3期50-54,共5页
基金
万静自然学科横向科研发展基金资助项目(HJ1060319960015)。
文摘
文章提出了一种微流控多功能器件,利用介质上电润湿(EWOD)效应灵活改变进光能量,可实现可变光圈、可变光衰减器和光开关等多个功能。其具有结构简单、体积小、操作简便、应用广且灵活和成本低等优点。文章分析讨论了所提微流控多功能器件的光学特性并做了结构优化。研究结果表明,所提微流控多功能器件的插入损耗很小,仅为0.014 dB;液体可变光圈的通光孔径变化范围为0~0.506 mm;可变光衰减器理论上具有0~100%的可变衰减范围,外加91.1 V电压时的衰减量为40.2 dB;微流控光开关无电压时处于“关”状态,外加电压大于135 V时,处于“开”状态。
关键词
微流控光学
介质上电润湿
可变光圈
可变光衰减器
光开关
Keywords
optofluidic
EWOD
variable aperture
variable optical attenuator
optical switch
分类号
O4361.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
介电材料在介电润湿器件中的应用进展
被引量:
3
5
作者
王亮
段俊萍
王万军
张斌珍
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
路易斯安那州立大学机械工程系
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第19期70-76,88,共8页
基金
国家自然科学基金(51475438
61401405)
山西省留学基金(2014-060)
文摘
介电材料的选择以及介电层的制备是介电润湿器件制作工艺中最关键的部分,在介电润湿器件中,介电层不仅是其重要组成部分,也是影响器件实用性能和具体应用领域的关键。首先简述了介电润湿驱动的原理以及介电材料的选取原则,然后在结合国内外该领域研究现状的基础上对已报道的介电材料在各类介电润湿器件中的应用实例进行了归纳,最后对目前介电材料在应用中出现的问题以及解决方法进行了讨论。
关键词
介
电
材料
介质上电润湿
微流控
液体透镜
Keywords
dielectric material, electrowetting-on-dielectric, microfluidic, liquid lens
分类号
TB303 [一般工业技术—材料科学与工程]
TP604 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
新型低驱动电压电子纸显示单元的研究
被引量:
1
6
作者
吴建刚
岳瑞峰
曾雪锋
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期198-200,共3页
基金
国家自然科学基金(No.10472055)
清华大学基础研究基金(No.JC2003060)
文摘
研制了一种基于介质上电润湿(electrow etting-on-d ielectric,EWOD)的新型低驱动电压电子纸反射式显示单元器件.本文分析了器件的工作原理以及性能影响因素,并提出用优化的氮化硅与碳氟聚合物复合介质层来改善器件的驱动电压.实验证实,器件在15V低电压驱动下成功实现了“开启”、“关闭”功能,其“开启”、“关闭”响应时间小于1/30 s.
关键词
反射式显示
介质上电润湿
微流体
微
电
子机械系统
Keywords
reflective display
electrowetting-on-dielectric
microfluidics
MEMS
分类号
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
TN27 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于液体光阑的微流控可变光衰减器阵列
7
作者
万静
俞廷杰
陈建松
周瑞
万洪丹
机构
南京邮电大学电子与光学工程学院
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期609-614,共6页
基金
中国国家自然科学基金(12174199)
万静自然学科横向科研发展基金(HJ1060319960015)。
文摘
可变光衰减器(Variable optical attenuator,VOA)广泛应用于光通信和光电子系统中,然而很少有VOA阵列的报道。本文提出一种基于液体光阑的微流控VOA阵列,利用螺旋形轨道实现多光束能量同步非等量衰减,或者使用环形轨道同步等量衰减,其中液体光阑的通光孔径通过介质上电润湿效应调节。该VOA阵列结构紧凑、体积小、操作简单、成本低,可灵活调整多光束之间的衰减比以实现多信道功率均衡。研究结果表明:所提微流控VOA阵列具有超越一般VOA阵列的宽衰减范围(0-100%衰减)和很小的插入损耗(0.26 dB),响应时间为0.1 ms,对偏振不敏感。它也能兼作光开关阵列。所提VOA阵列展示了集成和高性能的潜力,并为应用提供一种经济有效的方式。
关键词
微流控光学
可变光衰减器阵列
液体光阑
介质上电润湿
Keywords
optofluidics
variable optical attenuator array
liquid stop
electrowetting-on-dielectric
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
新型开放式液滴驱动芯片
被引量:
1
8
作者
吴建刚
岳瑞峰
曾雪锋
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《电子器件》
EI
CAS
2005年第4期699-702,共4页
基金
基于介质上电润湿的液滴操纵与控制技术研究(10472055)
清华大学基础研究资金:用于芯片实验室的液滴操作与控制研究(JC2003060)
文摘
研制出一种利用介质上电润湿(Electrowetting-on-dielectric,EWOD)机理的新型开放式离散液滴驱动器,它采用重掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水介质层,悬挂的细硅铝丝作为参考零电极。通过控制施加在微电极阵列上的脉冲电压时序,来精确操作和控制疏水介质层表面液滴的运动。该器件采用了悬挂线开放式结构,在空气环境下,在40V低驱动脉冲电压下成功实现了液滴的传输。
关键词
微全分析系统
微流控
介质上电润湿
开放式结构
Keywords
micro-total-analysis system
microfluidics
electrowetting-on-dielectric
open-structure
分类号
TN401 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
微流控矩阵光开关
被引量:
1
9
作者
蒙列
万静
张伟
郭明瑞
罗曜伟
俞廷杰
机构
南京邮电大学
出处
《光通信研究》
2022年第6期58-63,共6页
基金
自然学科横向科研发展基金资助项目(HJ1060319960015)。
文摘
通常一种光开关只适用于一个特定的较窄领域。文章提出了一种基于介质上电润湿驱动技术的微流控矩阵光开关,可较广泛地应用于光通信和光电子系统中,并且结构简单、操作方便、偏振无关,易集成大型矩阵开关。文章给出了矩阵光开关的结构和工作原理,并设计了矩阵驱动电路。光开关的工作电压为58 V。研究结果表明:此矩阵光开关从“开”到“关”和从“关”到“开”的响应时间分别为120和100 ms;其插入损耗为0.26 dB,远比一般矩阵光开关低;消光比大,为139.7 dB。此外,文章给出了两种应用方案:光电显示器和多光束阵列开关。该课题的工作可为大型可集成矩阵光开关提供新的思路,并可促进微流控光学在光电子系统中的应用。
关键词
微流控光学
介质上电润湿
效应
矩阵光开关
Keywords
optofluidics
electrowetting-on-dielectric
matrix optical switch
分类号
O4361.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟
岳瑞峰
曾雪锋
吴建刚
康明
刘理天
《电子器件》
EI
CAS
2006
4
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职称材料
2
导电硅橡胶电极片上的介质上电润湿特性
梁忠诚
李菁
信恒杰
杨鹏
陈陶
赵瑞
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于介质上电润湿的液滴产生器的研究
岳瑞峰
吴建刚
曾雪锋
康明
刘理天
《电子器件》
CAS
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于介质上电润湿的微流控多功能器件
蒙列
万静
袁文志
陈一净
朱旭
《光通信研究》
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
介电材料在介电润湿器件中的应用进展
王亮
段俊萍
王万军
张斌珍
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
6
新型低驱动电压电子纸显示单元的研究
吴建刚
岳瑞峰
曾雪锋
刘理天
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
7
基于液体光阑的微流控可变光衰减器阵列
万静
俞廷杰
陈建松
周瑞
万洪丹
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
8
新型开放式液滴驱动芯片
吴建刚
岳瑞峰
曾雪锋
刘理天
《电子器件》
EI
CAS
2005
1
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职称材料
9
微流控矩阵光开关
蒙列
万静
张伟
郭明瑞
罗曜伟
俞廷杰
《光通信研究》
2022
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