期刊文献+
共找到97篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
基于Cu与金属氧化物-KCl熔融介质的甲烷热解制备少层石墨烯与氢气联产研究
1
作者 杨茗凯 黄泽皑 +7 位作者 周芸霄 刘彤 张魁魁 谭浩 刘梦颖 詹俊杰 陈国星 周莹 《无机材料学报》 北大核心 2025年第5期473-480,I0001,I0002,共10页
甲烷热解是一种利用化石能源制备高附加值碳材料和氢气的技术。然而,传统的化学气相沉积(CVD)法和熔融金属催化法在制备石墨烯时存在固体催化剂失活、石墨烯与催化剂分离困难以及反应温度高(≥1100℃)等问题,限制了其工业化应用。本研... 甲烷热解是一种利用化石能源制备高附加值碳材料和氢气的技术。然而,传统的化学气相沉积(CVD)法和熔融金属催化法在制备石墨烯时存在固体催化剂失活、石墨烯与催化剂分离困难以及反应温度高(≥1100℃)等问题,限制了其工业化应用。本研究提出了通过金属Cu与金属氧化物-KCl熔融介质催化甲烷热解制备石墨烯的创新方案。通过添加金属氧化物(Al_(2)O_(3)、TiO_(2)、ZrO_(2)、MgO、SiO_(2))作为分散剂,增强了Cu球活性位点的分散性,特别是Cu球体积分数为50%的Cu/ZrO_(2)和Cu球体积分数为75%的Cu/MgO催化剂,可有效制备少层石墨烯。前者表现出最佳活性,其甲烷转化率为22%,氢气产率为21.5 mmol/h,而且能产生大面积、平整的少层石墨烯。本研究为甲烷热解联产石墨烯与氢气的工业化发展提供了新的技术路线,未来有望实现石墨烯的规模化制备。 展开更多
关键词 甲烷热解 熔融介质 石墨烯 氢气 /金属氧化物
在线阅读 下载PDF
电容器用金属化高温电介质薄膜的自愈性能研究 被引量:2
2
作者 朱家峰 佟辉 +2 位作者 曹诗沫 刘俊标 彭文飞 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-13,共13页
现代电力电子系统的高温应用迫切需要耐高温的金属化膜电容器(MFC)。虽然已有大量研究表明高温电介质膜具有令人满意的储能性能,但其自愈性能尚不清楚,而该性能是决定高温电介质膜能否应用到MFC中的关键。本文主要研究了聚萘二甲酸乙二... 现代电力电子系统的高温应用迫切需要耐高温的金属化膜电容器(MFC)。虽然已有大量研究表明高温电介质膜具有令人满意的储能性能,但其自愈性能尚不清楚,而该性能是决定高温电介质膜能否应用到MFC中的关键。本文主要研究了聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚醚酮(PEEK)和聚酰亚胺(PI)三种金属化高温电介质膜在直流高电压下的自愈性能,具体分析了层间压强、卷绕张力和温度等外部因素对自愈性能的影响。结果表明,PI由于碳含量高,在实验中很容易击穿短路导致自愈失败,不适合应用到MFC中。PEEK的自愈性能受层间压强和卷绕张力的影响较大,应用到MFC后需重点考虑卷绕张力和卷绕层数。PEN具有较低的碳含量和优异的脂肪族-芳香族交替结构,且在各项研究中均表现出较为优异的自愈性能。从自愈角度来看,PEN适合成为高温强电场MFC用的绝缘电介质材料。 展开更多
关键词 自愈 金属化高温电介质 间压强 卷绕张力 温度
在线阅读 下载PDF
退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响 被引量:4
3
作者 吴建波 晋云霞 +4 位作者 关贺元 孔钒宇 刘文文 刘世杰 易葵 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1087-1092,共6页
分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。... 分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。实验结果表明:退火前后样品表面均方根粗糙度变化很小;提高退火温度能提高金属/介质多层膜的抗化学清洗破坏能力,但反射率会随之下降。250℃退火10 h后金属/介质多层膜不仅可以承受住化学清洗过程,而且反射率下降也比较小,可以作为金属/介质多层膜的最佳退火工艺。 展开更多
关键词 金属/介质多 脉冲压缩光栅 退火 化学清洗 反射率
在线阅读 下载PDF
多层金属/介质膜系中Al层的作用分析 被引量:3
4
作者 魏军明 吴永刚 +5 位作者 顾牡 顾春时 马晓辉 王利 林小燕 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期122-125,共4页
设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成。在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同... 设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成。在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样Al层总厚度情况下,Al层厚度分布对膜系也有影响。寻找到了最佳Al层分布结果,并通过了实验验证,制备出了能很好抑止BaF2晶体发射光谱的长波成分的膜系。 展开更多
关键词 多层 金属 介质 BaF2闪烁晶体
在线阅读 下载PDF
介质/金属/介质多层透明导电薄膜研究进展 被引量:8
5
作者 刘静 刘丹 顾真安 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期9-12,共4页
综述了介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层透明导电膜材料的特点、制备方法、研究进展与应用现状,重点比较讨论了 ITO/Ag/ITO、ZnS/Ag/ZnS 的膜系结构、光电性能、化学稳定性、热稳定性等特点,以及与国内外的研究... 综述了介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层透明导电膜材料的特点、制备方法、研究进展与应用现状,重点比较讨论了 ITO/Ag/ITO、ZnS/Ag/ZnS 的膜系结构、光电性能、化学稳定性、热稳定性等特点,以及与国内外的研究差距。ITO/Ag/ITO、ZnS/Ag/ZnS 是目前光电性能最好,且无需引入过渡层的两种 D/M/D膜系,但有关其热稳定性的评价和研究存在不同的观点。用资源丰富、价格便宜、无毒的掺铝氧化锌(ZAO)薄膜取代含有价格昂贵的贵金属铟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜,ZAO/Ag/ZAO 膜系结构的设计、薄膜制备、光电性能与 IMI 的对比研究是目前国内外 D/M/D 研究中的热点课题和 D/M/D 发展的主要方向。 展开更多
关键词 透明导电 多层(D/M/D) 低辐射 透明导电薄 金属 介质 多层 系结构 光电性能 热稳定性
在线阅读 下载PDF
金属-电介质多层膜结构亚波长成像特性分析(英文) 被引量:1
6
作者 郑改革 蒋立勇 +1 位作者 强海霞 李相银 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期2011-2014,共4页
分析了由Ag和Si3N4多层纳米薄膜组成的特异材料的模式特性,使用本征模展开法(EME)结合完全匹配层(PML)边界条件模拟了该结构的亚波长成像行为,在法布里-珀罗(Fabry-Perot)条件(结构的长度是半波长的整数倍)条件下,研究发现邻近系统的点... 分析了由Ag和Si3N4多层纳米薄膜组成的特异材料的模式特性,使用本征模展开法(EME)结合完全匹配层(PML)边界条件模拟了该结构的亚波长成像行为,在法布里-珀罗(Fabry-Perot)条件(结构的长度是半波长的整数倍)条件下,研究发现邻近系统的点源会在另一侧成实像,这种成像基于自准直而并不是负折射.研究结果证实了金属-电介质多层膜结构可以在光波段实现近场成像. 展开更多
关键词 亚波长成像 自准直 金属-电介质多 本征模展开法
在线阅读 下载PDF
多层介质/金属紫外滤光膜系的辐照损伤特性
7
作者 吴永刚 焦宏飞 +4 位作者 曹鸿 张莉 付联效 彭东功 郑秀萍 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期729-733,共5页
利用电子束蒸发方法制备用于BaF2晶体慢成分滤光的多层介质/金属紫外滤光膜系。在γ射线、中子和激光辐照环境中研究薄膜的损伤特性。结果表明:薄膜对γ射线和中子具有优良的耐辐照特性;在激光辐照环境中,薄膜的激光损伤阈值受多层薄膜... 利用电子束蒸发方法制备用于BaF2晶体慢成分滤光的多层介质/金属紫外滤光膜系。在γ射线、中子和激光辐照环境中研究薄膜的损伤特性。结果表明:薄膜对γ射线和中子具有优良的耐辐照特性;在激光辐照环境中,薄膜的激光损伤阈值受多层薄膜中金属层的影响,激光入射时,最先辐照到的金属层的厚度决定了多层薄膜的耐激光辐照损伤特性。 展开更多
关键词 BAF2晶体 多层 介质/金属 滤光 辐照损伤
在线阅读 下载PDF
介质/金属/介质透明导电薄膜研究进展 被引量:3
8
作者 张康 褚向前 +4 位作者 刘丽华 万磊 何金俊 李欢欢 方应翠 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第11期1067-1074,共8页
介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层膜既透明又导电且具有柔性,最有可能替代ITO膜,作为透明导电电极,应用于柔性显示、太阳能电池等光电器件。本文介绍D/M/D膜系的起源,分析了透明导电机理,然后,从多层膜制备参数,... 介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层膜既透明又导电且具有柔性,最有可能替代ITO膜,作为透明导电电极,应用于柔性显示、太阳能电池等光电器件。本文介绍D/M/D膜系的起源,分析了透明导电机理,然后,从多层膜制备参数,热处理工艺及纳米银层表面等离激元共振对多层膜光电性能的影响三个方面综述了D/M/D膜系中得到广泛研究的二氧化钛/银/二氧化钛多层膜的最新研究进展,并展望了D/M/D透明导电薄膜的研究方向。 展开更多
关键词 介质/金属/介质多层膜 透明导电薄 透明氧化物 光电性能
在线阅读 下载PDF
一维光子晶体与光学多层介质膜 被引量:8
9
作者 陈慰宗 申影 +1 位作者 刘军 卜涛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1081-1084,共4页
本文阐述了一维光子晶体和光子禁带的概念,对比了一维光子晶体与光学多层介质膜在结构和特性方面的联系和差别,运用薄膜光学的理论和方法讨论了多层介质膜的高反射带与光子禁带和膜系结构参量的关系.
关键词 一维光子晶体 光子禁带 高反射带 光学多层介质 光学 系结构参量
在线阅读 下载PDF
多层介质膜光谱调制反射镜的反应离子束刻蚀误差容限 被引量:3
10
作者 李铭 张彬 +2 位作者 戴亚平 王韬 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期761-766,共6页
在千焦拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成的多层电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与... 在千焦拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成的多层电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与制造中,需要根据要求的反射率来合理提出反应离子束刻蚀误差容限指标。推导出反应离子束刻蚀误差容限的解析表达式。针对神光Ⅱ千焦拍瓦高功率放大系统设计中提出的多层介质光谱调制反射镜,分析了调制结构反射镜各层加工的容许误差,确定了反应离子束刻蚀误差容限指标。研究表明:刻蚀高折射率介质的加工误差容限为35 nm;刻蚀低折射率介质的加工误差容限为62 nm。此外,还从使用需要和加工难易的角度,对刻蚀方案进行了讨论。就加工难易程度而言,优选反应离子束刻蚀方案,且采用刻蚀并残留低折射率介质的方案更容易实现。 展开更多
关键词 光学器件 光谱整形 多层介质光谱调制反射镜 微纳超精细加工 误差容限
在线阅读 下载PDF
层流介质中金属板腐蚀电位分布研究 被引量:5
11
作者 张建春 王向军 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期157-164,共8页
为了研究流动介质中产生的静电场,结合电化学和流体力学相关知识建立层流介质中金属板模型,利用贝塞尔函数展开及其逆运算推导出在三层介质中基于点电荷模型的腐蚀电位解析表达式,同时计算出金属板产生的电场。运用推导出的解析表达式... 为了研究流动介质中产生的静电场,结合电化学和流体力学相关知识建立层流介质中金属板模型,利用贝塞尔函数展开及其逆运算推导出在三层介质中基于点电荷模型的腐蚀电位解析表达式,同时计算出金属板产生的电场。运用推导出的解析表达式计算出在流动介质中任意场点处金属板随不同流速产生的腐蚀电位,并通过实验验证结果的正确性。结果表明,对层流条件下电化学反应产生的电流密度所建模型的结果与实验测量数据吻合度较高,同时电场分布也会随着流体流速及层流方向上长度的变化而发生变化。 展开更多
关键词 介质 点电荷 电流密度 腐蚀电位 电场强度 金属
在线阅读 下载PDF
基于遗传算法的Low-E膜系中透明介质膜层均匀性在线分析 被引量:1
12
作者 余刚 汪洪 +3 位作者 杨中周 黄星烨 文凯 王桂荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期365-369,共5页
本文针对离线Low-E镀膜玻璃生产控制过程中对厚度均匀性的需求,提出依据在线测试膜层膜面反射光谱数据,建立柯西光学模型利用遗传算法分析膜层厚度均匀性的方法。采用的在线光谱测量装置安装于镀膜设备产品出口端,在镀膜玻璃宽度方向可... 本文针对离线Low-E镀膜玻璃生产控制过程中对厚度均匀性的需求,提出依据在线测试膜层膜面反射光谱数据,建立柯西光学模型利用遗传算法分析膜层厚度均匀性的方法。采用的在线光谱测量装置安装于镀膜设备产品出口端,在镀膜玻璃宽度方向可以测量24个位置的380~780nm波长范围。研究表明在分析过程利用各点平均光谱由遗传算法分析获得膜层折射率及平均厚度,针对性地建立膜层材料在特定厚度范围内的颜色与厚度关系,在保证分析结果正确性的同时提高了数据分析效率。 展开更多
关键词 遗传算法 柯西模型 介质 Low-E 均匀性
在线阅读 下载PDF
介质多层膜的热吸收 被引量:1
13
作者 齐文宗 张云洞 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期33-36,共4页
根据薄膜光学基本理论,利用一级近似数学方法,给出了S,P偏振态平行光在两弱吸收介质边界反射率及透射率的简单表达式,并依此研究了弱吸收介质单层膜及多层膜的热吸收。结果表明,单一膜层的热吸收率,在膜层参数确定的条件下,不仅取决于... 根据薄膜光学基本理论,利用一级近似数学方法,给出了S,P偏振态平行光在两弱吸收介质边界反射率及透射率的简单表达式,并依此研究了弱吸收介质单层膜及多层膜的热吸收。结果表明,单一膜层的热吸收率,在膜层参数确定的条件下,不仅取决于此膜层材料的消光系数,而且取决于相邻膜层的消光系数。 展开更多
关键词 热吸收率 介质多 光学
在线阅读 下载PDF
杂乱层厚的多层介质膜干涉滤光片 被引量:1
14
作者 张道中 李兆霖 程丙英 《量子电子学》 CSCD 1996年第5期413-413,共1页
杂乱层厚的多层介质膜干涉滤光片张道中,李兆霖,程丙英(中国科学院物理所光物理实验室北京100()80)利用光束在多层介质膜中的干涉效应,可以得到窄的透过带宽、一定透过率的干涉滤光片。这种干涉滤光片尽管理论上透过带宽十... 杂乱层厚的多层介质膜干涉滤光片张道中,李兆霖,程丙英(中国科学院物理所光物理实验室北京100()80)利用光束在多层介质膜中的干涉效应,可以得到窄的透过带宽、一定透过率的干涉滤光片。这种干涉滤光片尽管理论上透过带宽十分窄,但由于存在镀膜材料的吸收和膜... 展开更多
关键词 干涉滤光片 多层介质 材料
在线阅读 下载PDF
适用于WDM中高质量多层介质膜的设计和生长
15
作者 赵红东 辛国锋 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第Z01期182-184,共3页
我们利用有效反射率方法,研究了多层半导体介质膜的光传输特性,然后设计并生长了TiO2+ZrO2和SiO2组成的多层介质膜。测试结果表明45度入射时,滤长为0.85微米的大部分光被反向,而1.31微米波长的光能够透射,可以被应用在波分复用中。
关键词 波分复用 多层介质 有效反射率 设计 生长 光传输特性
在线阅读 下载PDF
涡旋光辐照多层介质膜温升的模拟
16
作者 杜立峰 肖谦裔 张蓉竹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期116-120,共5页
搭建了涡旋光在多层介质膜中的传输模型,分析了涡旋光垂直入射下膜系内的温升分布。结果表明,膜系内的温升分布与涡旋光入射面密切相关。当涡旋光在初始面入射时,膜系的温升区域集中在入射中心。当涡旋光在空间中传输一定距离后再入射... 搭建了涡旋光在多层介质膜中的传输模型,分析了涡旋光垂直入射下膜系内的温升分布。结果表明,膜系内的温升分布与涡旋光入射面密切相关。当涡旋光在初始面入射时,膜系的温升区域集中在入射中心。当涡旋光在空间中传输一定距离后再入射膜系时,膜系温升区域向入射中心的两侧发散,且最大温升大于初始面入射时的温升。当传输距离足够远时,膜系最大温升随传输距离的增加而减小。另外,在一定传输距离内,膜系最大温升随拓扑荷数的增大而增加。传输距离足够远时,最大温升随拓扑荷数的增大而减小。 展开更多
关键词 涡旋光 多层介质 热传导
在线阅读 下载PDF
一种多层介质膜光管及其对激光光场的影响研究
17
作者 赵鹏飞 杨文豪 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第25期185-189,共5页
带有光管的光学系统中,当采用激光光源时,光管对激光的特性影响应当被考虑到。利用ZEMAX仿真软件,对532nm激光通过一种71层高反射多层介质膜光管结构后特性进行了仿真分析;并搭建测量光路对仿真数据进行验证。实验结果表明,镀有多层介... 带有光管的光学系统中,当采用激光光源时,光管对激光的特性影响应当被考虑到。利用ZEMAX仿真软件,对532nm激光通过一种71层高反射多层介质膜光管结构后特性进行了仿真分析;并搭建测量光路对仿真数据进行验证。实验结果表明,镀有多层介质膜的光管可以有效增加光的反射率,使激光光源的偏振形状和方向多样化,因此,该类光管可被用于调制激光的偏振度。 展开更多
关键词 多层介质 光管 激光光源 偏振态
在线阅读 下载PDF
提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法(英文) 被引量:6
18
作者 陈上碧 盛斌 +5 位作者 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2631-2636,共6页
采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟... 采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物;再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除。经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95%以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6J/cm2(1053nm,10ps)。实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值。 展开更多
关键词 多层介质光栅 HPM溶液 激光诱导损伤阈值
在线阅读 下载PDF
多层介质膜偏振无关光栅的研制 被引量:6
19
作者 申碧瑶 曾理江 +1 位作者 李立峰 颜宏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期73-74,共2页
介绍了一种应用于光纤激光光谱合束的高衍射效率多层介质膜偏振无关光栅的设计及制作,给出了设计参数、制作流程和最终制作的偏振无关光栅的测量结果,在1.044-1.084μm波长范围内,实验测得的TE偏振光、TM偏振光的平均衍射效率分别为89.7... 介绍了一种应用于光纤激光光谱合束的高衍射效率多层介质膜偏振无关光栅的设计及制作,给出了设计参数、制作流程和最终制作的偏振无关光栅的测量结果,在1.044-1.084μm波长范围内,实验测得的TE偏振光、TM偏振光的平均衍射效率分别为89.7%,93.8%。 展开更多
关键词 衍射光栅 偏振无关光栅 多层介质光栅 光谱合束
在线阅读 下载PDF
HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗 被引量:4
20
作者 陈上碧 盛斌 +5 位作者 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期2106-2110,共5页
为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金... 为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物。对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理。实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,对PCG表面残留污染物的去除效果越显著。在90℃下60min有效活性时间内,使用浓硫酸和双氧水体积比为2∶1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG表面残留的F元素的原子分数接近0.1%(XPS的分辨极限),达到良好的清洗效果。 展开更多
关键词 多层介质脉宽压缩光栅 污染物 Piranha溶液 扫描电子显微镜 X射线光电子能谱
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部