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基于介观压阻效应的高g值加速度计设计被引量：3: 1; 作者陈尚薛晨阳 +3 位作者张文栋张斌珍王建范波《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期446-449,共4页; 依据介观压阻效应原理,设计出一种以超晶格量子阱薄膜为敏感单元的高g值纳机电加速度计,期望利用超晶格量子阱薄膜的高灵敏特性,提高加速度计的灵敏度。结合GaAs基表面微机械加工工艺和控制孔技术完成了加速度计的加工。采用马歇特冲击... 展开更多; 关键词高g值加速度计介观压阻效应量子阱薄膜 GaAs微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究被引量：3: 2; 作者王建张文栋 +2 位作者薛晨阳熊继军张斌珍《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期702-705,共4页; 设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜,并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应,试验结果表明其介观压阻灵敏度比硅的最大压阻灵敏度高一个数量级。; 关键词共振隧穿薄膜介观压阻效应砷化镓基微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于介观压阻效应的硅微加速度计研究被引量：3: 3; 作者吴瑞温廷敦《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1771-1774,共4页; 为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计,通过理论分析计算与试验测试,得出该结构在0.1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和... 展开更多; 关键词加速度计灵敏度介观压阻效应共振隧穿; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计: 4; 作者罗文华温廷敦 +2 位作者毛海央熊继军吴瑞《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2008年第5期61-63,共3页; 首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性,然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺,指出了该陀螺设计时应注意的几个方面,并且利用介观压阻理论分析得出用共振隧穿薄膜作为敏感元件能将... 展开更多; 关键词微机械陀螺介观压阻效应共振隧穿薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试: 5; 作者王瑞荣杜康 +1 位作者石云波刘俊《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1700-1703,共4页; 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了... 展开更多; 关键词介观压阻效应微机械陀螺驱动测试检测测试; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微型加速度传感器技术被引量：11: 6; 作者吴瑞温廷敦《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第3期8-10,共3页; 介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新... 展开更多; 关键词加速度计压阻电容隧道效应共振隧穿介观压阻效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计被引量：1: 7; 作者王瑞荣杜康 +3 位作者李孟委石云波刘俊李平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期647-650,共4页; 介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度。用... 展开更多; 关键词电磁驱动介观压阻效应结构设计微机械陀螺; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于共振隧穿的位移传感器设计: 8; 作者张庆伟温廷敦《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第2期66-67,共2页; 运用了一种新效应——介观压阻效应,以A lAs/GaAs/A lAs共振隧穿双势垒(DBRT)结构薄膜作为力敏元件,设计了一种压阻式微位移传感器。通过分析、计算和模拟得到了它的输入、输出特性和灵敏度,把它与同类传感器做了比较,结果显示:DBRT结... 展开更多; 关键词传感器共振隧穿介观压阻效应位移灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于介观压阻效应的高g值加速度计设计被引量：3: 1; 作者陈尚薛晨阳张文栋张斌珍王建范波; 机构中北大学电子测试技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期446-449,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50405025 50535030); 文摘依据介观压阻效应原理,设计出一种以超晶格量子阱薄膜为敏感单元的高g值纳机电加速度计,期望利用超晶格量子阱薄膜的高灵敏特性,提高加速度计的灵敏度。结合GaAs基表面微机械加工工艺和控制孔技术完成了加速度计的加工。采用马歇特冲击的方法完成了加速度计的测试,并利用冲击响应谱分析了微加速度计在有外部冲击情况下的响应,研究结果表明:依据介观压阻效应原理和MEMS技术制作高g值纳机电加速度计具有可行性,从测试结果可以看出该微加速度计不但冲击响应信号与标准加速度计所测信号很接近,而且它们的响应一致性较好。; 关键词高g值加速度计介观压阻效应量子阱薄膜 GaAs微结构; Keywords high g accelerometer meso-piezoresistance effect thin film of quantum well GaAs microstructure; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究被引量：3: 2; 作者王建张文栋薛晨阳熊继军张斌珍; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期702-705,共4页; 基金国家自然科学基金资助(50405025 50375050); 文摘设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜,并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应,试验结果表明其介观压阻灵敏度比硅的最大压阻灵敏度高一个数量级。; 关键词共振隧穿薄膜介观压阻效应砷化镓基微结构; Keywords resonant tunneling film meso-piezoresistive effect GaAs micro-structure; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于介观压阻效应的硅微加速度计研究被引量：3: 3; 作者吴瑞温廷敦; 机构中北大学微米纳米技术研究中心; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1771-1774,共4页; 基金国家自然科学基金资助(50405025 50375050); 文摘为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计,通过理论分析计算与试验测试,得出该结构在0.1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考.; 关键词加速度计灵敏度介观压阻效应共振隧穿; Keywords meso-piezoresistance accelerometer sensitivity resonant tunnel; 分类号 TN306 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计: 4; 作者罗文华温廷敦毛海央熊继军吴瑞; 机构中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室; 出处《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2008年第5期61-63,共3页; 基金国家自然科学基金(60476043)资助; 文摘首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性,然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺,指出了该陀螺设计时应注意的几个方面,并且利用介观压阻理论分析得出用共振隧穿薄膜作为敏感元件能将微机械陀螺的灵敏度提高一个数量级,证明了介观压阻效应的微陀螺比传统压阻检测方式的微陀螺具有更高的灵敏度和精度。; 关键词微机械陀螺介观压阻效应共振隧穿薄膜; Keywords micro-machined gyroscope meso-piezoresisrance effect resonant tunneling film; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试: 5; 作者王瑞荣杜康石云波刘俊; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1700-1703,共4页; 基金国家自然科学基金资助(50675212) 重点实验室基金资助(9140C1204021008); 文摘将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。; 关键词介观压阻效应微机械陀螺驱动测试检测测试; Keywords meso-piezoresistive effect micromachined gyroscope driven testing detection testing; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微型加速度传感器技术被引量：11: 6; 作者吴瑞温廷敦; 机构中北大学微米纳米技术研究中心; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第3期8-10,共3页; 文摘介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新的微机理:共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。; 关键词加速度计压阻电容隧道效应共振隧穿介观压阻效应; Keywords accelerometer piezoresistance capacitor tunneling-etlect resonant tunnel meso-piezoresistance; 分类号 TP112 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计被引量：1: 7; 作者王瑞荣杜康李孟委石云波刘俊李平; 机构中北大学电子测试国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期647-650,共4页; 基金国家自然科学基金资助(50675212); 文摘介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度。用ANSYS软件对结构进行了模态分析和路径分析,确定了结构的固有频率和RTD放置位置。结合目前工艺要求,对该陀螺进行了工艺设计并实现了结构加工。; 关键词电磁驱动介观压阻效应结构设计微机械陀螺; Keywords electromagnetic drive meso-piezoresistive effect structure design micromachined gyroscope.; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于共振隧穿的位移传感器设计: 8; 作者张庆伟温廷敦; 机构中北大学微米纳米技术研究中心; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第2期66-67,共2页; 文摘运用了一种新效应——介观压阻效应,以A lAs/GaAs/A lAs共振隧穿双势垒(DBRT)结构薄膜作为力敏元件,设计了一种压阻式微位移传感器。通过分析、计算和模拟得到了它的输入、输出特性和灵敏度,把它与同类传感器做了比较,结果显示:DBRT结构可以提高灵敏度、调节灵敏度。为设计介观压阻式微位移传感器提供了理论依据。; 关键词传感器共振隧穿介观压阻效应位移灵敏度; Keywords transducer resonant tunneling meso-piezoresistive effect displacement sensitivity; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于介观压阻效应的高g值加速度计设计	陈尚薛晨阳张文栋张斌珍王建范波	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究	王建张文栋薛晨阳熊继军张斌珍	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于介观压阻效应的硅微加速度计研究	吴瑞温廷敦	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计	罗文华温廷敦毛海央熊继军吴瑞	《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试	王瑞荣杜康石云波刘俊	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	硅微型加速度传感器技术	吴瑞温廷敦	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2007	11	在线阅读下载PDF 职称材料
7	基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计	王瑞荣杜康李孟委石云波刘俊李平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	基于共振隧穿的位移传感器设计	张庆伟温廷敦	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料