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题名基于导电岛系统的敏感元件制造方法研究
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作者
丁海涛
杨强
司糈昊
刘潇锋
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机构
长春理工大学机电工程学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第5期23-26,共4页
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基金
吉林省教育厅资助项目(JJKH20200748KJ)。
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文摘
本文基于特征角度为60°的导电岛微电极系统,探究低频条件下交流介电泳驱动金纳米粒子形成。首先,利用剥离(lift-off)方法制作了特征角度为60°的导电岛微电极系统,并基于该系统进行了纳米粒子介电组装实验,发现纳米粒子在低频范围内会形成纳米粒子短链或短簇结构;然后,基于电双层理论,分析了低频时交流电渗流(ACEO)对介电流动的影响,发现低频时电双层现象能够在一定程度上削弱流体中的电场和介电流动;最后,针对驱动频率为100 kHz的粒子轨迹分析发现该情况更易产生纳米粒子簇,较好地符合实验现象。
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关键词
导电岛微电极系统
特征角度60°
介电组装行为
交流电渗流
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Keywords
conductive-island microelectrode system
characteristic angle 60°
dielectrophoretic assembly behavior
alternating current electroosmosis(ACEO)
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN350
[电子电信—物理电子学]
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