-
题名研磨温度对亲水性固结磨料垫加工性能的影响
- 1
-
-
作者
张嘉倩
沈功明
唐超
朱永伟
-
机构
南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室
-
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第1期67-73,共7页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51675276)
-
文摘
研磨温度的升高会引起树脂基体模量的变化,从而影响亲水性固结磨料垫的加工性能。通过有限元分析软件仿真了亲水性固结磨料垫在不同研磨液温度下研磨石英玻璃的瞬态温度场,研究了不同温度条件下固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量,探索了固结磨料垫在不同研磨液温度下的加工性能。结果表明:随着研磨液温度的升高,基体温度分布区间也随之改变,固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量均增加,分别达到了1.43%与2.5 mg;温度升高使基体动态模量减小,材料去除率(material removal rate,MRR)和表面粗糙度Ra得到了改善,分别为8.2μm/min和69.9 nm。因此适当提升研磨温度,能在一定程度上提高固结磨料垫的加工性能。
-
关键词
研磨温度
树脂基体
动态模量
亲水性固结磨料垫
加工性能
-
Keywords
lapping temperature
resin matrix
dynamic modulus
hydrophilic fixed abrasive pad
processing performance
-
分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名铜粉含量对亲水性固结磨料抛光垫加工性能的影响研究
被引量：9
- 2
-
-
作者
唐晓骁
朱永伟
付杰
王成
居志兰
-
机构
南京航空航天大学机电学院
-
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2012年第4期10-13,共4页
-
基金
国家自然科学基金(51175260和50905086)
江苏省自然科学基金(BK2010512)
-
文摘
通过向亲水性固结磨料抛光垫中添加铜粉,改善抛光垫的抛光性能,研究铜粉添加量对抛光垫的理化特性及加工K9光学玻璃的材料去除率和工件表面质量的影响。结果表明:随着铜粉添加比例的增加,抛光垫的硬度增加,其材料去除速率呈现先增大后减小的趋势,当铜粉质量分数为5%时,抛光垫的材料去除速率达到最大值58.18 nm/min。同时加工后K9玻璃表面粗糙度也对应地呈现出先增大后减小的趋势,粗糙度Sa最大值为9.28 nm,最小值为2.53 nm。
-
关键词
铜粉
亲水性固结磨料抛光垫
K9光学玻璃
材料去除率
表面粗糙度
-
Keywords
copper powder
hydrophilic fixed abrasive pad
K9 optical glass
material removal rate
surface roughness
-
分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
-
-
题名修整技术及提高固结磨料研磨垫自修整性的研究
被引量：1
- 3
-
-
作者
居志兰
朱永伟
张福豹
-
机构
南京航空航天大学机电学院
南通大学机械工程学院
-
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第2期11-15,共5页
-
基金
江苏省高校自然科学基金(16KJD460006)
江苏省重点研发项目(BE2016116)
南通市应用基础研究项目(GY12016056)
-
文摘
随着化学机械研磨的持续进行,垫表面特征会发生变化,从而使其研磨能力大大降低。修整垫可改善表面轮廓,进而提高被加工晶片表面质量,而且可以减少表面缺陷,延长使用寿命。本文着重介绍固结磨料研磨垫常见修整技术,分为非自修整和自修整两种类型,非自修整法有高压水射流修整、超声波振动法修整、金刚石修整器修整。并重点阐述通过合理选用研磨液、添加成孔剂以及优化研抛工艺参数等措施来促进亲水性固结磨料研磨垫自修整。
-
关键词
修整技术
自修整
金刚石磨料
亲水性固结磨料研磨垫
-
Keywords
conditioning technology
self-conditioning
diamond abrasive
hydrophilic fixed abrasive pad
-
分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
-
