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题名一种新型微加工交直流电场传感器设计
被引量：3
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作者
朱莎
曾晗
王师奇
付震东
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机构
国家电网江西电力有限公司检修分公司
华东交通大学电气与自动化工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第6期41-45,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51867010)
江西省重点研发计划项目(20181BBE50019,20181BBE50009)。
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文摘
提出一种灵敏度和测量范围可调的交流/直流电场传感器设计方案。该传感器采用绝缘体微加工工艺制造,由微弹簧支撑的金属膜组成,其工作原理为金属膜在入射电场作用下产生位移,并由光电探测器检测相应的输出电流差值。该传感器与传统电场传感器不同,无需旋转部件,避免了相关的磨损和维护等问题。利用激光位置监测系统实现了高灵敏度监测,通过对入射电场在传感膜上施加偏置电压进行调制,使传感器的测量范围从V/m到MV/m。实验测量结果显示,传感器在谐振状态下工作时,分辨率为0.1 V/m,灵敏度为180 V/(kV·m-1)。在距离传感器75 cm的20 kV模拟电力线下进行测量,结果显示其分辨率为17 V/m,灵敏度为0.36 V/(kV·m-1)。
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关键词
电场测量
微加工
交直流电场传感器
高灵敏度
绝缘体工艺
光电探测器
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Keywords
electric field measurement
micromachining
AC/DC electric field sensor
high sensitivity
isolator process
photoelectric detector
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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