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薄膜材料导热性质的测量 被引量:5
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作者 顾毓沁 廖峰 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期983-986,共4页
应用交流光热法测量薄膜材料的热扩散率,测量范围为10-7~10-3m2/s.对于不同热扩散率的材料样品,在测量中会产生不同类别的系统性误差,如二维效应、散热效应、空气层作用以及端部反射效应.分析了对不同热扩散率的材料... 应用交流光热法测量薄膜材料的热扩散率,测量范围为10-7~10-3m2/s.对于不同热扩散率的材料样品,在测量中会产生不同类别的系统性误差,如二维效应、散热效应、空气层作用以及端部反射效应.分析了对不同热扩散率的材料样品进行测量时产生系统性误差的类别,并简单介绍了防止和修正的方法.针对聚合物膜、不锈钢箔、铜箔与化学气相沉积金刚石膜等各类材料进行了实测。 展开更多
关键词 薄膜 热导率 交流光热法 测量 导热性质
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