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题名减小交叉耦合的三维微加速度计的设计
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作者
陈颖慧
唐彬
施志贵
谢国芬
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第2期95-99,共5页
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基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00003
2012CJMZZ00006)
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文摘
介绍了一种减小交叉耦合的三维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,三个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合度。通过公式计算得到三个轴向的机械噪声,X轴为-60μg/Hz,Y轴为-66μg/Hz,Z轴为-53μg/Hz。从计算结果来看,三个维度的噪声系数较低,在电路噪声保证足够小的情况下,该三维微加速度计能够达到较高的精度。最后,采用COMSOL MULTIPHYSICS软件对该结构三个维度进行了模态仿真,仿真结果表明该设计能够有效减小三个维度的交叉耦合度。
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关键词
微电子机械系统
三维微加速度计
差分电容
交叉耦合度
固有频率
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Keywords
micro-electromechanical system （MEMS）
triaxial micro accelerometer
differentialcapacitance
cross-coupling
inherent frequency
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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