期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
偏振激光散射检测单晶硅片磨削后的亚表面微裂纹
被引量：
5
1
作者
李庆鹏
白倩
张璧
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第4期87-92,共6页
单晶硅片在磨削过程中会不可避免地产生亚表面微裂纹损伤。采用偏振激光散射检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤进行无损检测,得到其对应的检测信号强度,再利用有损检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤体积密度进行定量测定,建立检测...
单晶硅片在磨削过程中会不可避免地产生亚表面微裂纹损伤。采用偏振激光散射检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤进行无损检测,得到其对应的检测信号强度,再利用有损检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤体积密度进行定量测定,建立检测信号强度与体积密度之间的对应关系并进行试验验证。结果表明:采用偏振激光散射检测方式得到的硅片亚表面微裂纹体积密度与有损检测方式的比较,其相对误差在10%以内;在不影响生产效率的前提下,偏振激光散射检测方式能无损、准确、快速地检测硅片的亚表面微裂纹。
展开更多
关键词
硅片
亚表面微裂纹
有损检测
无损检测
在线阅读
下载PDF
职称材料
石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法
被引量：
2
2
作者
吕启鑫
石芳媛
+2 位作者
白倩
蒋效雄
姜丽丽
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期2031-2039,共9页
石英玻璃等光学硬脆材料在加工过程中不可避免地产生亚表面微裂纹,从而对光学元件的使役性能具有显著影响。因此,石英玻璃亚表面微裂纹的无损检测对于优化石英玻璃加工工艺进而提高加工质量具有十分重要的意义。提出了基于偏振激光散射(...
石英玻璃等光学硬脆材料在加工过程中不可避免地产生亚表面微裂纹,从而对光学元件的使役性能具有显著影响。因此,石英玻璃亚表面微裂纹的无损检测对于优化石英玻璃加工工艺进而提高加工质量具有十分重要的意义。提出了基于偏振激光散射(Polarized Laser Scattering,PLS)的石英玻璃亚表面微裂纹检测方法,搭建了PLS无损检测系统。通过压痕实验以20 mN,50 mN,100 mN压力制备亚表面微裂纹深度为5.27μm,9.7μm,15.42μm的压痕试样,使用PLS检测系统对压痕试样进行无损检测,探究PLS信号与亚表面微裂纹深度的对应关系。通过不同粒径磨粒(1~20μm)研磨制备亚表面微裂纹深度为1~10μm的研磨试样,发现研磨PLS检测信号与亚表面裂纹深度之间呈幂函数关系。搭建的PLS检测系统可以对深度小于10μm的石英玻璃亚表面微裂纹进行有效检测与量化。PLS检测系统检测结果可实现研磨石英玻璃微裂纹检测,进而为亚表面微裂纹控制及加工工艺优化提供指导。
展开更多
关键词
偏振激光散射
亚表面微裂纹
压痕
研磨
石英玻璃
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
偏振激光散射检测单晶硅片磨削后的亚表面微裂纹
被引量：
5
1
作者
李庆鹏
白倩
张璧
机构
大连理工大学
南方科技大学机械与能源工程系
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第4期87-92,共6页
基金
国家自然科学基金(51575084)。
文摘
单晶硅片在磨削过程中会不可避免地产生亚表面微裂纹损伤。采用偏振激光散射检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤进行无损检测,得到其对应的检测信号强度,再利用有损检测方式对单晶硅片亚表面微裂纹损伤体积密度进行定量测定,建立检测信号强度与体积密度之间的对应关系并进行试验验证。结果表明:采用偏振激光散射检测方式得到的硅片亚表面微裂纹体积密度与有损检测方式的比较,其相对误差在10%以内;在不影响生产效率的前提下,偏振激光散射检测方式能无损、准确、快速地检测硅片的亚表面微裂纹。
关键词
硅片
亚表面微裂纹
有损检测
无损检测
Keywords
silicon wafer
subsurface microcrack
damage detection
non-damage detection
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法
被引量：
2
2
作者
吕启鑫
石芳媛
白倩
蒋效雄
姜丽丽
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期2031-2039,共9页
基金
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3403602)。
文摘
石英玻璃等光学硬脆材料在加工过程中不可避免地产生亚表面微裂纹,从而对光学元件的使役性能具有显著影响。因此,石英玻璃亚表面微裂纹的无损检测对于优化石英玻璃加工工艺进而提高加工质量具有十分重要的意义。提出了基于偏振激光散射(Polarized Laser Scattering,PLS)的石英玻璃亚表面微裂纹检测方法,搭建了PLS无损检测系统。通过压痕实验以20 mN,50 mN,100 mN压力制备亚表面微裂纹深度为5.27μm,9.7μm,15.42μm的压痕试样,使用PLS检测系统对压痕试样进行无损检测,探究PLS信号与亚表面微裂纹深度的对应关系。通过不同粒径磨粒(1~20μm)研磨制备亚表面微裂纹深度为1~10μm的研磨试样,发现研磨PLS检测信号与亚表面裂纹深度之间呈幂函数关系。搭建的PLS检测系统可以对深度小于10μm的石英玻璃亚表面微裂纹进行有效检测与量化。PLS检测系统检测结果可实现研磨石英玻璃微裂纹检测,进而为亚表面微裂纹控制及加工工艺优化提供指导。
关键词
偏振激光散射
亚表面微裂纹
压痕
研磨
石英玻璃
Keywords
polarized laser scattering
subsurface microcrack
indentation
grinding
quartz glass
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏振激光散射检测单晶硅片磨削后的亚表面微裂纹
李庆鹏
白倩
张璧
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法
吕启鑫
石芳媛
白倩
蒋效雄
姜丽丽
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
