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离子束辅助沉积引发互不固溶系非晶相和亚稳晶相形成
被引量：
5
1
作者
曾飞
赵斌
潘峰
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期277-280,共4页
利用离子束辅助沉积技术 (IBAD)研究了在互不固溶的Cu -Ta和Cu -Nb系统中获得非晶相和亚稳晶相的可能性 .结果表明 :r(Cu)为 30 %时Cu含量的Cu -Ta薄膜得到了非晶相 ;r(Cu)为 2 5 %～ 35 %时Cu -Nb薄膜中随辅助离子束能量的改变出现了fc...
利用离子束辅助沉积技术 (IBAD)研究了在互不固溶的Cu -Ta和Cu -Nb系统中获得非晶相和亚稳晶相的可能性 .结果表明 :r(Cu)为 30 %时Cu含量的Cu -Ta薄膜得到了非晶相 ;r(Cu)为 2 5 %～ 35 %时Cu -Nb薄膜中随辅助离子束能量的改变出现了fcc相 -非晶相转变 ;r(Cu)为 2 0 %时Cu -Nb薄膜中得到了bcc相 ,说明IBAD技术可以在互不固溶二元合金系统中制备非晶和亚稳晶相 .
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关键词
离子束辅助沉积
非
晶
相
亚稳晶相
薄膜
制备
铜钽合金
铜铌合金
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职称材料
离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜
2
作者
潘峰
曾飞
等
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第B12期1-4,共4页
本文阐述了用离子束辅助沉积（IBAD）技术制备非晶合金薄膜的基本思路，介绍了本研究组在二元合金系统里制备和非晶和亚稳晶相的研究结果，研究发现，在所选的几个系统里采用IBAD技术均实现了非晶化，还发现了某些新相形成和相溶化现象...
本文阐述了用离子束辅助沉积（IBAD）技术制备非晶合金薄膜的基本思路，介绍了本研究组在二元合金系统里制备和非晶和亚稳晶相的研究结果，研究发现，在所选的几个系统里采用IBAD技术均实现了非晶化，还发现了某些新相形成和相溶化现象，表现出与多层膜离子束混合（IM）不同的相形成规律，二元系统的形成热、组元金属的晶体结构和辅助离子束的能量对相的形成的均有重要的影响，这些研究表明IBAD技术在二元合金系统中制备与研究非晶合金薄膜以及亚稳晶态薄膜方面具有很大的应用前景和理论意义。
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关键词
离子束辅助沉积
非
晶
合金薄膜
二元合金
非
晶
形成范围
亚稳晶相
相
演化
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职称材料
题名
离子束辅助沉积引发互不固溶系非晶相和亚稳晶相形成
被引量：
5
1
作者
曾飞
赵斌
潘峰
机构
清华大学材料科学与工程系
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期277-280,共4页
基金
国家重大基金资助项目 (G2 0 0 0 0 6 72 0 7)
国家自然科学基金资助项目 ( 19875 0 2 7)
文摘
利用离子束辅助沉积技术 (IBAD)研究了在互不固溶的Cu -Ta和Cu -Nb系统中获得非晶相和亚稳晶相的可能性 .结果表明 :r(Cu)为 30 %时Cu含量的Cu -Ta薄膜得到了非晶相 ;r(Cu)为 2 5 %～ 35 %时Cu -Nb薄膜中随辅助离子束能量的改变出现了fcc相 -非晶相转变 ;r(Cu)为 2 0 %时Cu -Nb薄膜中得到了bcc相 ,说明IBAD技术可以在互不固溶二元合金系统中制备非晶和亚稳晶相 .
关键词
离子束辅助沉积
非
晶
相
亚稳晶相
薄膜
制备
铜钽合金
铜铌合金
Keywords
ion beam assisted deposition
amorphous phase
metastable crystalline phase
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜
2
作者
潘峰
曾飞
等
机构
先进材料教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第B12期1-4,共4页
文摘
本文阐述了用离子束辅助沉积（IBAD）技术制备非晶合金薄膜的基本思路，介绍了本研究组在二元合金系统里制备和非晶和亚稳晶相的研究结果，研究发现，在所选的几个系统里采用IBAD技术均实现了非晶化，还发现了某些新相形成和相溶化现象，表现出与多层膜离子束混合（IM）不同的相形成规律，二元系统的形成热、组元金属的晶体结构和辅助离子束的能量对相的形成的均有重要的影响，这些研究表明IBAD技术在二元合金系统中制备与研究非晶合金薄膜以及亚稳晶态薄膜方面具有很大的应用前景和理论意义。
关键词
离子束辅助沉积
非
晶
合金薄膜
二元合金
非
晶
形成范围
亚稳晶相
相
演化
分类号
TG139.8 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子束辅助沉积引发互不固溶系非晶相和亚稳晶相形成
曾飞
赵斌
潘峰
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2001
5
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职称材料
2
离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜
潘峰
曾飞
等
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
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参考文献
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