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飞秒激光在银膜表面诱导亚波长周期条纹的超快成像研究
被引量：
1
1
作者
郗慧霞
周侃
+1 位作者
贾天卿
孙真荣
《华东师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期89-96,共8页
采用440 nm空间分辨、亚皮秒时间分辨的泵浦探测成像技术,本文研究了800 nm飞秒激光脉冲照射银膜表面后亚波长周期条纹的形成动力学.分析了1~6个飞秒脉冲照射下银膜表面条纹结构的演化过程.第一个激光脉冲在薄膜表面诱导凹槽等缺陷结构...
采用440 nm空间分辨、亚皮秒时间分辨的泵浦探测成像技术,本文研究了800 nm飞秒激光脉冲照射银膜表面后亚波长周期条纹的形成动力学.分析了1~6个飞秒脉冲照射下银膜表面条纹结构的演化过程.第一个激光脉冲在薄膜表面诱导凹槽等缺陷结构;第二个激光脉冲以后表面开始出现亚波长周期条纹,并且在更多脉冲照射时进行纵向和横向生长.条纹在50~70 ps以后开始出现,随延迟时间增加不断加深变长,在演化过程中条纹位置保持不变;形成过程在1 000 ps内基本结束.研究结果表明,飞秒激光在薄膜表面诱导凹槽等缺陷结构在后面的激光脉冲照射表面过程中激发了表面等离激元,进而导致的周期性能量沉积在亚波长周期条纹形成过程中起了关键作用,材料表面的熔化导致了之前形成的条纹变浅以及部分消失.
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关键词
飞秒激光
泵浦探测成像
亚波长周期条纹
银膜
表面等离激元
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职称材料
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在硅表面诱导高质量亚波长周期条纹(特邀)
2
作者
许宇锋
张羽婵
+2 位作者
蒋其麟
沈辉辉
贾天卿
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期1-12,共12页
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高...
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳,条纹周期为1008 nm,结构取向角为2.8°,边缘粗糙度为3.9 nm,可达到光刻工艺的标准。
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关键词
激光加工
激光诱导表面
周期
结构
亚波长周期条纹
法布里-珀罗腔
飞秒激光脉冲串
硅
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职称材料
题名
飞秒激光在银膜表面诱导亚波长周期条纹的超快成像研究
被引量：
1
1
作者
郗慧霞
周侃
贾天卿
孙真荣
机构
华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室
出处
《华东师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期89-96,共8页
基金
国家自然科学基金(11474097)
文摘
采用440 nm空间分辨、亚皮秒时间分辨的泵浦探测成像技术,本文研究了800 nm飞秒激光脉冲照射银膜表面后亚波长周期条纹的形成动力学.分析了1~6个飞秒脉冲照射下银膜表面条纹结构的演化过程.第一个激光脉冲在薄膜表面诱导凹槽等缺陷结构;第二个激光脉冲以后表面开始出现亚波长周期条纹,并且在更多脉冲照射时进行纵向和横向生长.条纹在50~70 ps以后开始出现,随延迟时间增加不断加深变长,在演化过程中条纹位置保持不变;形成过程在1 000 ps内基本结束.研究结果表明,飞秒激光在薄膜表面诱导凹槽等缺陷结构在后面的激光脉冲照射表面过程中激发了表面等离激元,进而导致的周期性能量沉积在亚波长周期条纹形成过程中起了关键作用,材料表面的熔化导致了之前形成的条纹变浅以及部分消失.
关键词
飞秒激光
泵浦探测成像
亚波长周期条纹
银膜
表面等离激元
Keywords
femtosecond laser
pump-probe imaging
periodic ripples
silver film surface plasmon polariton
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在硅表面诱导高质量亚波长周期条纹(特邀)
2
作者
许宇锋
张羽婵
蒋其麟
沈辉辉
贾天卿
机构
华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期1-12,共12页
基金
国家自然科学基金(No.12074123)。
文摘
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳,条纹周期为1008 nm,结构取向角为2.8°,边缘粗糙度为3.9 nm,可达到光刻工艺的标准。
关键词
激光加工
激光诱导表面
周期
结构
亚波长周期条纹
法布里-珀罗腔
飞秒激光脉冲串
硅
Keywords
Laser processing
Laser induced periodic surface structures
Near-subwavelength ripples
Fabry-Perot cavity
Femtosecond laser pulse train
Si
分类号
TN244 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光在银膜表面诱导亚波长周期条纹的超快成像研究
郗慧霞
周侃
贾天卿
孙真荣
《华东师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在硅表面诱导高质量亚波长周期条纹(特邀)
许宇锋
张羽婵
蒋其麟
沈辉辉
贾天卿
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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