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计算机散斑干涉法在位移测量中的应用 被引量:3
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作者 施其 李邦义 徐汉涛 《实验室研究与探索》 CAS 2001年第2期99-102,共4页
基于计算机散斑干涉法的原理进行平面内位移测量 ,采用亚像素法、附加矢量法和中心偏移法提高了精度 ,使该方法更具实用性 ,并以试验验证。结果表明 ,计算机散斑干涉法应用在位移测量中 ,误差相近于其它方法 ,然而具有远距测量、非接触... 基于计算机散斑干涉法的原理进行平面内位移测量 ,采用亚像素法、附加矢量法和中心偏移法提高了精度 ,使该方法更具实用性 ,并以试验验证。结果表明 ,计算机散斑干涉法应用在位移测量中 ,误差相近于其它方法 ,然而具有远距测量、非接触、全场测量等独特的优点 ,再有对环境要求不高、成本较低、可编程等有利条件 ,使该方法有良好的应用前景。 展开更多
关键词 计算机散斑干涉法 亚像素法 附加矢量法 位移测量 中心偏移法 CSI
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双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究 被引量:2
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作者 刘林青 李东升 +1 位作者 马建东 秦昀亮 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第2期16-21,共6页
针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,... 针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,通过解析几何的办法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合情况下内径尺寸的计算结果。根据所建立模型计算设计测头A、测头B分辨力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量需求。该原理性研究为双光杆法内径尺寸测量装置的研制提供理论基础。 展开更多
关键词 双光学灵敏杠杆 内径尺寸检测 小孔衍射 亚像素法
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