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基于扫描电镜样品台五轴移动系统的三维长度测量方法的开发
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作者 王森 李亚慧 孟祥锋 《电子显微学报》 北大核心 2025年第3期363-372,共10页
本文开发了一种基于扫描电子显微镜(SEM)样品台五轴移动系统来实现待测样品三维长度的测量方法。通过系统研究三维长度L在SEM二维成像图下随样品台倾斜T的数值变化规律,推导出适用于不同情况下L的计算公式。该方法成功应用于小鼠耳蜗毛... 本文开发了一种基于扫描电子显微镜(SEM)样品台五轴移动系统来实现待测样品三维长度的测量方法。通过系统研究三维长度L在SEM二维成像图下随样品台倾斜T的数值变化规律,推导出适用于不同情况下L的计算公式。该方法成功应用于小鼠耳蜗毛细胞静纤毛三维长度的精确测量。经验证,该方法适用于不同品牌和型号的扫描电镜,具有普适性和推广价值。 展开更多
关键词 扫描电镜 三维长度测量 五轴移动系统 倾斜 静纤毛
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