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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统
被引量：
11
1
作者
王海珊
史铁林
+2 位作者
廖广兰
刘世元
张文栋
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期84-89,共6页
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂...
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。
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关键词
相移
干涉法
垂直扫描干涉法
林尼克干涉结构
五步相移算法
SEST
算法
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职称材料
题名
基于干涉显微原理的表面形貌测量系统
被引量：
11
1
作者
王海珊
史铁林
廖广兰
刘世元
张文栋
机构
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
中北大学电子测试技术国家重点实验室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期84-89,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50535030)
国家“973”计划资助项目(2003CB716207)
+1 种基金
国家“863”计划资助项目(2006AA4Z325)
新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0639)
文摘
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。
关键词
相移
干涉法
垂直扫描干涉法
林尼克干涉结构
五步相移算法
SEST
算法
Keywords
Phase Shift Interferometry
Vertical Scanning Interferometry
Linnik interferometer
five-step phase-shift algorithm
Squared-Envelope function estimation by Sampling Theory algorithm
分类号
TH741.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于干涉显微原理的表面形貌测量系统
王海珊
史铁林
廖广兰
刘世元
张文栋
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
11
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