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题名基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
被引量：3
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作者
王一名
张超
孙秀平
匡尚奇
杨海贵
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机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2018年第4期20-24,30,共6页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(61405189)
吉林省科技发展计划项目(20150101019JC
20170312024ZG)
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文摘
掠入射X射线反射(GIXR)是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合精度差的问题,本文将云模型与量子进化算法相结合,提出了一种基于云模型量子进化算法(CQEA)的薄膜微观结构表征方法,并将该算法应用于Si单层膜和周期极紫外Mo/Si多层膜的表征之中,并将其拟合结果与基于进化算法的拟合结果进行对比。分析表明,CQEA具有种群规模小、收敛速度快和拟合精度高的优势,同时给出的薄膜结构参数值精度更高。相关研究工作体现了CQEA应用于薄膜微观结构表征中的可行性与优越性,为基于GIXR的薄膜微观结构表征提供一种更优选的拟合求解方法。
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关键词
薄膜光学
薄膜表征
掠入射X射线反射
云模型量子进化算法
极紫外多层膜
单层膜
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Keywords
film optics
characterization of thin film
grazing incidence X ray reflection
cloud model quantum evolutionary algorithm
extreme ultraviolet multilayer
single layer
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分类号
O434.1
[机械工程—光学工程]
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