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题名基于QPD的二维角位移精密测量传感技术研究
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作者
范亚男
陈青山
刘洋
王猛
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机构
北京信息科技大学
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出处
《工具技术》
2019年第8期108-112,共5页
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基金
十三五国防预研项目资助项目(41414050205)
北京信息科技大学促进高校内涵发展科研水平提高项目
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文摘
为解决二维角位移高精度精密测量的问题,研究了一种基于QPD的二维角位移测量方法。以LED作为光源,低暗电流、高灵敏度的四象限光电探测器作为检测元件,采用光学杠杆式的测角方法形成测量系统。分析了光斑大小对测量结果的影响,并搭建高集成实验系统进行验证。测试实验结果表明:测角分辨力达到1″,在2mrad量程内,非线性度为0.18%,数据采集与传送延时为250μs。该方法可用于精密光机系统,以便高精度实时监测高速运动元件的二维角运动。
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关键词
二维角位移
四象限光电探测器
LED
精密测量
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Keywords
2D angle precision measurement
four quadrant detector
LED
precision measurement
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分类号
TG806
[金属学及工艺—公差测量技术]
TH712
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名光电测量二维微角位移的新方法研究与实现
被引量：2
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作者
罗钧
万文通
卢嘉江
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机构
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第8期51-53,共3页
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文摘
为了解决对旋转台定位精度校准的同时又能对其台面俯仰角度进行测量的问题,提出了一种光电测量二维微角位移的新方法。在激光自准直光路中,采用数字信号处理器(DSP)获取准直物镜焦平面上V字形分划板在自扫描光电二极管阵列(SSPA)上两次成像之间的位移量,根据光学成像原理与像的外形特征,建立了像的平面位移量与被测物体二维角位移量的关系式,从而计算出角位移量。此方法的测量精度达到0.9″,满足旋转台校准的需要。
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关键词
二维微角位移
激光自准直
数字信号处理器
自扫描光电二极管阵列
V形分划板
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Keywords
two dimensions tiny angular displacement
laser autocollimation
DSP
self scanned photodiode array（SSPA）
V shape graduation -
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分类号
TH712
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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