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平面二维时栅位移传感器电气系统设计 被引量:3
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作者 钟自强 武亮 +1 位作者 张天恒 童鹏 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2022年第5期128-136,共9页
针对现有一维时栅位移传感器的电气系统无法与平面二维时栅位移传感器相匹配,需要外接多个信号处理电路,系统集成度低,且极易产生电气误差等问题,设计了适用于二维时栅位移传感器的电气系统。根据平面二维时栅位移传感器的测量原理,分... 针对现有一维时栅位移传感器的电气系统无法与平面二维时栅位移传感器相匹配,需要外接多个信号处理电路,系统集成度低,且极易产生电气误差等问题,设计了适用于二维时栅位移传感器的电气系统。根据平面二维时栅位移传感器的测量原理,分析了电气系统产生的误差,设计了电气系统的三大核心模块:激励信号发生模块、感应信号处理模块和位移解算模块,并通过Multisim对电气系统的信号进行仿真,验证了电气系统的可行性。实验表明:该电气系统实现了平面二维时栅传感器高速、高分辨率的实时采样,同时有效降低了由电气系统带来的误差对传感器测量精度的影响,为制作高精度平面二维时栅位移传感器提供了技术支持。 展开更多
关键词 二维时栅位移传感器 电气系统 电路仿真 MULTISIM
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基于多频磁场的平面二维时栅传感器信号解耦研究
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作者 杨继森 文杰 +1 位作者 雷旭 吴灼 《传感技术学报》 北大核心 2025年第3期487-495,共9页
电磁式二维时栅位移传感器广泛用于数控机床,人工智能等高精度位移测量领域中,针对二维时栅位移测量需要考虑X方向与Y方向感应信号的耦合问题,对位移解耦方法展开相关研究。首先使用开关混频技术将耦合信号拆分为附带位移信息的直流量... 电磁式二维时栅位移传感器广泛用于数控机床,人工智能等高精度位移测量领域中,针对二维时栅位移测量需要考虑X方向与Y方向感应信号的耦合问题,对位移解耦方法展开相关研究。首先使用开关混频技术将耦合信号拆分为附带位移信息的直流量与多个高频附加量,其次利用滤波器提取关键位移信息,最终通过ADC采样对位移信息进行解算;针对传感器两路感应信号不经过同一处理电路引入的电气误差,提出了分时复用的方法,控制分时时序,交错处理两路感应信号。实验结果表明,在X、Y方向分别在10 kHz和200 kHz的频率激励下,该二维测量系统有效提高了传感器测量精度,保证了传感器动态性能,X方向原始对极内误差为±32μm,Y方向原始对极内误差为±27.5μm。 展开更多
关键词 二维时栅位移传感器 多频磁场 解耦方法 开关混频
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