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题名干涉条纹图像处理的相位解包新方法
被引量：9
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作者
万文博
苏俊宏
杨利红
徐均琪
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期70-74,178,共6页
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文摘
干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方法的基本原理,提出一种新的相位解包算法——菱形种子算法,通过识别1个种子点,然后依次向相邻4点扩展,再把这4个点作为第二批种子点,依次向各自的4点邻域扩展,以菱形轨迹遍历所有的有效信息点,以到达整幅图像相位解包的目的。采用该算法测量薄膜样片的厚度,测试结果与ZYGO测试结果比较,PV误差为0.036 4λ,RMS最大误差为0.003λ,证明该算法虽然处理的是单幅干涉图,但可以得到高精度的相位分布。
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关键词
干涉图
二维快速傅里叶法
相位解包
薄膜测试
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Keywords
interferogram
2-D FFT
phase unwrapping
measurement of thin-film thickness
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分类号
TN911.73
[电子电信—通信与信息系统]
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