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基于压电陶瓷的二维微动工作台有限元分析被引量：9: 1; 作者曹坚周庆华 +1 位作者严拱标沈剑英《机床与液压》北大核心 2003年第2期39-40,共2页; 本文对二维微动工作台的一些关键技术进行了理论分析,并借助于ANSYS软件建立了二维微动工作台的有限元模型,采用有限元分析方法,对其静、动态力学性能进行了数值分析,得出了微动工作台的静态力学性能及固有频率。; 关键词二维微动工作台有限元分析压电陶瓷柔性铰链微位移机构; 在线阅读下载PDF 职称材料

二维微动工作台的定位误差补偿实验被引量：1: 2; 作者林杰俊李东升沈小燕《机床与液压》北大核心 2013年第21期19-22,共4页; 随着科学技术的发展，超精密定位技术在各领域得到了广泛应用，它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微动工作台的定位误差进行研究。首先，对分辨率为0.15 nm的双频激光干涉仪进行了测量误差分析，其标... 展开更多; 关键词二维微动工作台纳米定位定位误差反相法; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于压电陶瓷的二维微动工作台有限元分析	曹坚周庆华严拱标沈剑英	《机床与液压》北大核心	2003	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	二维微动工作台的定位误差补偿实验	林杰俊李东升沈小燕	《机床与液压》北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料

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