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基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
1
作者
姚翔
肖功利
+3 位作者
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1550-1554,共5页
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M...
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。
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关键词
表面等离子体共振效应
二
维
金属亚波长
孔
阵列
结构
SU-8膜的厚度
透射增强特性
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职称材料
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
被引量：
1
2
作者
邓功荣
史衍丽
+1 位作者
余连杰
何雯瑾
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第2期70-74,共5页
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外...
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外探测器、二维小孔阵列红外探测器(2DHA-QDIP),国外报道了640×512量子点红外焦平面阵列的热成像,但现有的QDIP还未充分显现出其潜在优势。阐述了正在研究的几种QDIP和未来技术发展的趋势。
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关键词
量子点红外探测器(
qdip
)
焦平面
阵列
阱中点
qdip
隧穿
qdip
二维小孔阵列qdip
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职称材料
题名
基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
1
作者
姚翔
肖功利
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
机构
复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室
桂林电子科技大学信息与通信学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1550-1554,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60906054)
教育部博士研究生基金(20070246099)
文摘
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。
关键词
表面等离子体共振效应
二
维
金属亚波长
孔
阵列
结构
SU-8膜的厚度
透射增强特性
Keywords
two-dimensional metallic sub-wavelength hole arrays
SU-8 layer thickness
transmission
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
被引量：
1
2
作者
邓功荣
史衍丽
余连杰
何雯瑾
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第2期70-74,共5页
基金
国家973重大安全基础研究子课题
文摘
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外探测器、二维小孔阵列红外探测器(2DHA-QDIP),国外报道了640×512量子点红外焦平面阵列的热成像,但现有的QDIP还未充分显现出其潜在优势。阐述了正在研究的几种QDIP和未来技术发展的趋势。
关键词
量子点红外探测器(
qdip
)
焦平面
阵列
阱中点
qdip
隧穿
qdip
二维小孔阵列qdip
Keywords
qdip
, FPA, DWELL-
qdip
, T-
qdip
, 2DHA-
qdip
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
姚翔
肖功利
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
邓功荣
史衍丽
余连杰
何雯瑾
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011
1
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职称材料
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