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表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列
被引量：
2
1
作者
李海军
林文魁
+5 位作者
张晓东
王逸群
曾春红
赵德胜
王敏锐
张宝顺
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第1期60-63,共4页
重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的...
重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的表面等离子体激元提高近场光刻分辨率的微观机制。以金膜上的亚波长纳米孔阵列作为掩模版进行了接触式曝光实验,实际制作出了光刻胶的亚波长二维点阵图形,点阵图形的直径约为300nm,周期约为700nm。这种新型的微纳加工技术具有应用简单、成本低等特点,在大规模二维纳米点阵的制作方面有一定的应用潜力。
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关键词
表面等离子体
近场光刻
纳米
孔
阵列
二
维
纳米
阵列
金膜
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职称材料
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
2
作者
邓功荣
史衍丽
+1 位作者
余连杰
何雯瑾
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第2期70-74,共5页
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外...
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外探测器、二维小孔阵列红外探测器(2DHA-QDIP),国外报道了640×512量子点红外焦平面阵列的热成像,但现有的QDIP还未充分显现出其潜在优势。阐述了正在研究的几种QDIP和未来技术发展的趋势。
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关键词
量子点红外探测器(
qdip
)
焦平面
阵列
阱中点
qdip
隧穿
qdip
二维小孔阵列qdip
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职称材料
题名
表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列
被引量：
2
1
作者
李海军
林文魁
张晓东
王逸群
曾春红
赵德胜
王敏锐
张宝顺
机构
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
中国科学院半导体研究所
中国科学院研究生院
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第1期60-63,共4页
基金
苏州市科技发展计划(ZXG0712)
文摘
重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的表面等离子体激元提高近场光刻分辨率的微观机制。以金膜上的亚波长纳米孔阵列作为掩模版进行了接触式曝光实验,实际制作出了光刻胶的亚波长二维点阵图形,点阵图形的直径约为300nm,周期约为700nm。这种新型的微纳加工技术具有应用简单、成本低等特点,在大规模二维纳米点阵的制作方面有一定的应用潜力。
关键词
表面等离子体
近场光刻
纳米
孔
阵列
二
维
纳米
阵列
金膜
Keywords
surface plasmon
near-field lithography
nano-hole array
two dimensional nanoarray
gold film
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
2
作者
邓功荣
史衍丽
余连杰
何雯瑾
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011年第2期70-74,共5页
基金
国家973重大安全基础研究子课题
文摘
量子点红外探测器(QDIP)理论上具有对垂直入射光敏感、暗电流小、载流子寿命长、工作温度和响应率高等优势。目前,研究主要集中在普通量子点红外探测器、阱中点红外探测器(DWELL-QDIP)、隧穿量子点红外探测器(T-QDIP)、Si/Ge量子点红外探测器、二维小孔阵列红外探测器(2DHA-QDIP),国外报道了640×512量子点红外焦平面阵列的热成像,但现有的QDIP还未充分显现出其潜在优势。阐述了正在研究的几种QDIP和未来技术发展的趋势。
关键词
量子点红外探测器(
qdip
)
焦平面
阵列
阱中点
qdip
隧穿
qdip
二维小孔阵列qdip
Keywords
qdip
, FPA, DWELL-
qdip
, T-
qdip
, 2DHA-
qdip
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列
李海军
林文魁
张晓东
王逸群
曾春红
赵德胜
王敏锐
张宝顺
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010
2
在线阅读
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职称材料
2
量子点红外探测器及焦平面阵列的研究进展
邓功荣
史衍丽
余连杰
何雯瑾
《红外技术》
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
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