期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
聚焦离子束在二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜透射电镜截面微观结构表征中的应用
被引量：
2
1
作者
陶伟杰
刘灿辉
+1 位作者
陶莹雪
贺振华
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期155-158,共4页
二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜材料的透射电镜截面微观结构表征中,存在薄膜易脱落、脆性大、耐磨性差,以及选区制备难度大、制样效率低、成功率低等问题。采用聚焦离子束技术,成功地进行了二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜的透射电镜...
二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜材料的透射电镜截面微观结构表征中,存在薄膜易脱落、脆性大、耐磨性差,以及选区制备难度大、制样效率低、成功率低等问题。采用聚焦离子束技术,成功地进行了二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜的透射电镜截面微观形貌的表征。结果表明,聚焦离子束技术是一种可以有效减少二维多孔薄膜样品制备过程中的损伤,进行高质量进行透射电镜截面微观结构表征的方法。
展开更多
关键词
二
维
多孔
si/
al
_(2)
o
_(3)/
sic
薄膜
聚焦离子束
透射电镜
截面样品
微观结构
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
聚焦离子束在二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜透射电镜截面微观结构表征中的应用
被引量：
2
1
作者
陶伟杰
刘灿辉
陶莹雪
贺振华
机构
武汉理工大学信息工程学院
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期155-158,共4页
基金
国家自然科学基金(11747133)
中央高校基本科研业务费专项资金(195209019)。
文摘
二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜材料的透射电镜截面微观结构表征中,存在薄膜易脱落、脆性大、耐磨性差,以及选区制备难度大、制样效率低、成功率低等问题。采用聚焦离子束技术,成功地进行了二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜的透射电镜截面微观形貌的表征。结果表明,聚焦离子束技术是一种可以有效减少二维多孔薄膜样品制备过程中的损伤,进行高质量进行透射电镜截面微观结构表征的方法。
关键词
二
维
多孔
si/
al
_(2)
o
_(3)/
sic
薄膜
聚焦离子束
透射电镜
截面样品
微观结构
Keywords
tw
o
dimen
si
o
n
al
p
o
r
o
us
si/
al
_(2)
o
_(3)/
sic
film
f
o
cused i
o
n beam
transmis
si
o
n electr
o
n micr
o
sc
o
pe
cr
o
ss secti
o
n sample
micr
o
structure
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚焦离子束在二维多孔Si/Al_(2)O_(3)/SiC薄膜透射电镜截面微观结构表征中的应用
陶伟杰
刘灿辉
陶莹雪
贺振华
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
