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等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究
被引量：
11
1
作者
吴志玮
丁可
+2 位作者
顾昌鑫
孙琦
单莉英
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期303-307,共5页
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明...
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明:等离子体鞘层的扩展先快后慢,且形状由椭圆柱形向圆柱形演化,对靶的保形性逐渐变差;注入离子剂量在靶表面的分布不均匀,在边角附近出现峰值;同时,在得到的入射离子信息基础上,对注入离子在改性层中的浓度深度分布研究表明,在靶的不同位置注入的离子在改性层中的浓度深度分布有显著差别,在靶边角处,注入离子的保留剂量很低,投影射程浅,浓度深度分布展宽较窄。
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关键词
等离子体浸没离子注入
二维元胞粒子模拟
平面靶
剂量分布
浓度深度分布
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职称材料
题名
等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究
被引量：
11
1
作者
吴志玮
丁可
顾昌鑫
孙琦
单莉英
机构
复旦大学材料科学系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期303-307,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50301005)
文摘
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明:等离子体鞘层的扩展先快后慢,且形状由椭圆柱形向圆柱形演化,对靶的保形性逐渐变差;注入离子剂量在靶表面的分布不均匀,在边角附近出现峰值;同时,在得到的入射离子信息基础上,对注入离子在改性层中的浓度深度分布研究表明,在靶的不同位置注入的离子在改性层中的浓度深度分布有显著差别,在靶边角处,注入离子的保留剂量很低,投影射程浅,浓度深度分布展宽较窄。
关键词
等离子体浸没离子注入
二维元胞粒子模拟
平面靶
剂量分布
浓度深度分布
Keywords
Plasma immersion ion implantation （PⅢ）, 2D Particle-in-cell （PIC）, Planar target, Dose distribution, Concentration depth profile
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
O411.3 [理学—理论物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究
吴志玮
丁可
顾昌鑫
孙琦
单莉英
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
11
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