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基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器 被引量:1
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作者 杨继森 庹万章 +2 位作者 张静 冯济琴 卢渝 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期201-213,共13页
针对目前光刻机、超精密数控机床等高端超精密装备对于精准平面定位的要求,提出了一种基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器。传感器组成为定尺和动尺,其中定尺由导磁基体和X、Y方向励磁线圈构成,动尺由导磁基体和X、Y方向感应线圈构... 针对目前光刻机、超精密数控机床等高端超精密装备对于精准平面定位的要求,提出了一种基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器。传感器组成为定尺和动尺,其中定尺由导磁基体和X、Y方向励磁线圈构成,动尺由导磁基体和X、Y方向感应线圈构成。通过对X、Y方向励磁线圈通入正余弦励磁信号,在定尺上构建出多频磁场耦合的二维均匀磁场阵列,动尺感应出带有位移信息的电信号,经过理论推导和电磁仿真验证了多频磁场直接解耦差动结构和幅值调制解算方法的可行性,并对仿真误差进行分析,并优化了传感器结构。最后采用PCB工艺制作传感器样机并开展相关实验研究,实验结果表明:传感器在150 mm×150 mm的测量范围可对二维位移进行精确测量,其中X方向测量精度为±33.08μm,Y方向测量精度为±36.95μm,优化后的传感器样机X、Y方向原始对极内位移误差峰峰值在原有基础上降低了49.1%和50.7%。 展开更多
关键词 二维位移传感器 平面位移测量 多频磁场耦合
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基于二维位移传感器的砂轮表面形貌测量 被引量:1
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作者 张霞 蔡顺燕 +1 位作者 李红梅 林梅 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第3期17-22,共6页
砂轮表面的三维形貌对保证其磨削质量有重要意义。采用高精度二维位移传感器在线测量砂轮的表面形貌,再通过建立的砂轮三维形貌基准平面和数字滤波方法,用测量数据计算得到砂轮表面的三维形貌评价参数。结果表明:该评价参数与Zeta自动... 砂轮表面的三维形貌对保证其磨削质量有重要意义。采用高精度二维位移传感器在线测量砂轮的表面形貌,再通过建立的砂轮三维形貌基准平面和数字滤波方法,用测量数据计算得到砂轮表面的三维形貌评价参数。结果表明:该评价参数与Zeta自动三维测量系统的测量结果基本相同,验证了该评价方法的有效性和实用性,可为砂轮修整及其磨削加工提供参考指标。 展开更多
关键词 砂轮 表面形貌 二维位移传感器 数字滤波 评价方法
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二维位移传感器研究 被引量:3
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作者 冯斌 罗叙萍 《工具技术》 2011年第11期80-83,共4页
在许多应用领域中,需要测量物体作二维运动的位移,特别是物体做平面平动的位移。本文介绍了各种二维位移传感器的原理和实现方法,具体分析了国内外已有的各种二维位移传感器的结构特点。
关键词 位移测量 二维位移传感器 平面平动
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基于多频磁场的平面二维时栅传感器信号解耦研究
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作者 杨继森 文杰 +1 位作者 雷旭 吴灼 《传感技术学报》 北大核心 2025年第3期487-495,共9页
电磁式二维时栅位移传感器广泛用于数控机床,人工智能等高精度位移测量领域中,针对二维时栅位移测量需要考虑X方向与Y方向感应信号的耦合问题,对位移解耦方法展开相关研究。首先使用开关混频技术将耦合信号拆分为附带位移信息的直流量... 电磁式二维时栅位移传感器广泛用于数控机床,人工智能等高精度位移测量领域中,针对二维时栅位移测量需要考虑X方向与Y方向感应信号的耦合问题,对位移解耦方法展开相关研究。首先使用开关混频技术将耦合信号拆分为附带位移信息的直流量与多个高频附加量,其次利用滤波器提取关键位移信息,最终通过ADC采样对位移信息进行解算;针对传感器两路感应信号不经过同一处理电路引入的电气误差,提出了分时复用的方法,控制分时时序,交错处理两路感应信号。实验结果表明,在X、Y方向分别在10 kHz和200 kHz的频率激励下,该二维测量系统有效提高了传感器测量精度,保证了传感器动态性能,X方向原始对极内误差为±32μm,Y方向原始对极内误差为±27.5μm。 展开更多
关键词 时栅位移传感器 多频磁场 解耦方法 开关混频
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基于二维激光位移传感器和遗传算法的钢轨磨耗动态检测系统 被引量:13
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作者 杨强 林建辉 +1 位作者 丁建明 农汉彪 《中国铁路》 2012年第6期85-88,共4页
介绍钢轨磨耗动态检测原理,提出基于二维激光位移传感器的钢轨磨耗动态检测方法。钢轨磨耗动态检测系统采用车载形式安装在检测车构架上,车辆走行过程中实时检测钢轨磨耗参数;在数据后处理中,利用遗传算法对轨腰和轨底之间的特征圆进行... 介绍钢轨磨耗动态检测原理,提出基于二维激光位移传感器的钢轨磨耗动态检测方法。钢轨磨耗动态检测系统采用车载形式安装在检测车构架上,车辆走行过程中实时检测钢轨磨耗参数;在数据后处理中,利用遗传算法对轨腰和轨底之间的特征圆进行拟合,减小了由于车辆振动引入的拟合误差。钢轨磨耗动态检测系统已在国内地铁检测车中得到应用,检测精度满足用户要求。 展开更多
关键词 钢轨磨耗 激光位移传感器 遗传算法 动态检测
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基于二维激光位移传感器同轴度测量方法研究 被引量:9
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作者 张瑛玮 朱万彬 +2 位作者 张歆东 姜苏伦 王炜辰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期1335-1338,共4页
提出了非接触方式测量同轴度的方法,采用二维激光位移传感器测量空心圆柱体内表面同轴度。依据传感器的采样率对搭载被测物体的转台的速度提出了要求。同时给出了根据圆柱内表面直径选取二维激光位移传感器的方法及设计技巧。对影响测... 提出了非接触方式测量同轴度的方法,采用二维激光位移传感器测量空心圆柱体内表面同轴度。依据传感器的采样率对搭载被测物体的转台的速度提出了要求。同时给出了根据圆柱内表面直径选取二维激光位移传感器的方法及设计技巧。对影响测量精度的因素进行了详细分析。实验表明,该测量装置易于实现,测量精度高,方法可行。 展开更多
关键词 非接触测量 激光位移传感器 最小乘法 同轴度
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平面二维时栅位移传感器电气系统设计 被引量:3
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作者 钟自强 武亮 +1 位作者 张天恒 童鹏 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2022年第5期128-136,共9页
针对现有一维时栅位移传感器的电气系统无法与平面二维时栅位移传感器相匹配,需要外接多个信号处理电路,系统集成度低,且极易产生电气误差等问题,设计了适用于二维时栅位移传感器的电气系统。根据平面二维时栅位移传感器的测量原理,分... 针对现有一维时栅位移传感器的电气系统无法与平面二维时栅位移传感器相匹配,需要外接多个信号处理电路,系统集成度低,且极易产生电气误差等问题,设计了适用于二维时栅位移传感器的电气系统。根据平面二维时栅位移传感器的测量原理,分析了电气系统产生的误差,设计了电气系统的三大核心模块:激励信号发生模块、感应信号处理模块和位移解算模块,并通过Multisim对电气系统的信号进行仿真,验证了电气系统的可行性。实验表明:该电气系统实现了平面二维时栅传感器高速、高分辨率的实时采样,同时有效降低了由电气系统带来的误差对传感器测量精度的影响,为制作高精度平面二维时栅位移传感器提供了技术支持。 展开更多
关键词 时栅位移传感器 电气系统 电路仿真 MULTISIM
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基于2D的钢轨轮廓特征点提取方法研究 被引量:7
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作者 熊仕勇 陈春俊 王锋 《铁道标准设计》 北大核心 2018年第4期17-21,共5页
钢轨轮廓数据特征点快速、准确提取是保证钢轨轮廓精确匹配、轨道几何不平顺精确检测的前提。对基于二维激光位移传感器(2D)的钢轨轮廓测量数据特征点提取方法进行研究,通过对采集的钢轨半断面轮廓数据采用基于中值误差与连续度自适应... 钢轨轮廓数据特征点快速、准确提取是保证钢轨轮廓精确匹配、轨道几何不平顺精确检测的前提。对基于二维激光位移传感器(2D)的钢轨轮廓测量数据特征点提取方法进行研究,通过对采集的钢轨半断面轮廓数据采用基于中值误差与连续度自适应调整权值的平滑滤波方法对实测轮廓数据进行平滑处理,解决存在分段的轮廓数据达到分段平滑的效果。提出钢轨轮廓特征曲线的概念,并给出特征曲线的一种定义方式,利用特征曲线上的特征点去快速定位实测轮廓特征点。最后,采用GJ-2型轨道检测车进行试验,通过对实际轨道进行轮廓测量,采用本文所提出的特征点提取方法对实测轮廓数据进行特征点提取,试验证明,该方法能快速、准确地定位轮廓特征点。 展开更多
关键词 激光位移传感器 钢轨轮廓 平滑滤波 特征曲线 特征点提取
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