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双束延时飞秒激光调控制备二维亚波长周期阵列结构: 1; 作者赵波黄振芬杨建军《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期62-73,共12页; 利用偏振垂直的双束延时蓝色飞秒激光(400 nm)经柱透镜聚焦扫描钼表面,获得了二维矩形周期排列的方形和(椭)圆形阵列结构,以及六边形周期排列的三角形阵列结构。最小结构尺寸和周期达到100 nm和280 nm。研究发现双束飞秒激光的能量密度... 展开更多; 关键词表面等离激元飞秒激光二维亚波长周期阵列结构非共线激发瞬态关联; 在线阅读下载PDF 职称材料

ZnS衬底上二维亚波长结构抗反射表面的制备及性能研究被引量：2: 2; 作者武倩刘正堂 +1 位作者李阳平徐启远《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期579-583,共5页; 采用接触式紫外光刻和反应离子刻蚀工艺在ZnS衬底上制备二维亚波长结构抗反射表面。在优化的光刻工艺下,以CH4、H2及Ar的混合气体为刻蚀剂,研究了刻蚀工艺对刻蚀速率和刻蚀形貌的影响。结果表明,刻蚀速率随着射频功率的增大线性增大,随... 展开更多; 关键词二维亚波长结构抗反射反应离子刻蚀刻蚀形貌; 在线阅读下载PDF 职称材料

锗衬底上锥形二维亚波长结构的制备被引量：1: 3; 作者张淼刘正堂 +2 位作者李阳平郑倩刘辉《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期515-519,共5页; 为了在Ge衬底上制备出锥形二维亚波长结构,文章研究了紫外接触式光刻工艺和反应离子刻蚀工艺对光刻及刻蚀图形的影响。结果发现:由于紫外光的衍射效应,光刻胶图形顶部出现了凹坑,使其有效抗蚀厚度减小,提高光刻胶图形的有效抗蚀厚度,能... 展开更多; 关键词二维亚波长结构反应离子刻蚀衍射效应刻蚀深度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究: 4; 作者姚翔肖功利 +3 位作者纪新明周嘉包宗明黄宜平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1550-1554,共5页; 以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M... 展开更多; 关键词表面等离子体共振效应二维金属亚波长孔阵列结构 SU-8膜的厚度透射增强特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种石墨烯波导褶皱激发表面等离子体激元的设计（英文）被引量：9: 5; 作者朱君秦柳丽 +1 位作者傅得立宋树祥《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期40-45,共6页; 设计了褶皱石墨烯波导结构激发表面等离子体激元,通过设计周期阵列结构实现了表面等离子体激元传播损耗的补偿.理论分析了周期阵列结构的表面等离子体激元传播模型和补偿损耗的方式,结果表明褶皱衍射激发表面等离子体激元波导不仅能够... 展开更多; 关键词亚波长光学表面等离子体激元周期褶皱结构周期阵列结构纳米腔; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双束延时飞秒激光调控制备二维亚波长周期阵列结构: 1; 作者赵波黄振芬杨建军; 机构长治学院物理系中科潞安紫外光电科技有限公司中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室微纳光子学与材料国际实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期62-73,共12页; 基金山西省基础研究计划(No.20210302124701) 国家重点研究发展计划(No.2022YFB3604802) +2 种基金长治市技术创新项目(No.2022cx002)。; 文摘利用偏振垂直的双束延时蓝色飞秒激光(400 nm)经柱透镜聚焦扫描钼表面,获得了二维矩形周期排列的方形和(椭)圆形阵列结构,以及六边形周期排列的三角形阵列结构。最小结构尺寸和周期达到100 nm和280 nm。研究发现双束飞秒激光的能量密度和能量比是不同类型结构形成及形貌转化的关键参数。通过优化激光参数,实现了圆形和三角形阵列结构的大面积均匀制备。两种周期排布的阵列结构的形成与双束延时飞秒激光与材料作用的超快动力学过程之间的瞬态关联作用以及作用过程中表面等离激元波的共线和非共线激发密切相关。该二维周期阵列结构加工方法及理论可拓展至其它硬质金属和半导体硅表面。; 关键词表面等离激元飞秒激光二维亚波长周期阵列结构非共线激发瞬态关联; Keywords Surface plasmon polariton Femtosecond laser Two-dimensional sub-wavelength periodic surface structures Noncollinear excitation Transient correlation; 分类号 O436 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ZnS衬底上二维亚波长结构抗反射表面的制备及性能研究被引量：2: 2; 作者武倩刘正堂李阳平徐启远; 机构凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期579-583,共5页; 基金航空科学基金资助的课题(2008ZE53043); 文摘采用接触式紫外光刻和反应离子刻蚀工艺在ZnS衬底上制备二维亚波长结构抗反射表面。在优化的光刻工艺下,以CH4、H2及Ar的混合气体为刻蚀剂,研究了刻蚀工艺对刻蚀速率和刻蚀形貌的影响。结果表明,刻蚀速率随着射频功率的增大线性增大,随着工作压强的增加先增大后减小,随着CH4含量的增大先增大后降低。功率过大会导致刻蚀产物发生二次沉积,CH4流量过高会导致聚合物的生成加剧,这些都会影响刻蚀形貌。最后在优化的刻蚀工艺下制备出了8～12μm波段具有较好的宽波段增透效果的二维亚波长结构。; 关键词二维亚波长结构抗反射反应离子刻蚀刻蚀形貌; Keywords Two-dimensional sub-wavelength structure Antireflection Reactive ion etching Etching pattern; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名锗衬底上锥形二维亚波长结构的制备被引量：1: 3; 作者张淼刘正堂李阳平郑倩刘辉; 机构西北工业大学凝固技术国家重点实验室; 出处《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期515-519,共5页; 基金航空科学基金(2008ZE53043)资助; 文摘为了在Ge衬底上制备出锥形二维亚波长结构,文章研究了紫外接触式光刻工艺和反应离子刻蚀工艺对光刻及刻蚀图形的影响。结果发现:由于紫外光的衍射效应,光刻胶图形顶部出现了凹坑,使其有效抗蚀厚度减小,提高光刻胶图形的有效抗蚀厚度,能有效增加最大刻蚀深度;在设计上适当增大掩膜版图形尺寸,即占空比f要略大于理论设定值,可以弥补后续刻蚀过程占空比的缩小;在刻蚀气体SF6中掺入一定量的O2可明显提高Ge的刻蚀深度;降低横向刻蚀速率,从而有利于制备出锥形浮雕结构。; 关键词二维亚波长结构反应离子刻蚀衍射效应刻蚀深度; Keywords etching fabrication diffraction conical sub-wavelength structure reactive ion etching etching depth; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究: 4; 作者姚翔肖功利纪新明周嘉包宗明黄宜平; 机构复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室桂林电子科技大学信息与通信学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1550-1554,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60906054) 教育部博士研究生基金(20070246099); 文摘以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。; 关键词表面等离子体共振效应二维金属亚波长孔阵列结构 SU-8膜的厚度透射增强特性; Keywords two-dimensional metallic sub-wavelength hole arrays SU-8 layer thickness transmission; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种石墨烯波导褶皱激发表面等离子体激元的设计（英文）被引量：9: 5; 作者朱君秦柳丽傅得立宋树祥; 机构广西师范大学电子工程学院广西师范大学数学与统计学院; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期40-45,共6页; 基金 The National Natural Science Foundation of China(No.61361011) Guangxi Natural Science Foundation(No.2015GXNSFBA139257) Guangxi Normal University Doctor Scientific Research Foundation,Guangxi Normal University Key Program(No.2015ZD03); 文摘设计了褶皱石墨烯波导结构激发表面等离子体激元,通过设计周期阵列结构实现了表面等离子体激元传播损耗的补偿.理论分析了周期阵列结构的表面等离子体激元传播模型和补偿损耗的方式,结果表明褶皱衍射激发表面等离子体激元波导不仅能够激发表面等离子体激元,还能利用表面等离子体激元波矢关系实现器件参数控制,周期阵列增益全程补偿损耗的方式可以显著增加表面等离子体激元的传播距离.数值分析结果进一步表明:该结构具备了保持亚波长尺寸的强局域化优势;周期阵列增益全程补偿可以显著提高纳米腔中的电场强度,降低传输损耗;波导结构的粒子反转水平较高,自发辐射噪声的扰动较低.设计的石墨烯波导器件可以为微纳光学集成、光子传感和测量等领域提供理想的亚波长光子器件.; 关键词亚波长光学表面等离子体激元周期褶皱结构周期阵列结构纳米腔; Keywords Subwavelength optics Surface plasmon polaritons Cycle fold structure Periodic array structure Nano-cavities; 分类号 TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	双束延时飞秒激光调控制备二维亚波长周期阵列结构	赵波黄振芬杨建军	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	ZnS衬底上二维亚波长结构抗反射表面的制备及性能研究	武倩刘正堂李阳平徐启远	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	锗衬底上锥形二维亚波长结构的制备	张淼刘正堂李阳平郑倩刘辉	《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究	姚翔肖功利纪新明周嘉包宗明黄宜平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种石墨烯波导褶皱激发表面等离子体激元的设计（英文）	朱君秦柳丽傅得立宋树祥	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	9	在线阅读下载PDF 职称材料