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铌表面固体粉末包埋渗硅研究 被引量:16
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作者 李明 宋力昕 +2 位作者 乐军 宋学平 郭占成 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期764-768,共5页
采用固体粉末包埋渗硅工艺在铌表面制备了二硅化铌涂层,研究了渗硅过程中Si沉积的反应机理和二硅化铌涂层的结构.结果表明:涂层由单相的二硅化铌组成;Si的输运和沉积主要依靠硅的低氟化物SiF2完成.
关键词 渗硅 涂层 二硅化铌
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