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铌表面固体粉末包埋渗硅研究
被引量:
16
1
作者
李明
宋力昕
+2 位作者
乐军
宋学平
郭占成
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期764-768,共5页
采用固体粉末包埋渗硅工艺在铌表面制备了二硅化铌涂层,研究了渗硅过程中Si沉积的反应机理和二硅化铌涂层的结构.结果表明:涂层由单相的二硅化铌组成;Si的输运和沉积主要依靠硅的低氟化物SiF2完成.
关键词
渗硅
涂层
铌
二硅化铌
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职称材料
题名
铌表面固体粉末包埋渗硅研究
被引量:
16
1
作者
李明
宋力昕
乐军
宋学平
郭占成
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心
中国科学院过程工程研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期764-768,共5页
文摘
采用固体粉末包埋渗硅工艺在铌表面制备了二硅化铌涂层,研究了渗硅过程中Si沉积的反应机理和二硅化铌涂层的结构.结果表明:涂层由单相的二硅化铌组成;Si的输运和沉积主要依靠硅的低氟化物SiF2完成.
关键词
渗硅
涂层
铌
二硅化铌
Keywords
Chemical vapor deposition
Coatings
Metals
Microstructure
Morphology
Oxidation resistance
Scanning electron microscopy
Silicon compounds
Thermodynamics
X ray diffraction analysis
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
铌表面固体粉末包埋渗硅研究
李明
宋力昕
乐军
宋学平
郭占成
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
16
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