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射频激励CO_2波导激光器的放电技术
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作者 朱钧 杨风雷 +2 位作者 范希智 陈钰清 王静环 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期290-292,共3页
在射频激励CO2 波导激光器的研制中 ,关键技术是如何使射频电源的能量能最大限度地输入到激光放电区中以及在放电区均匀放电。本文在理论上详细论述了如何在激光头的射频电极上并联上一些电感 ,并在激光头和电源之间加一可调匹配网络以... 在射频激励CO2 波导激光器的研制中 ,关键技术是如何使射频电源的能量能最大限度地输入到激光放电区中以及在放电区均匀放电。本文在理论上详细论述了如何在激光头的射频电极上并联上一些电感 ,并在激光头和电源之间加一可调匹配网络以达到这一目的 ,并在实验上实现了矩形波导以及 1× 3和 2× 3波导列阵大面积的均匀放电 。 展开更多
关键词 射频激励 阻抗匹配 二氧化碳波导激光器 放电
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