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气体放电与等离子体在芯片制造领域中的应用
1
作者 付洋洋 王新新 +11 位作者 邹晓兵 韩星 陈佳毅 张东荷雨 陈健东 林楚彬 杨栋 贾鸿宇 王倩 郑博聪 赵凯 肖舒 《高电压技术》 北大核心 2025年第8期4458-4477,共20页
放电等离子体广泛应用于半导体芯片制造,包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、等离子体清洗等,其技术总成占据集成电路产业份额1/3以上,已发展成为芯片制造工艺与装备领域的关键核心技术。该文对气体放电与等离子体在芯片制造领域的典... 放电等离子体广泛应用于半导体芯片制造,包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、等离子体清洗等,其技术总成占据集成电路产业份额1/3以上,已发展成为芯片制造工艺与装备领域的关键核心技术。该文对气体放电与等离子体在芯片制造领域的典型应用进行了概述。首先,针对光刻光源系统,介绍了气体放电泵浦准分子激光、激光产生等离子体辐射极紫外光的基本原理,其本质都是利用等离子体产生的光辐射;其次,针对刻蚀用射频等离子体,介绍了低气压射频放电的产生、特性、调控及相关工艺技术;再次,对薄膜工艺、离子注入装备原理及相关放电等离子体技术原理进行了介绍与讨论;随后,在量测与检测方面,分别介绍了光学检测与电子束检测的特点,阐述了激光维持等离子体实现宽谱强辐射光源的基本原理与特性;最后,介绍了基于辉光放电的等离子体清洗技术,以及其在去除刻蚀残留物中的应用。通过总结梳理气体放电与等离子体在半导体制造领域中的应用及相关核心技术,明晰放电等离子体科学基础研究方向,助力解决半导体装备国产化过程中的等离子体技术瓶颈。 展开更多
关键词 气体放电 等离子体 芯片制造 气体激光 等离子体辐射 射频放电 等离子体刻蚀 激光维持等离子体 辉光放电清洗
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机器学习驱动的辉光放电等离子体降解碱性紫16性能研究 被引量：1
2
作者 方野 王玉如 +3 位作者 曾静懿 王亚欣 郑伟 李敏睿 《中国环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期3206-3216,共11页
为了量化研究辉光放电等离子体(GDEP)降解碱性紫16(BV16)的效率影响因素以进一步提升其降解性能,共收集462条降解实验数据建立数据集,训练并评价了9种回归模型.结果表明,基于梯度提升树(GBDT)的集成学习模型预测性能优异,且以类别型特... 为了量化研究辉光放电等离子体(GDEP)降解碱性紫16(BV16)的效率影响因素以进一步提升其降解性能,共收集462条降解实验数据建立数据集,训练并评价了9种回归模型.结果表明,基于梯度提升树(GBDT)的集成学习模型预测性能优异,且以类别型特征提升(CatBoost)算法训练的模型性能最佳(R^(2)=0.988,MAE=2.050%).此外,沙普利加和解释方法(SHAP)对最佳模型的参数影响程度定量解析结果显示,反应时间(43.74%)、初始污染物浓度(23.00%)、氯化钾浓度(15.65%)和平均电流(12.63%)是影响BV16降解效率的关键因素.同时,基于部分依赖图(PDP)提出了参数交互影响优化方案.所建立的CatBoost-SHAP-PDP模型不仅能实现GDEP对BV16降解效果的模拟预测,而且是优化GDEP降解过程变量的有效方法,为GDEP降解染料废水复杂体系领域的建模与应用提供科学依据和技术支持. 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 染料废水 SHAP解释方法 机器学习
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辉光放电等离子体降解啤酒中T-2毒素
3
作者 王小博 刘健南 +3 位作者 郑琳 陈冰冰 冯泽君 邓旗 《食品与机械》 CSCD 北大核心 2024年第3期12-17,25,共7页
目的:探讨辉光放电等离子体(GDP)降解啤酒中T-2毒素的最佳工艺及对啤酒理化指标的影响。方法:通过Box-Behnken方法进行四因素三水平的响应面优化试验,确定啤酒中T-2毒素的最佳降解条件。结果:当放电电压为570 V,作用时间为18 min,放电... 目的:探讨辉光放电等离子体(GDP)降解啤酒中T-2毒素的最佳工艺及对啤酒理化指标的影响。方法:通过Box-Behnken方法进行四因素三水平的响应面优化试验,确定啤酒中T-2毒素的最佳降解条件。结果:当放电电压为570 V,作用时间为18 min,放电电流为99 mA,T-2毒素初始质量浓度为8.5μg/mL时,T-2毒素降解效率最高(89.21%);经GDP处理后,啤酒泡持性显著降低(P<0.05),其他指标无明显变化。结论:通过响应面优化模型获得的GDP最佳降解条件可以用于啤酒中T-2毒素的降解;GDP处理能够影响啤酒泡持性,但对其他指标无明显影响。 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 降解 啤酒 T-2毒素
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平板型与同轴型等离子体发生器射频大气压辉光放电特性分析 被引量：12
4
作者 李和平 王志斌 +2 位作者 乐沛思 葛楠 包成玉 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1588-1594,共7页
为了深入理解不同的等离子体发生器几何结构对其放电特性的影响规律,采用一维流体模型对平板型和同轴型两种不同结构等离子体发生器的放电特性进行了数值模拟研究,并对放电图像采用可见光图像处理技术进行了分析。数值模拟结果表明,平... 为了深入理解不同的等离子体发生器几何结构对其放电特性的影响规律,采用一维流体模型对平板型和同轴型两种不同结构等离子体发生器的放电特性进行了数值模拟研究,并对放电图像采用可见光图像处理技术进行了分析。数值模拟结果表明,平板型等离子体发生器所产生的等离子体主要参数(如电子温度和活性粒子浓度等)关于两电极中间平面对称,而同轴型等离子体发生器所产生的等离子体主要参数则呈现出非对称的分布规律,这与放电图像灰度值的空间分布规律定性一致。通过对等离子体中化学反应动力学过程的分析可知,不同结构发生器所对应的等离子体主要参数的空间分布规律依赖于不同电极结构所导致的放电区电场强度的空间分布。 展开更多
关键词 等离子体 大气压辉光放电 射频放电 电极结构 图像处理 数值模拟 灰度值
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辉光放电等离子体处理阳离子染料结晶紫废水 被引量：18
5
作者 高锦章 马东平 +2 位作者 郭晓 李岩 杨武 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期534-539,共6页
用辉光放电等离子体技术对结晶紫进行了降解脱色处理,考察了多种因素对结晶紫降解效果的影响。实验发现,提高电解质浓度和增加电压均可提高结晶紫的脱色效果,考虑到电极损耗,辉光放电最佳条件为:电解质浓度为2 g/L Na2SO4,电压为600 V... 用辉光放电等离子体技术对结晶紫进行了降解脱色处理,考察了多种因素对结晶紫降解效果的影响。实验发现,提高电解质浓度和增加电压均可提高结晶紫的脱色效果,考虑到电极损耗,辉光放电最佳条件为:电解质浓度为2 g/L Na2SO4,电压为600 V。当改变溶液的初始pH值时,结晶紫的脱色率随溶液的初始pH值升高而增加,加入一定量H2O2能明显地提高结晶紫的脱色效率;若加入0.4 mmol/L Fe2+,5 min时结晶紫的脱色率由原来的13.64%增加到91.36%。结果表明,辉光放电产生的.OH对结晶紫的降解起重要作用。最佳条件下,40 min内的脱色率达到93%,降解率为74%。 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 结晶紫 H2O2 染料废水 降解
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等离子体表面处理与大气压下的辉光放电 被引量：15
6
作者 李成榕 王新新 +1 位作者 詹花茂 张贵新 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期46-48,51,共4页
与传统的方法相比,等离子体处理的高效、无毒、节能特性使得它在表面处理和灭菌消毒方面有着很好的应用前景,在上述工业领域,“经典”的大气压放电诸如电晕放电、介质阻挡放电以及电弧放电都不适用。然而,尽管低气压下的辉光放电已得到... 与传统的方法相比,等离子体处理的高效、无毒、节能特性使得它在表面处理和灭菌消毒方面有着很好的应用前景,在上述工业领域,“经典”的大气压放电诸如电晕放电、介质阻挡放电以及电弧放电都不适用。然而,尽管低气压下的辉光放电已得到了很好的发展,大气压下辉光放电的实现还存在一些困难。目前,对大气压下辉光放电物理过程的探索集中在其物理机制、图像捕获以及大气压下空气中辉光放电的实现方面。 展开更多
关键词 辉光放电 等离子体 表面处理 大气压
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辉光放电电解等离子体引发纤维素基水凝胶的制备及其多重响应行为 被引量：7
7
作者 张文明 张玉苍 +3 位作者 李庆 李晓苇 刘金炜 王少阳 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期523-528,共6页
采用辉光放电电解等离子体(GDEP)制备以生物质为基材的水凝胶材料鲜见报道。为获得环保的水凝胶材料,利用GDEP引发制备出了以纤维素为基材的水凝胶材料。采用扫描电镜(SEM)和红外光谱(FT-IR)对制备的水凝胶的微观形态和结构进行了表征,... 采用辉光放电电解等离子体(GDEP)制备以生物质为基材的水凝胶材料鲜见报道。为获得环保的水凝胶材料,利用GDEP引发制备出了以纤维素为基材的水凝胶材料。采用扫描电镜(SEM)和红外光谱(FT-IR)对制备的水凝胶的微观形态和结构进行了表征,同时也考察了放电电压对水凝胶的溶胀、p H、盐多重响应行为的影响。结果表明:在放电电压570 V下制备的水凝胶的溶胀率最大为898 g/g;水凝胶在低或高p H缓冲溶液中网络结构收缩,溶胀率低;相对于Na+缓冲溶液,水凝胶对Ca2+和Fe3+缓冲溶液更为敏感,表现为体积收缩,溶胀率低。制备的纤维素水凝胶在不同p H缓冲溶液中具有可逆的开关响应行为,可逆循环利用3次以上。 展开更多
关键词 辉光放电电解等离子体 放电电压 纤维素 水凝胶 溶胀率 响应行为
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辉光放电等离子体用于聚丙烯薄膜表面处理 被引量：12
8
作者 严飞 林福昌 +1 位作者 王磊 戴玲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期190-194,共5页
为研究用辉光放电等离子体处理后材料表面成分和分子结构的变化,用辉光等离子体处理聚丙烯(PP)薄膜,利用红外光谱和扫描电镜检测了材料表面微观结构的变化,并用国标规定的装置检测了它的击穿场强。实验证明,处理后的PP膜表面粗糙度增加... 为研究用辉光放电等离子体处理后材料表面成分和分子结构的变化,用辉光等离子体处理聚丙烯(PP)薄膜,利用红外光谱和扫描电镜检测了材料表面微观结构的变化,并用国标规定的装置检测了它的击穿场强。实验证明,处理后的PP膜表面粗糙度增加,且引入了极性基团,微观结构产生了变化,但薄膜击穿强度没有发生明显变化。这为已经进行过很多的、关于等离子体表面处理对材料击穿场强的影响的研究提供了充足的实验证明,另也从微观角度为等离子体表面处理提供了较深入的理论支持。 展开更多
关键词 辉光放电 等离子体 聚丙烯薄膜 表面处理 击穿场强
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辉光放电等离子体对苹果汁中棒曲霉素降解作用及对苹果汁品质的影响 被引量：9
9
作者 孙艳 蒲陆梅 +3 位作者 龙海涛 张慧秀 薛华丽 毕阳 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2015年第24期104-108,共5页
为了寻求一种能最大限度保持苹果汁品质又能有效降解其中棒曲霉素（Pat）的技术方法,本文采用辉光放电等离子体技术,研究了其对苹果汁中棒曲霉素的降解效果及对果汁品质的影响。结果表明,当直流电压为550 V,电流范围为145~155 m A时,辉... 为了寻求一种能最大限度保持苹果汁品质又能有效降解其中棒曲霉素（Pat）的技术方法,本文采用辉光放电等离子体技术,研究了其对苹果汁中棒曲霉素的降解效果及对果汁品质的影响。结果表明,当直流电压为550 V,电流范围为145~155 m A时,辉光放电等离子体可在5 min内有效降解苹果汁中的棒曲霉素,降解效果显著（p〈0.05）,降解率达到96.63%。在0~30 min处理时间范围内,苹果汁中的可溶性固形物无变化,苹果汁的色值和透光率提高。10 min内苹果汁总酸度变化不大,p H稍微降低,粘度、电导率、A660和A420无显著变化。综合分析,10 min的处理时间已完全使苹果汁中的棒曲霉素降低到一个很低的水平,又不会对苹果汁的主要理化指标造成影响。 展开更多
关键词 苹果汁 棒曲霉素 辉光放电等离子体 降解 品质
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辉光放电等离子体对气压变化的响应特性 被引量：7
10
作者 李帆 焦俊凯 +2 位作者 罗海云 王偲臣 林峰 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第24期54-61,共8页
当代气体动力学研究经常需要测量超高频流动现象，而目前使用的测量技术手段频响存在瓶颈。基于辉光放电等离子体原理测量气压的方法，频响由驱动电源载波频率决定，有望突破此瓶颈，进而捕捉更细致精确的非定常流动信息。在进行高频、... 当代气体动力学研究经常需要测量超高频流动现象，而目前使用的测量技术手段频响存在瓶颈。基于辉光放电等离子体原理测量气压的方法，频响由驱动电源载波频率决定，有望突破此瓶颈，进而捕捉更细致精确的非定常流动信息。在进行高频、超高频交流驱动实验之前，首先需要研究稳态气压对辉光放电等离子体的影响，即在直流驱动不同电极间隙条件下辉光放电具有的不同放电模式，以及该放电模式下辉光放电的维持电压对较宽范围不同稳态气压（0.5～1.0atm）的响应规律。实验结果表明：间隙50μm电流控制在3～4.5mA范围，探针工作在反常辉光放电模式，电压随着气压增大而单调变小；间隙250μm电流控制在2～3.5mA范围，探针工作在亚正常辉光放电模式，电压随着气压增大而单调增大；间隙190μm时探针电压几乎不随气压变化。 展开更多
关键词 辉光放电 等离子体 稳态气压 放电模式 响应规律
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接触辉光放电等离子体引发合成淀粉接枝丙烯酸超强吸水树脂 被引量：9
11
作者 高锦章 王友娣 +4 位作者 王爱香 王宇晶 李岩 付燕 吴建林 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期282-286,共5页
采用接触辉光放电等离子体代替常规化学引发剂引发聚合反应成功地合成了淀粉接枝丙烯酸超强吸水树脂,用傅立叶变换红外光谱(FTIR)、热重分析(TGA)和扫描电子显微镜(SEM)测试技术对该吸水性树脂进行了结构表征和性能测试。采用正交设计... 采用接触辉光放电等离子体代替常规化学引发剂引发聚合反应成功地合成了淀粉接枝丙烯酸超强吸水树脂,用傅立叶变换红外光谱(FTIR)、热重分析(TGA)和扫描电子显微镜(SEM)测试技术对该吸水性树脂进行了结构表征和性能测试。采用正交设计方法研究了影响接枝反应的5个因素,考察了放电时间和放电功率对接触辉光放电强度的影响。结果表明,控制放电功率为12.8 W,放电时间为12 m in,在单体和淀粉质量比为2∶1,交联剂占淀粉和单体总量的质量分数为0.6%,后聚合温度70℃,后聚合时间3 h以及中和度为85%时,所合成的吸水树脂接枝率为47%,对蒸馏水的吸液率为765 g/g,对0.9%氯化钠溶液的吸液率为81 g/g。 展开更多
关键词 接触辉光放电等离子体 超强吸水树脂 淀粉 丙烯酸
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射频辉光放电等离子体的电探针诊断 被引量：10
12
作者 林揆训 余云鹏 +1 位作者 林璇英 王洪 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期56-64,共9页
本文简要叙述了探针诊断技术的作用，比较了单、双探针测量技术的异同，分析了当前所碰到的主要问题和各种可能的解决办法，着重报导了我们提出和制作的加热调谐单探针装置，不仅抑制了射频干扰，还克服了中毒效应对探针测量的影响。首... 本文简要叙述了探针诊断技术的作用，比较了单、双探针测量技术的异同，分析了当前所碰到的主要问题和各种可能的解决办法，着重报导了我们提出和制作的加热调谐单探针装置，不仅抑制了射频干扰，还克服了中毒效应对探针测量的影响。首次成功地测量了射频辉光放电硅烷等离子体的电子能量分布函数、电子平均能量和密度。并对测量结果进行了简要的分析。 展开更多
关键词 辉光放电 探针诊断 等离子体诊断
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辉光放电电解等离子体引发合成丙烯酰胺-丙烯酸共聚物水凝胶及其对阳离子染料的吸附性能 被引量：10
13
作者 俞洁 潘元沛 +2 位作者 陆泉芳 杨武 高锦章 《功能高分子学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期271-277,共7页
以丙烯酰胺(AM)和丙烯酸(AA)为单体、N,N′-亚甲基双丙烯酰胺(MBA)为交联剂,在水溶液中利用辉光放电电解等离子体(GDEP)引发,一步制得丙烯酰胺-丙烯酸共聚物(P(AM-co-AA))水凝胶。用红外光谱(FT-IR)、扫描电镜(SEM)和热重分析(TGA)对P(A... 以丙烯酰胺(AM)和丙烯酸(AA)为单体、N,N′-亚甲基双丙烯酰胺(MBA)为交联剂,在水溶液中利用辉光放电电解等离子体(GDEP)引发,一步制得丙烯酰胺-丙烯酸共聚物(P(AM-co-AA))水凝胶。用红外光谱(FT-IR)、扫描电镜(SEM)和热重分析(TGA)对P(AM-co-AA)水凝胶的结构、形貌和稳定性进行了表征。考察了放电电压、放电时间、MBA质量含量、AM质量分数以及中和度对P(AM-co-AA)水凝胶吸附孔雀石绿(MG)的影响,同时探讨了引发机理。结果表明,水凝胶对MG的最大吸附量为864mg/g。 展开更多
关键词 辉光放电电解等离子体 丙烯酰胺-丙烯酸共聚物 水凝胶 吸附 孔雀石绿
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基于直流辉光放电等离子体的气体压力传感器 被引量：8
14
作者 李帆 罗海云 +1 位作者 杜娟 聂超群 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第15期3163-3171,共9页
研究了一种基于直流辉光放电等离子体原理的气体压力测量方法,设计了一种等离子体压力传感器,并对该传感器的放电维持电压与气压之间的关系进行了稳态及动态标定实验。稳态标定实验结果表明,50μm间隙适用于气压量程0.4~2.0atm(1atm=101... 研究了一种基于直流辉光放电等离子体原理的气体压力测量方法,设计了一种等离子体压力传感器,并对该传感器的放电维持电压与气压之间的关系进行了稳态及动态标定实验。稳态标定实验结果表明,50μm间隙适用于气压量程0.4~2.0atm(1atm=101325Pa),220μm适用于气压量程0.5~5.0atm,此时电流选取在3.0~5.0mA之间。动态标定实验在激波管实验台上进行,结果表明等离子体压力传感器和参考Endevco压阻式传感器的上升时间基本一致,均为1μs;且通过计算动态传递函数可得,该等离子体压力传感器及其电源、电子电路系统的固有频率为146.6kHz,未来可以为航空发动机、冲压发动机严苛高温环境及超高速流动中的高频压力脉动信息的获取提供支撑。 展开更多
关键词 辉光放电 等离子体 压力传感器 响应特征
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直流辉光放电等离子体激发光源自动调节控制系统 被引量：4
15
作者 万真真 王永清 +2 位作者 李小佳 王海舟 施宁 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期839-843,共5页
直流辉光放电过程中需要控制的三个重要工作参数为放电电流、放电电压和放电室内氩气气压。该文介绍了一种应用于直流辉光放电等离子体激发光源的自动调节控制系统,该控制系统在放电电流恒定的情况下调节放电室内氩气气压,实现了对放电... 直流辉光放电过程中需要控制的三个重要工作参数为放电电流、放电电压和放电室内氩气气压。该文介绍了一种应用于直流辉光放电等离子体激发光源的自动调节控制系统,该控制系统在放电电流恒定的情况下调节放电室内氩气气压,实现了对放电电压的信号采集和自动控制。文章阐述了该控制系统的设计思路、电路原理及控制方案。该自动调节控制系统改善了以往用手动调节时精度低且操作复杂的情况,提高了放电电压的控制精度,缩短了放电电压的稳定时间。文中给出了自动控制方式下激发源放电电压的稳定性测试结果,控制精度由手动调节时的4%FS改善为小于1%FS,放电电压稳定时间由手动时的大于90s缩短到30s以内。采用该控制系统对中低合金钢和锡青铜标准样品进行了样品精密度实验。元素含量分析精密度比手动调节方式显著提高,各元素含量测试结果的相对标准偏差(RSD)均优于3.5%。中低合金钢标准样品中Ti,Co,Mn元素含量测试结果的RSD范围由手动时的3.0%～4.3%减小到1.7%～2.4%,S和Mo元素RSD范围由5.2%～5.9%减小到3.3%～3.5%。锡青铜标准样品中Sn,Zn,Al元素RSD范围由2.6%～4.4%减小到1.0%～2.4%,Si,Ni,Fe元素的RSD范围由6.6%～13.9%降低到2.6%～3.5%,并给出了实测数据。 展开更多
关键词 辉光放电 等离子体 溅射 自动控制 比例电磁阀
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纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用 被引量：9
16
作者 万军 贾向红 +1 位作者 宋铭炜 王守国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2299-2302,共4页
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之... 采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电。采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高。 展开更多
关键词 纳秒脉冲放电 半导体断路开关 空气辉光等离子体 表面处理
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液下辉光放电等离子体重整低碳醇水溶液制氢 被引量：7
17
作者 严宗诚 陈砺 王红林 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1432-1437,共6页
探讨了阴极液下辉光放电等离子体重整低碳醇水溶液制氢反应过程.比较了水溶液和低碳醇水混合溶液中阴极等离子体重整制氢实验,发现以低碳醇水溶液为等离子体重整介质时,低碳醇分子在阴极等离子体层中表现出明显高于水分子的反应活性,阴... 探讨了阴极液下辉光放电等离子体重整低碳醇水溶液制氢反应过程.比较了水溶液和低碳醇水混合溶液中阴极等离子体重整制氢实验,发现以低碳醇水溶液为等离子体重整介质时,低碳醇分子在阴极等离子体层中表现出明显高于水分子的反应活性,阴极气体单位体积能耗可以降至2·690×103kJ·m-3,生成气体中氢气含量达95%,并有一氧化碳和二氧化碳.分析了电压对阴极生成气单位体积能耗和气体组成的影响,发现电压越高等离子体密度越大,阴极生成气单位体积能耗降低,被等离子体分解的溶剂溶质分子也越多.比较了不同浓度低碳醇溶液的产气情况,低碳醇浓度对生成气组成和单位体积能耗有重要影响. 展开更多
关键词 辉光放电 低碳醇 制氢 重整 液下放电等离子体
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大气压交流辉光放电等离子体气-液相化学反应器 被引量：5
18
作者 印永祥 程仕清 +4 位作者 吴广军 杨志坚 戴晓雁 陈炳金 朱家骅 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期46-49,共4页
本文介绍一种大气压交流辉光放电等离子体气－液相化学反应器的结构、放电实验及应用结果。该反应器在气－液混合和大气压条件下顺利地产生了氢等离子体，并在常温、常压和无催化剂作用下，对液相Ｃ１８烯酸进行选择性加氢。结果表明，... 本文介绍一种大气压交流辉光放电等离子体气－液相化学反应器的结构、放电实验及应用结果。该反应器在气－液混合和大气压条件下顺利地产生了氢等离子体，并在常温、常压和无催化剂作用下，对液相Ｃ１８烯酸进行选择性加氢。结果表明，作为原料的Ｃ１８烯酸的碘值（ＩⅤ）降低了１０％，色谱分析不仅验证了这一结果，而且表明有较好的选择性。 展开更多
关键词 大气压 辉光放电 气-液相 等离子体 反应器
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活性炭和H_2O_2存在下辉光放电等离子体降解邻苯二胺 被引量：5
19
作者 高锦章 黄冬玲 +3 位作者 杨武 俞洁 李岩 蒲陆梅 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期319-322,共4页
在活性炭或/和H2O2存在下,用辉光放电等离子体降解邻苯二胺。考察了溶液pH值、Fe2+等影响因素。结果表明,在活性炭和H2O2同时存在下可以提高降解效率,且操作简便,费用较低,在废水处理中有潜在的应用前景。
关键词 辉光放电等离子体 降解 邻苯二胺 废水处理
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辉光放电等离子体对合成甲醇用铜基催化剂的改性作用 被引量：10
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作者 徐慧远 储伟 慈志敏 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1042-1046,共5页
以辉光放电等离子体方法制备了新型高效铜基催化剂,应用XRD、SEM、H2-TPR、BET、H2-TPD、CO-TPD技术以及对CO加氢合成甲醇反应进行研究,分析了在氮气、氢气或先氮气后氢气等方式的不同气氛中进行等离子体处理对铜基催化剂的结构和性能... 以辉光放电等离子体方法制备了新型高效铜基催化剂,应用XRD、SEM、H2-TPR、BET、H2-TPD、CO-TPD技术以及对CO加氢合成甲醇反应进行研究,分析了在氮气、氢气或先氮气后氢气等方式的不同气氛中进行等离子体处理对铜基催化剂的结构和性能的影响.结果表明,催化剂前体经等离子体改性处理后,样品的比表面积增大,活性中心数增加;当等离子体气氛为先氮气后氢气时,催化剂上的CO加氢活性和甲醇的时空产率显著提高. 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 铜基催化剂 合成甲醇 一氧化碳加氢
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