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液相沉积法制备TiO_2颗粒表面包覆SiO_2纳米膜
被引量：
43
1
作者
覃操
王亭杰
金涌
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期884-889,共6页
研究了用液相沉积法在TiO2颗粒表面包覆SiO2纳米膜的过程.通过透射电镜（TEM）和酸溶实验分析,证实本实验在TiO2颗粒表面包覆了一层连续、致密的SiO2纳米膜.(?)-电位分析表明,颗粒表面只需少量包覆就可以显著改变颗粒表面的电动力学行为...
研究了用液相沉积法在TiO2颗粒表面包覆SiO2纳米膜的过程.通过透射电镜（TEM）和酸溶实验分析,证实本实验在TiO2颗粒表面包覆了一层连续、致密的SiO2纳米膜.(?)-电位分析表明,颗粒表面只需少量包覆就可以显著改变颗粒表面的电动力学行为.采用X射线荧光光谱分析仪（XRF）测定SiO2包覆量随包覆过程的变化.通过X射线光电子能谱（XPS）分析,获得Ti2p、Si2p及Ols电子结合能及其相对强度随包覆过程的变化规律,揭示硅酸分子在TiO2颗粒表面的包覆过程.分析表明,初期形成的活性硅酸分子与TiO2颗粒表面的羟基反应形成Ti-O-Si键,后期形成的硅酸分子与已键合在表面的硅酸发生缩合反应,形成连续致密的硅膜,膜层在陈化过程中继续缓慢生长.
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关键词
液相沉积法
制备
TiO
2
颗粒
表面包
覆
sio
2
纳米
膜
二氧化
钛
二氧化硅
改性
光催化剂
在线阅读
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职称材料
钝化层对声表面波滤波器的影响
被引量：
2
2
作者
赵雪梅
伍平
+4 位作者
董加和
米佳
黎亮
陈峻
陈正林
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第4期511-513,共3页
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜...
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
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关键词
表面波滤波器
钝化层
二氧化硅
(
sio
_(
2
))
覆
膜
过渡带宽
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职称材料
题名
液相沉积法制备TiO_2颗粒表面包覆SiO_2纳米膜
被引量：
43
1
作者
覃操
王亭杰
金涌
机构
清华大学化学工程系
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期884-889,共6页
基金
国家自然科学基金(29906004)项目
高等学校博士学科点专项科研基金(99000331)资助项目
文摘
研究了用液相沉积法在TiO2颗粒表面包覆SiO2纳米膜的过程.通过透射电镜（TEM）和酸溶实验分析,证实本实验在TiO2颗粒表面包覆了一层连续、致密的SiO2纳米膜.(?)-电位分析表明,颗粒表面只需少量包覆就可以显著改变颗粒表面的电动力学行为.采用X射线荧光光谱分析仪（XRF）测定SiO2包覆量随包覆过程的变化.通过X射线光电子能谱（XPS）分析,获得Ti2p、Si2p及Ols电子结合能及其相对强度随包覆过程的变化规律,揭示硅酸分子在TiO2颗粒表面的包覆过程.分析表明,初期形成的活性硅酸分子与TiO2颗粒表面的羟基反应形成Ti-O-Si键,后期形成的硅酸分子与已键合在表面的硅酸发生缩合反应,形成连续致密的硅膜,膜层在陈化过程中继续缓慢生长.
关键词
液相沉积法
制备
TiO
2
颗粒
表面包
覆
sio
2
纳米
膜
二氧化
钛
二氧化硅
改性
光催化剂
Keywords
titanium dioxide
coating
silica
chemical deposition
modification
分类号
O643.3 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
钝化层对声表面波滤波器的影响
被引量：
2
2
作者
赵雪梅
伍平
董加和
米佳
黎亮
陈峻
陈正林
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第4期511-513,共3页
文摘
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
关键词
表面波滤波器
钝化层
二氧化硅
(
sio
_(
2
))
覆
膜
过渡带宽
Keywords
SAW filter
passivation layer
sio
_(
2
) film
transition bandwidth
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
液相沉积法制备TiO_2颗粒表面包覆SiO_2纳米膜
覃操
王亭杰
金涌
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2002
43
在线阅读
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职称材料
2
钝化层对声表面波滤波器的影响
赵雪梅
伍平
董加和
米佳
黎亮
陈峻
陈正林
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021
2
在线阅读
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职称材料
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