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二次离子质谱学的新进展 被引量:13
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作者 查良镇 桂东 朱怡峥 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期129-136,165,共9页
简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领... 简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领域 ,讨论了其前沿在世纪之交对SIMS提出的挑战 ,介绍了定量分析和仪器的发展现状。有重点地结合一些实例 。 展开更多
关键词 二次离子质谱学 微电子 光电子 质谱仪器 质谱分析
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2005年全球华人二次离子质谱学及相关领域研讨会在台湾新竹成功举行
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作者 查良镇 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2005年第2期I0002-I0002,共1页
2005年全球华人二次离子质谱学及相关领域研讨会(2005 Worldwide Chinese Secondary Ion Mass Spectrometry&Related Topic Symposium,2005WCSIMS)于1月15--19日在台湾新竹成功举行,这是1993和1998年在北京清华大学召开第一、二届... 2005年全球华人二次离子质谱学及相关领域研讨会(2005 Worldwide Chinese Secondary Ion Mass Spectrometry&Related Topic Symposium,2005WCSIMS)于1月15--19日在台湾新竹成功举行,这是1993和1998年在北京清华大学召开第一、二届中国二次离子质谱学会议的基础上,首次在新竹清华大学举办,新竹和北京清华大学的凌永健和查良镇教授共同担任大会主席。新竹清华大学工学院院长陈力俊教授和化学系主任汪炳钧教授致欢迎词后,会议正式开始。 展开更多
关键词 二次离子质谱学 新竹 台湾省 华人 全球 清华大 MASS ION 教授
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第十六届国际二次离子质谱学会议概况
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作者 查良镇 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2008年第3期161-161,共1页
关键词 二次离子质谱学 会议概况 国际 滨海城市 ION
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二次离子质谱学的最新进展──第9届国际二次离子质谱学会议评述 被引量:2
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作者 邹庆生 查良镇 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1995年第2期29-36,共8页
二次离子质谱学(SIMS)以其很高的灵敏度、很宽的动态范围和优良的深度分辨已逐步发展成为一种重要而有特色的表面分析手段。本文结合第9届国际二次离子质谱学会议(SIMS-IX)对SIMS的最新进展作一个简要评述,范围包... 二次离子质谱学(SIMS)以其很高的灵敏度、很宽的动态范围和优良的深度分辨已逐步发展成为一种重要而有特色的表面分析手段。本文结合第9届国际二次离子质谱学会议(SIMS-IX)对SIMS的最新进展作一个简要评述,范围包括SIMS的各个方面:基础研究、仪器发展、定量分析、应用以及后电离技术等。 展开更多
关键词 二次离子质谱学 进展 评述 SIMS
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GaAs二次离子发射的氧和铯效应
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作者 桂东 查良镇 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期109-115,共7页
在二次离子质谱学中,氧和铯效应是影响二次离子发射最重要和复杂的现象。概括地总结了自90年代以来对GaAs二次离子发射氧和铯效应基础研究的主要成果。在准静态条件下,解决了用惰性气体Ar^+源注氧研究复杂GaAs基体上二... 在二次离子质谱学中,氧和铯效应是影响二次离子发射最重要和复杂的现象。概括地总结了自90年代以来对GaAs二次离子发射氧和铯效应基础研究的主要成果。在准静态条件下,解决了用惰性气体Ar^+源注氧研究复杂GaAs基体上二次离子发射氧效应的主要困难,得到了表面注氧和覆铯使GaAs二次离子产额和能量分布变化的实验规律,用TOF-SIMS研究了砷化镓中MCs^+ MCs2^+等原子团离子的发射特性。 展开更多
关键词 砷化镓 二次离子质谱学 氧效应 铯效应 能量
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