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新疆汉代羊毛织物染料的飞行时间二次离子质谱表征 被引量:1
1
作者 刘婕 陈相龙 +2 位作者 梁汉东 铁偲 李展平 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期386-395,I0003,共11页
汉代女性干尸着鲜艳的红-蓝-浅黄三色羊毛纤维编制的华丽服饰,本研究以织物片段作为研究样本,主要采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对其染料进行表征。离子成像与高质量分辨数据显示:红色纤维表面产生汞同位素离子(^(202)Hg+和^(19... 汉代女性干尸着鲜艳的红-蓝-浅黄三色羊毛纤维编制的华丽服饰,本研究以织物片段作为研究样本,主要采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对其染料进行表征。离子成像与高质量分辨数据显示:红色纤维表面产生汞同位素离子(^(202)Hg+和^(199)Hg+)、汞-硫离子(HgS^(+),m/z 234)、硫同位素离子(^(32)S−和^(34)S−)等,指示其染料属于天然无机矿物朱砂(HgS);蓝色纤维则出现目标化合物的准分子离子m/z 263([M+H]^(+)),以及合理的碎片离子系列,如m/z 235(C_(15)H_(11)N_(2)O^(+))和m/z 247(C_(16)H_(11)N_(2)O^(+))等,指示其呈色来自经典天然植物有机染料靛蓝(C_(16)H_(10)N_(2)O_(2),分子质量262.0742);浅黄纤维未检出有机染料(如姜黄)或无机染料(如铁黄),其呈色可能是白色羊毛自然老化陈旧所致。本工作表明,擅长微区原位与超高灵敏度检测的TOF-SIMS法既适用于有机染料分析,也适用于无机染料分析,该方法有望在考古和博物馆馆藏相关研究中获得广泛应用。 展开更多
关键词 染料 汉代 织物 有机 无机 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)
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飞行时间二次离子质谱在指纹分析中的研究进展 被引量:4
2
作者 满瀚泽 陈诺 +2 位作者 孙佳磊 秦歌 赵雅彬 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期338-350,共13页
指纹作为接触类犯罪案件现场最常见的痕迹之一,基于其形态学价值及承载的物质进行分析是个体识别、侦查破案的重要手段。飞行时间二次离子质谱技术(TOF-SIMS)是一种兼具高质量分辨率和高空间分辨能力的表面分析技术,能够同时获得待测物... 指纹作为接触类犯罪案件现场最常见的痕迹之一,基于其形态学价值及承载的物质进行分析是个体识别、侦查破案的重要手段。飞行时间二次离子质谱技术(TOF-SIMS)是一种兼具高质量分辨率和高空间分辨能力的表面分析技术,能够同时获得待测物质的质谱信息和成像分布。相较于其他理化分析技术,TOF-SIMS所具备的快速检验、无需前处理、原位近无损分析等优势使其逐渐成为指纹分析领域的前沿课题。该文基于TOF-SIMS在成像增强、物质分析、犯罪信息挖掘等指纹分析领域的研究现状展开综述,分析其在公安实战中的应用前景,以期为该技术在指纹检验领域的推广奠定基础。 展开更多
关键词 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS) 质谱成像 指纹 应用研究
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基于原位液相飞行时间二次离子质谱的电化学固液界面研究
3
作者 张燕燕 汪福意 《质谱学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期1-13,I0001,共14页
电化学界面是能源转换与存储、生物化学、传感器和腐蚀等领域的核心,研究电化学界面结构与性能的关系一直是电化学和化学测量学的热点与难点。本文重点介绍了基于高真空兼容微流控装置的原位液相飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)技术的... 电化学界面是能源转换与存储、生物化学、传感器和腐蚀等领域的核心,研究电化学界面结构与性能的关系一直是电化学和化学测量学的热点与难点。本文重点介绍了基于高真空兼容微流控装置的原位液相飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)技术的原理、特性,及其在电化学固液界面实时、原位探测方面的研究进展。随着微流控装置的进一步创新以及ToF-SIMS仪器的不断发展,原位液相ToF-SIMS将为电催化、电池等领域的复杂电化学固液界面研究提供重要手段。 展开更多
关键词 电化学固液界面 原位液相飞行时间二次离子质谱 原位分析 实时分析
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二次离子质谱(SIMS)分析技术及应用进展 被引量:31
4
作者 周强 李金英 +1 位作者 梁汉东 伍昌平 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2004年第2期113-120,共8页
二次离子质谱 ( SIMS)比其他表面微区分析方法更灵敏。由于应用了中性原子、液态金属离子、多原子离子和激光一次束 ,后电离技术 ,离子反射型飞行时间质量分析器 ,离子延迟探测技术和计算机图像处理技术等 ,使得新型的 SIMS的一次束能... 二次离子质谱 ( SIMS)比其他表面微区分析方法更灵敏。由于应用了中性原子、液态金属离子、多原子离子和激光一次束 ,后电离技术 ,离子反射型飞行时间质量分析器 ,离子延迟探测技术和计算机图像处理技术等 ,使得新型的 SIMS的一次束能量提高到 Me V,束斑至亚μm,质量分辨率达到 1 5 0 0 0 ,横向和纵向分辨率小于 0 .5μm和 5 nm,探测限为 ng/g,能给出二维和三维图像信息。 SIMS能用于矿物、核物质、陨石和宇宙物质的半定量元素含量和同位素丰度测定 ,能鉴定出高挥发性、热不稳定性的生物大分子 ,能进行横向和纵向剖析 ,能进行单颗粒物、团蔟、聚合物、微电子晶体、生物芯片、生物细胞同位素标记和单核苷酸多肽性分型 ( SNP)测定 ,能观测出含有 2 0 0 0碱基对的脱氧核糖核酸 ( DNA)的准分子离子峰。以SIMS在同位素、颗粒物、大分子、生物等研究领域的应用为重点 ,结合实例 ,对 展开更多
关键词 二次离子质谱 技术原理 分析仪器 表面分析技术 SIMS
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电感耦合等离子体质谱、热电离质谱和二次离子质谱技术在核工业中的新进展 被引量:15
5
作者 李金英 郭冬发 +4 位作者 吉燕琴 赵永刚 李力力 崔建勇 石磊 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2010年第5期257-263,共7页
结合实例,回顾并展望了电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、热电离质谱(TIMS)和二次离子质谱(SIMS)技术的应用进展,特别是在核工业领域中的进展。讨论了未来相关质谱技术的发展方向,并指出目前存在的主要问题,探讨了可能的解决方案。
关键词 电感耦合等离子质谱(ICP-MS) 热电离质谱(TIMS) 二次离子质谱(SIMS) 核燃料循环 铀资源勘查 核保障监督
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二次离子质谱第四纪锆石年代学:台湾金瓜石英安岩定年 被引量:9
6
作者 高钰涯 李献华 +1 位作者 李秋立 锺孙霖 《地学前缘》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期146-155,共10页
高精度第四纪年代学是第四纪研究的基础,对了解地球演化和发展非常关键。大型二次离子质谱(SIMS)锆石U-Th-Pb定年方法,集高空间分辨率、高精度、高效率和近无损分析等优势于一体,可以提取矿物微区中记录的丰富地质信息,在第四纪年代学... 高精度第四纪年代学是第四纪研究的基础,对了解地球演化和发展非常关键。大型二次离子质谱(SIMS)锆石U-Th-Pb定年方法,集高空间分辨率、高精度、高效率和近无损分析等优势于一体,可以提取矿物微区中记录的丰富地质信息,在第四纪年代学研究中具有很大的应用潜力。文中对SIMS第四纪锆石原位微区年龄测定的基本原理、分析校正方法进行介绍,并报道我们测定台湾第四纪金瓜石英安岩锆石U-Pb年龄的结果((1.166±0.020)Ma)。 展开更多
关键词 二次离子质谱 第四纪锆石 U-PB定年 不平均U-系定年
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纳米二次离子质谱技术(NanoSIMS)在微生物生态学研究中的应用 被引量:18
7
作者 胡行伟 张丽梅 贺纪正 《生态学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期348-357,共10页
超高分辨率显微镜成像技术与同位素示踪技术相结合的纳米二次离子质谱技术(NanoSIMS)具有较高的灵敏度和离子传输效率、极高的质量分辨率和空间分辨率(<50 nm),代表着当今离子探针成像技术的最高水平。利用稳定性或者放射性同位素在... 超高分辨率显微镜成像技术与同位素示踪技术相结合的纳米二次离子质谱技术(NanoSIMS)具有较高的灵敏度和离子传输效率、极高的质量分辨率和空间分辨率(<50 nm),代表着当今离子探针成像技术的最高水平。利用稳定性或者放射性同位素在原位或者微宇宙条件下示踪目标微生物,然后将样品进行固定、脱水、树脂包埋或者导电镀膜处理,制备成可供二次离子质谱分析的薄片,进一步通过NanoSIMS成像分析,不仅能够在单细胞水平上提供微生物的生理生态特征信息,而且能够准确识别复杂环境样品中的代谢活跃的微生物细胞及其系统分类信息,对于认识微生物介导的元素生物地球化学循环机制具有重要意义。介绍了纳米二次离子质谱技术的工作原理和技术路线,及其与同位素示踪技术、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、荧光原位杂交技术(FISH)、催化报告沉积荧光原位杂交技术(CARD-FISH)、卤素原位杂交技术(Halogen In SituHybridization,HISH)等联合使用在微生物生态学研究方面的应用。 展开更多
关键词 纳米二次离子质谱 同位素分析 图像定量分析 微生物生态学 荧光原位杂交
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山东金刚石碳同位素组成的二次离子质谱显微分析 被引量:5
8
作者 张健 陈华 +3 位作者 陆太进 丘志力 魏然 柯捷 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期591-596,共6页
华北克拉通山东金刚石晶体生长的多阶段性及碳同位素组成已被人们关注,但很少有人对不同阶段金刚石及其内部的碳同位素组成变化进行分析。本文利用二次离子质谱(SIMS)微区分析技术对山东金刚石晶体内部不同阶段生长的δ13C进行了原位测... 华北克拉通山东金刚石晶体生长的多阶段性及碳同位素组成已被人们关注,但很少有人对不同阶段金刚石及其内部的碳同位素组成变化进行分析。本文利用二次离子质谱(SIMS)微区分析技术对山东金刚石晶体内部不同阶段生长的δ13C进行了原位测试分析,得出山东金刚石δ13C的变化范围在-5.6‰~-2.01‰,平均值为-3.63‰,与前人对华北克拉通金刚石碳同位素组成测试值(δ13C在-14.71‰~-0.46‰,主要集中在-9‰~-4‰之间)大致相同,位于全球橄榄岩型金刚石及幔源碳同位素组成主要范围(-8‰~-2‰)内。结合金刚石生长环带阴极发光图像,认为金刚石自核心部位至边缘,在同一期生长环带内,其δ13C值呈变重趋势;在多期复杂生长环带之间,δ13C值因结晶时的地质环境不同而存在差异。δ13C值的这种变化揭示了该地区金刚石复杂的生长环境,为解析华北克拉通地幔碳循环提供了定量数据。 展开更多
关键词 金刚石 碳同位素 地球化学 二次离子质谱
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北京大气气溶胶表面无机组分的静态飞行时间二次离子质谱研究 被引量:4
9
作者 李红 柴发合 +4 位作者 鲁德凤 王学中 邓利群 倪润祥 陈义珍 《环境科学研究》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期619-626,共8页
采用特定的样品处理方式,利用静态飞行时间二次离子质谱(Static-TOF-SIMS)技术,对使用通用型大气污染物采样仪VAPS(URG-3000K)采集于非导电性的滤膜(聚碳酸酯滤膜)上的大气气溶胶细粒子(PM2.5)与粗粒子(PM2.5~10)的表面无机组分进行了... 采用特定的样品处理方式,利用静态飞行时间二次离子质谱(Static-TOF-SIMS)技术,对使用通用型大气污染物采样仪VAPS(URG-3000K)采集于非导电性的滤膜(聚碳酸酯滤膜)上的大气气溶胶细粒子(PM2.5)与粗粒子(PM2.5~10)的表面无机组分进行了探索性的比较分析.结果表明:大气气溶胶细粒子与粗粒子的表面无机组分组成特征具有明显的差异;气溶胶细粒子表面存在着大气中二次形成的亲水性化合物,会对其表面的疏水性/亲水性特征产生影响,从而影响其大气化学行为;气溶胶粗粒子表面存在氟化物,对生态环境和人体健康具有潜在的危害性,应该重视对气溶胶中氟污染的研究与控制;静态飞行时间二次离子质谱可以成为研究大气气溶胶表面化学组成特征的有利分析手段. 展开更多
关键词 气溶胶表面分析 无机组分 静态飞行时间二次离子质谱 北京
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二次离子质谱学的新进展 被引量:13
10
作者 查良镇 桂东 朱怡峥 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期129-136,165,共9页
简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领... 简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领域 ,讨论了其前沿在世纪之交对SIMS提出的挑战 ,介绍了定量分析和仪器的发展现状。有重点地结合一些实例 。 展开更多
关键词 二次离子质谱 微电子学 光电子学 质谱仪器 质谱分析
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飞行时间-二次离子质谱技术在大气气溶胶研究中的应用进展 被引量:4
11
作者 倪润祥 李红 +1 位作者 伦小秀 温冲 《安全与环境学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期116-122,共7页
在简述飞行时间-二次离子质谱技术(TOF-SIMS)的基本原理、技术特点和优势的基础上,阐述了近年来TOF-SIMS应用于气溶胶表面化学表征、气溶胶粒子化学组成深度剖析、气溶胶表面化学反应、气溶胶粒子表面毒性,以及气溶胶污染源排放特征与... 在简述飞行时间-二次离子质谱技术(TOF-SIMS)的基本原理、技术特点和优势的基础上,阐述了近年来TOF-SIMS应用于气溶胶表面化学表征、气溶胶粒子化学组成深度剖析、气溶胶表面化学反应、气溶胶粒子表面毒性,以及气溶胶污染源排放特征与污染源识别等方面的研究进展,并对TOF-SIMS技术在大气气溶胶研究中的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 大气科学 飞行时间-二次离子质谱 大气气溶胶 单颗粒分析 表面分析 应用进展
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平炉尘单颗粒物中多环芳烃的二次离子质谱研究 被引量:3
12
作者 周强 于春海 +1 位作者 梁汉东 李艳芳 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2000年第3期25-26,共2页
The aerosols from the Steel Plant collected by a low pressure impactor on aluminum foils have been analyzed by static secondary ion mass spectrometry (SIMS). The study has characterized a series of polycyclic aromatic... The aerosols from the Steel Plant collected by a low pressure impactor on aluminum foils have been analyzed by static secondary ion mass spectrometry (SIMS). The study has characterized a series of polycyclic aromatic hydrocarbons (PAHs) absorbed on the individual particle. 展开更多
关键词 平炉尘 颗粒物 多环芳烃 检测 二次离子质谱
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铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析 被引量:3
13
作者 包泽民 刘光达 +6 位作者 龙涛 王培智 石坚 邱春玲 田地 张玉海 刘敦一 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期229-235,共7页
铜合金中含有Pb、Sn、Zn、Ni等元素,其分布和相对含量对铜合金的性能具有重要影响。本工作采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对铜合金标准样品GBW02137和GBW02140的表面进行了微区原位分析;采用束斑直径约5μm的一次离子束轰击500μ... 铜合金中含有Pb、Sn、Zn、Ni等元素,其分布和相对含量对铜合金的性能具有重要影响。本工作采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对铜合金标准样品GBW02137和GBW02140的表面进行了微区原位分析;采用束斑直径约5μm的一次离子束轰击500μm×500μm区域内的混合固体合金样品,实现了Cu、Pb、Ni、Sn和Zn元素的表面成像,并测量了各元素在铜合金样品表面的分布情况;利用标样校准法对GBW02137、GBW02140中的^(64)Zn/^(120)Sn、^(208)Pb/^(120)Sn值进行相对含量分析。实验结果表明:TOF-SIMS法可用于铜合金中Cu、Pb、Ni、Sn和Zn等元素的表面成像和相对含量测定;采用标样校准法进行相对含量分析时,测得的^(64)Zn/^(120)Sn相对误差小于5.1%,RSD优于2.5%,^(208)Pb/^(120)Sn的测量相对误差较大,接近27%,但其RSD仍低于5%。 展开更多
关键词 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS) 铜合金 表面分析 元素成像
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有机显微组分的二次离子质谱研究 被引量:2
14
作者 刘大锰 金奎励 +1 位作者 艾天杰 毛鹤龄 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第5期440-446,共7页
采用二次离子质谱技术(SIMS)对煤及源岩中不同成熟度的镜质体、丝质体、沥青和笔石进行了详细研究。结果表明不同显微组分具有不同的SIMS谱图,反映出其化学组成和结构的差异性,且CH+2/CH+3参数变化趋势可以用来评... 采用二次离子质谱技术(SIMS)对煤及源岩中不同成熟度的镜质体、丝质体、沥青和笔石进行了详细研究。结果表明不同显微组分具有不同的SIMS谱图,反映出其化学组成和结构的差异性,且CH+2/CH+3参数变化趋势可以用来评价有机组分的热演化规律。 展开更多
关键词 源岩 化学组成 二次离子质谱 化学结构
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邻近铀微粒的二次离子质谱测量干扰研究 被引量:2
15
作者 张燕 赵永刚 +3 位作者 王同兴 沈彦 王凡 鹿捷 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期326-333,I0005,共9页
二次离子质谱(SIMS)测定铀微粒同位素比时,邻近微粒间可能产生干扰。在IMS-6f型SIMS上开展U350和U0002铀微粒在不同间距、不同测量顺序下铀同位素比测量研究,结果表明,微粒间距超过22μm(U350)和35μm(U0002)时,微粒的^(234)U/^(238)U、... 二次离子质谱(SIMS)测定铀微粒同位素比时,邻近微粒间可能产生干扰。在IMS-6f型SIMS上开展U350和U0002铀微粒在不同间距、不同测量顺序下铀同位素比测量研究,结果表明,微粒间距超过22μm(U350)和35μm(U0002)时,微粒的^(234)U/^(238)U、^(235)U/^(238)U、^(236)U/^(238)U测定结果与标称值相符;相同间距时,丰度低的微粒比丰度高的微粒受到的干扰严重,安全距离也更大;同一距离下,后测量的微粒比先测量的微粒受到的干扰严重,形貌疏松、尺寸小的微粒比密实、尺寸大的微粒受到的干扰严重。由已知两种丰度微粒计算得出的线性组合系数K_(4)(^(234)U/^(238)U)、K_(5)(^(235)U/^(238)U)和K_(6)(^(236)U/^(238)U)是否相近可以作为可疑混合微粒的判断准则。采用微操作进行单微粒剥离是消除相邻微粒干扰的有效方法。该工作为SIMS分析过程中有邻近微粒干扰时,发现、处理和排除可疑混合微粒数据,准确测量铀微粒同位素提供了参考。 展开更多
关键词 二次离子质谱(SIMS) 微粒分析 微操作 核保障
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飞行时间二次离子质谱在摩擦学领域中的应用 被引量:3
16
作者 丛培红 李同生 +1 位作者 刘旭军 森诚之 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期592-599,共8页
介绍了二次离子质谱(SIMS)的结构、基本原理、分析特点,特别是飞行时间二次离子质谱在摩擦学研究领域,如对涂层及摩擦反应膜、润滑油添加剂的吸附与反应、硬磁盘/磁头摩擦界面中的应用与进展,指出了飞行时间二次离子质谱分析中存在的问... 介绍了二次离子质谱(SIMS)的结构、基本原理、分析特点,特别是飞行时间二次离子质谱在摩擦学研究领域,如对涂层及摩擦反应膜、润滑油添加剂的吸附与反应、硬磁盘/磁头摩擦界面中的应用与进展,指出了飞行时间二次离子质谱分析中存在的问题,希望为摩擦学领域学者在表面分析方面提供一些新的启示. 展开更多
关键词 飞行时间二次离子质谱(TOF—SIMS) 表面分析 摩擦膜 硬磁盘/磁头摩擦学 摩擦化学反应
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二次离子质谱在HL-1托卡马克研究中的应用 被引量:2
17
作者 朱毓坤 王明旭 +2 位作者 张年满 严东海 洪文玉 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期47-54,64,共9页
应用LAS-2000二次离子质谱表面分析系统作了如下测量:(1)测出HL-1装置的总出气量以及其主要出气组分的出气量百分比和出气峰值温度等参数;(2)对等离子体-表面相互作用进行了SIMS/蒙特卡洛互补分析,测出等离... 应用LAS-2000二次离子质谱表面分析系统作了如下测量:(1)测出HL-1装置的总出气量以及其主要出气组分的出气量百分比和出气峰值温度等参数;(2)对等离子体-表面相互作用进行了SIMS/蒙特卡洛互补分析,测出等离子体边界层中氢气量径向特征长度和氢粒子注入硅片的特征深度,估算出氢通量平均动力温度;(3)对硅收集探针的SIMS/AES分析表明,HL-1等离子体删削层中主要杂质组分为O、C、Ni、Mo和Cr,同时给出原子密度相对百分比;在HL-1装置中用原位蒸钛来吸氧、碳杂质,从而提高了等离子体纯度和品质;(4)定期检测表明,装置的器壁表面污染呈减弱趋势,这说明HL-1真空系统的设计研制及运行维护技术措施等是合适的。 展开更多
关键词 离子体边界层 表面污染 二次离子质谱
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钢铁厂平炉尘单颗粒物的二次离子质谱研究 被引量:2
18
作者 梁汉东 于春海 +1 位作者 周强 李艳芳 《矿业安全与环保》 2001年第3期4-7,共4页
采用二次离子质谱( SIMS)对钢铁厂平炉尘单颗粒物( 20μ m以下)进行分 析研究,鉴别其中的无机和有机成分。从分析结果可以看出该平炉尘中含有多种金属元素 ( 包括稀土元素 )和多环芳烃系列( PAHS)。本文拟对颗粒物中氟化物的存... 采用二次离子质谱( SIMS)对钢铁厂平炉尘单颗粒物( 20μ m以下)进行分 析研究,鉴别其中的无机和有机成分。从分析结果可以看出该平炉尘中含有多种金属元素 ( 包括稀土元素 )和多环芳烃系列( PAHS)。本文拟对颗粒物中氟化物的存在状态进行了初 步探讨。 展开更多
关键词 SIMS 平炉尘 单颗粒物 无机元素 氟化物 钢铁厂 氟化物 二次离子质谱
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Ti-AlN界面组分分布的二次离子质谱研究 被引量:2
19
作者 岳瑞峰 王佑祥 +1 位作者 陈春华 徐传骧 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第1期50-57,共8页
采用电子束蒸发方法在200℃的抛光AlN陶瓷衬底上淀积厚度为22nm的Ti膜,并在高真空中退火。利用二次离子质谱(SIMS)对样品进行了深度剖析,给出了Ti/AlN界面组分分布随退火温度和时间的变化关系。在界面区发现了铝化物及其他反应产... 采用电子束蒸发方法在200℃的抛光AlN陶瓷衬底上淀积厚度为22nm的Ti膜,并在高真空中退火。利用二次离子质谱(SIMS)对样品进行了深度剖析,给出了Ti/AlN界面组分分布随退火温度和时间的变化关系。在界面区发现了铝化物及其他反应产物。结合卢瑟福背散射谱(RBS),X射线衍射分析(XRD)和Ti-Al-N三元相图推断,铝化物是Ti-Al二元和Ti-Al-N三元化合物。经850℃退火4h后其主要由Ti2AlN组成。 展开更多
关键词 二次离子质谱 组分分布 铝化物 薄膜 氮化铝陶瓷
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使用背散射与二次离子质谱方法分析类金刚石厚样品中的杂质 被引量:1
20
作者 郭猜 郑涛 +5 位作者 刘坤 杨江燕 田继挺 聂锐 马宏骥 丁富荣 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期156-159,共4页
卢瑟福背散射分析是测定薄膜或镀层成分和厚度的成熟手段,但在分析含多种微量元素成分的厚样品时,精确测定样品中多种元素的分布是比较困难的。二次离子质谱对样品表面成分有较高的质量分辨能力,可以作为对卢瑟福背散射分析的补充。在... 卢瑟福背散射分析是测定薄膜或镀层成分和厚度的成熟手段,但在分析含多种微量元素成分的厚样品时,精确测定样品中多种元素的分布是比较困难的。二次离子质谱对样品表面成分有较高的质量分辨能力,可以作为对卢瑟福背散射分析的补充。在北京大学2×1.7 MV串列静电加速器终端上,结合使用这两种分析方法,分析了类金刚石厚样品中的金属元素杂质。 展开更多
关键词 卢瑟福背散射 二次离子质谱 类金刚石薄膜
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