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题名低能电子束照射电介质样品的二次电子特性
被引量：6
- 1
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作者
汪春华
李维勤
张海波
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机构
西安航空学院电气工程系
西安理工大学自动化与信息工程学院
西安交通大学电子科学与技术系
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期144-149,共6页
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基金
国家自然科学基金(No.11175140)
陕西省教育厅科研计划项目(No.11JK0926)
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文摘
为阐明低能电子束照射下电介质样品的二次电子电流及产额的动态特性,将蒙特卡洛法和有限差分法相结合,建立了较为准确的电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值计算模型;采用一个改进二次电子检测实验平台,准确测量了二次电子电流.模拟和实验结果表明,相对于电子束脉冲照射模式,电子束连续照射会导致二次电子产额明显降低.在连续照射模式下,随着电子束照射,二次电子电流和产额逐渐减小至一个稳定值.二次电子产额受入射电子束电流的影响较小,但随样品厚度的增大而增大.本文结果为提高扫描电镜成像质量、降低带电效应提供了理论指导,而且提供了依据二次电子特性研究样品参数的新思路.
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关键词
电介质
电子束照射
二次电子电流
二次电子产额
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Keywords
dielectrics
electron beam irradiation
secondary electron current
secondary electron yield
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性
被引量：1
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作者
郝杰
李维勤
钱钧
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机构
西安航空学院
西安理工大学自动化与信息工程学院
西安应用光学研究所
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1028-1034,共7页
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基金
国家自然科学基金(No.11175140)
陕西省自然科学基金(2013JM8001)
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文摘
采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性.模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性.随着电子束照射,样品表面沿着深度方向的电场强度增强,更多的二次电子返回表面,从而产生图像衬度.图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值,而随电子束电流的增大而增大,模拟结果与实验结果基本一致.
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关键词
电介质
埋层结构
扫描电镜
二次电子电流
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Keywords
dielectrics
buried structure
scanning electron microscopy
secondary electron current
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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