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二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
1
作者
邓燕
王翔峰
+1 位作者
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造...
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
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关键词
干涉检测系统
传递函数
二元伪随机光栅
台阶
功率谱密度
中高频
制造误差
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职称材料
题名
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
1
作者
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金项目(2013B0401066)
文摘
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
关键词
干涉检测系统
传递函数
二元伪随机光栅
台阶
功率谱密度
中高频
制造误差
Keywords
interferometric measurement system
system transfer {unction
binary pseudo random grating
step
power spectrum density
mid and high spatial frequency
fabrication imperfection
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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出处
发文年
被引量
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1
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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