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光纤F-P腔干涉纳米级位移高分辨率测量
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作者 史国军 华震 赵忖 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1390-1394,共5页
激光抗干扰性好、复用能力强,光纤F-P腔干涉仪结构简单、灵敏度高,适于纳米级位移测量。为了进一步提高分辨率,扩展测量范围,本文对光纤F-P腔干涉信号的相位和功率进行分析。首先给出了二倍次方功率和分辨率的关系,找出了提高分辨率的... 激光抗干扰性好、复用能力强,光纤F-P腔干涉仪结构简单、灵敏度高,适于纳米级位移测量。为了进一步提高分辨率,扩展测量范围,本文对光纤F-P腔干涉信号的相位和功率进行分析。首先给出了二倍次方功率和分辨率的关系,找出了提高分辨率的途径。然后给出了二倍次方功率和干涉条纹变化的关系,确定了测量条件。最后根据光纤波在F-P腔内干涉形成的滞后相位,通过多次希尔伯特变换,实现了待测物体位移重构。数值模拟和实验证明了该方法能够实现高分辨率纳米级位移测量,误差小。 展开更多
关键词 光纤F-P干涉 纳米位移测量 二倍次方 多重希尔伯特变换
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