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退火温度对纳米TiO_2薄膜的乙醇气敏特性的影响(英文)
被引量：
5
1
作者
潘国峰
何平
+1 位作者
孙以材
高金雍
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期965-968,共4页
采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si(111)基片上制备纳米TiO2薄膜。首先将样品置于马孚炉中,分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理,然后利用XRD测定各退火条件下TiO2薄膜的晶粒尺寸和晶型,并对样品的气体敏感特性...
采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si(111)基片上制备纳米TiO2薄膜。首先将样品置于马孚炉中,分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理,然后利用XRD测定各退火条件下TiO2薄膜的晶粒尺寸和晶型,并对样品的气体敏感特性进行测试。实验结果表明:薄膜的结构、晶粒尺寸、晶相和气敏特性随着退火温度的不同而变化,经过500℃×3小时退火后的TiO2薄膜(锐钛矿相)对乙醇蒸汽的灵敏度最高,响应(恢复)时间为2-3s,并具有很好的选择性,其最佳工作温度为280℃左右。最后讨论了薄膜的乙醇气敏机理。
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关键词
TIO2薄膜
退火温度
乙醇气敏特性
灵
敏
度
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职称材料
退火温度对TiO_2纳米薄膜酒精气敏特性影响的研究(英文)
2
作者
李阳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期2019-2023,共5页
采用直流磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷管、硅基片上溅射制备了二氧化钛(TiO2)纳米薄膜材料.将薄膜样品放入管式退火炉中分别在500℃,700℃和1100℃温度下退火.由于退火温度的不同,薄膜的晶体结构、晶粒尺寸、晶向以及气敏特性都有所不同....
采用直流磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷管、硅基片上溅射制备了二氧化钛(TiO2)纳米薄膜材料.将薄膜样品放入管式退火炉中分别在500℃,700℃和1100℃温度下退火.由于退火温度的不同,薄膜的晶体结构、晶粒尺寸、晶向以及气敏特性都有所不同.利用X射线衍射(XRD)技术和薄膜气敏特性测试,分析了退火温度对薄膜气敏特性的影响.分析结果表明退火温度在500℃时,呈现锐钛矿结构,薄膜具有很好的选择性、很短的反应(恢复)时间.对TiO2薄膜表面进行修饰,发现此TiO2薄膜的最佳工作温度为370℃左右.薄膜的气敏机理也得到了讨论.
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关键词
二氧化钛纳米薄膜
退火温度
乙醇气敏特性
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职称材料
题名
退火温度对纳米TiO_2薄膜的乙醇气敏特性的影响(英文)
被引量：
5
1
作者
潘国峰
何平
孙以材
高金雍
机构
河北工业大学信息工程学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期965-968,共4页
基金
Natural science foundation of Hebei province(596145)
文摘
采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si(111)基片上制备纳米TiO2薄膜。首先将样品置于马孚炉中,分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理,然后利用XRD测定各退火条件下TiO2薄膜的晶粒尺寸和晶型,并对样品的气体敏感特性进行测试。实验结果表明:薄膜的结构、晶粒尺寸、晶相和气敏特性随着退火温度的不同而变化,经过500℃×3小时退火后的TiO2薄膜(锐钛矿相)对乙醇蒸汽的灵敏度最高,响应(恢复)时间为2-3s,并具有很好的选择性,其最佳工作温度为280℃左右。最后讨论了薄膜的乙醇气敏机理。
关键词
TIO2薄膜
退火温度
乙醇气敏特性
灵
敏
度
Keywords
TiO2 thin films
annealing temperature
ethanol-sensing properties
sensitivity
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
退火温度对TiO_2纳米薄膜酒精气敏特性影响的研究(英文)
2
作者
李阳
机构
五邑大学数学物理系纳米材料研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期2019-2023,共5页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(60437030)
文摘
采用直流磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷管、硅基片上溅射制备了二氧化钛(TiO2)纳米薄膜材料.将薄膜样品放入管式退火炉中分别在500℃,700℃和1100℃温度下退火.由于退火温度的不同,薄膜的晶体结构、晶粒尺寸、晶向以及气敏特性都有所不同.利用X射线衍射(XRD)技术和薄膜气敏特性测试,分析了退火温度对薄膜气敏特性的影响.分析结果表明退火温度在500℃时,呈现锐钛矿结构,薄膜具有很好的选择性、很短的反应(恢复)时间.对TiO2薄膜表面进行修饰,发现此TiO2薄膜的最佳工作温度为370℃左右.薄膜的气敏机理也得到了讨论.
关键词
二氧化钛纳米薄膜
退火温度
乙醇气敏特性
Keywords
TiO2 thin films Annealing temperature Ethanol-sensing properties
分类号
TN321.93 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
退火温度对纳米TiO_2薄膜的乙醇气敏特性的影响(英文)
潘国峰
何平
孙以材
高金雍
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
在线阅读
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职称材料
2
退火温度对TiO_2纳米薄膜酒精气敏特性影响的研究(英文)
李阳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
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