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聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜
被引量：
7
1
作者
张贺新
赵九蓬
+1 位作者
强亮生
权茂华
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2004年第2期132-135,共4页
采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH...
采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结果表明,当Sr-Ba-Nb前驱体溶胶的pH值为7,CA/EG=40:60时,可以获得稳定性好的溶胶.薄膜经750℃热处理,可以获得单相、表面均匀、无裂纹的铌酸锶钡铁电薄膜.
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关键词
铌酸锶钡
聚合物前驱体
柠檬酸
铁电薄膜
乙二醇加速溶液
有机物化学气相沉积
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职称材料
题名
聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜
被引量：
7
1
作者
张贺新
赵九蓬
强亮生
权茂华
机构
哈尔滨工业大学应用化学系
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2004年第2期132-135,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50232030).
文摘
采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结果表明,当Sr-Ba-Nb前驱体溶胶的pH值为7,CA/EG=40:60时,可以获得稳定性好的溶胶.薄膜经750℃热处理,可以获得单相、表面均匀、无裂纹的铌酸锶钡铁电薄膜.
关键词
铌酸锶钡
聚合物前驱体
柠檬酸
铁电薄膜
乙二醇加速溶液
有机物化学气相沉积
Keywords
SBN
ferroelectric
thin film
polymeric precursor method
citric acid
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜
张贺新
赵九蓬
强亮生
权茂华
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2004
7
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