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题名基于MgF_2波导的谐振型乐甫波器件特性研究
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作者
李杰
杜晓松
胡佳
蒋亚东
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机构
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第10期60-62,65,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60736005)
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文摘
在浅体声波(SSBW)器件上采用真空热蒸发法制备MgF2波导层,研究了器件的频率、插损、质量灵敏度随波导层厚度变化的特性。当波导层厚度约为2.48μm时,器件的插损最小(-23.93 dB);当波导层厚度约为6.5μm时,器件获得了最大质量灵敏度416.7 cm2.g-1。并分析了不同沉积速率对薄膜质量的影响。实验结果表明:要制备高质量的薄膜必须采用低的薄膜沉积速率,MgF2薄膜可作为乐甫波器件的波导层材料。
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关键词
乐甫波器件
波导
质量灵敏度
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Keywords
Love wave device
guiding
mass sensitivity
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名适合于液相检测的乐甫波传感器
被引量：6
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作者
潘海峰
朱惠忠
冯冠平
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2003年第3期10-12,共3页
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基金
国家自然科学基金 (39970 644)
清华大学机械工程学院"985"基金的资助
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文摘
乐甫波 (Lovewave)是声表面波的一种 ,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波。论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯 (PM MA)和熔融石英 (SiO2 )的乐甫波器件的制作。通过测量器件的传输参数S2 1和插损 ,比较了瑞利波器件和不同声波导层构成的乐甫波器件在气相和液相的特性 ,证明了乐甫波传感器适合于液相检测而瑞利波传感器不适合 ,而且 ,SiO2
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关键词
乐甫波器件
乐甫波传感器
液相
插损
声表面波
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Keywords
Love Wave Device
Love Wave Sensor
Liquid
Insertion Loss
Surface Acoustic Wave
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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