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磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计
1
作者
王晓兰
罗敢
王岳环
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2002年第7期221-223,233,共4页
该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。
关键词
稳
速
精度
单片机控制
磁盘伺服图形光刻机
主轴稳速系统
设计
磁盘驱动器
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计
1
作者
王晓兰
罗敢
王岳环
机构
华中科技大学计算机学院
出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2002年第7期221-223,233,共4页
基金
国家自然科学重点基金项目资助(编号:69133020)
文摘
该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。
关键词
稳
速
精度
单片机控制
磁盘伺服图形光刻机
主轴稳速系统
设计
磁盘驱动器
Keywords
Optical etching machine,Precision of speed stablization,Single chip microcomputer control
分类号
TP333.35 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计
王晓兰
罗敢
王岳环
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2002
0
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