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高功率准分子激光主振荡功率放大系统光学元件的稳定性
被引量：
3
1
作者
沈炎龙
黄珂
+2 位作者
马连英
郑国鑫
王大辉
《中国光学》
EI
CAS
2011年第1期66-71,共6页
为了分析高功率准分子激光主振荡功率放大(MOPA)系统中各光学元件稳定性对靶面光斑定位精度的影响,建立了分析模型,利用分析结果指导高稳定性镜架设计以满足系统实验需求。根据高功率准分子激光MOPA系统特点,有效地简化了系统光路,建立...
为了分析高功率准分子激光主振荡功率放大(MOPA)系统中各光学元件稳定性对靶面光斑定位精度的影响,建立了分析模型,利用分析结果指导高稳定性镜架设计以满足系统实验需求。根据高功率准分子激光MOPA系统特点,有效地简化了系统光路,建立了系统光路模型;按照系统打靶精度要求,利用三维坐标变换和光线追迹法,计算得到了系统单个光学元件稳定性对靶面光斑定位精度的影响规律;最后,对自行设计的镜架进行了稳定性测量。计算结果表明,反射镜的旋转变化和透镜垂直光轴的平移变化是影响靶面光斑定位精度的主要因素,且主放大光路中反射镜在X方向和Y方向上最大的变化范围分别不能超过0.8和1.6μrad。实际测量结果表明,设计的镜架在X方向和Y方向最大的变化范围分别为0.6和0.81μrad,满足系统实验要求。
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关键词
准分子激光
主振荡功率放大系统
坐标变换
光线追迹
稳定性
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职称材料
题名
高功率准分子激光主振荡功率放大系统光学元件的稳定性
被引量：
3
1
作者
沈炎龙
黄珂
马连英
郑国鑫
王大辉
机构
西北核技术研究所
出处
《中国光学》
EI
CAS
2011年第1期66-71,共6页
基金
激光与物质相互作用国家重点实验室基金资助项目(No.SKL110904)
文摘
为了分析高功率准分子激光主振荡功率放大(MOPA)系统中各光学元件稳定性对靶面光斑定位精度的影响,建立了分析模型,利用分析结果指导高稳定性镜架设计以满足系统实验需求。根据高功率准分子激光MOPA系统特点,有效地简化了系统光路,建立了系统光路模型;按照系统打靶精度要求,利用三维坐标变换和光线追迹法,计算得到了系统单个光学元件稳定性对靶面光斑定位精度的影响规律;最后,对自行设计的镜架进行了稳定性测量。计算结果表明,反射镜的旋转变化和透镜垂直光轴的平移变化是影响靶面光斑定位精度的主要因素,且主放大光路中反射镜在X方向和Y方向上最大的变化范围分别不能超过0.8和1.6μrad。实际测量结果表明,设计的镜架在X方向和Y方向最大的变化范围分别为0.6和0.81μrad,满足系统实验要求。
关键词
准分子激光
主振荡功率放大系统
坐标变换
光线追迹
稳定性
Keywords
excimer laser
Master Oscillator Power Amplification （MOPA） system
coordinate conversion
ray- tracing
stability
分类号
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功率准分子激光主振荡功率放大系统光学元件的稳定性
沈炎龙
黄珂
马连英
郑国鑫
王大辉
《中国光学》
EI
CAS
2011
3
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职称材料
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参考文献
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