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非制冷式红外热像仪敏感元件动态特性的测试
被引量：
3
1
作者
彭冲
张培强
张青川
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期391-397,共7页
介绍了对微型机械结构(非制冷式红外热像仪的敏感元件)的动态特性的测试方法的研究.分别用谱平面光学滤波法和主动零差光纤干涉法对敏感元件进行了测试,并与有限元模拟计算的结果进行了比较,结果接近.并将后者制作成一种MEMS的微结构测...
介绍了对微型机械结构(非制冷式红外热像仪的敏感元件)的动态特性的测试方法的研究.分别用谱平面光学滤波法和主动零差光纤干涉法对敏感元件进行了测试,并与有限元模拟计算的结果进行了比较,结果接近.并将后者制作成一种MEMS的微结构测试系统.通过对测试方法的研究,我们得到了一些对敏感元件的设计和评估有重要指导作用的动态参数,也得到了一种有效的MEMS微结构动态测试方法.
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关键词
非制冷式红外热像仪
动态特性
谱面滤波
主动零差光纤干涉仪
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职称材料
题名
非制冷式红外热像仪敏感元件动态特性的测试
被引量：
3
1
作者
彭冲
张培强
张青川
机构
中国科学技术大学力学和机械工程系
出处
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期391-397,共7页
基金
国家自然科学基金(10232030)资助
文摘
介绍了对微型机械结构(非制冷式红外热像仪的敏感元件)的动态特性的测试方法的研究.分别用谱平面光学滤波法和主动零差光纤干涉法对敏感元件进行了测试,并与有限元模拟计算的结果进行了比较,结果接近.并将后者制作成一种MEMS的微结构测试系统.通过对测试方法的研究,我们得到了一些对敏感元件的设计和评估有重要指导作用的动态参数,也得到了一种有效的MEMS微结构动态测试方法.
关键词
非制冷式红外热像仪
动态特性
谱面滤波
主动零差光纤干涉仪
Keywords
uncooled IR imaging system
dynamic characteristic
spectra plane optic filtering methed
active homodyne optic-fiber interferometer
分类号
O348.11 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非制冷式红外热像仪敏感元件动态特性的测试
彭冲
张培强
张青川
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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