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定向凝固多晶硅在微纳尺度下的力学性能研究
1
作者
黄哲远
王文先
+1 位作者
闫志峰
张婷婷
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第14期11-15,共5页
采用纳米压痕测试系统测试了定向凝固多晶硅沿晶体生长方向横/纵截面的硬度与弹性模量,分析了其受组织各向异性影响的变化规律。使用连续刚度方法借助玻氏压头采集压痕开裂前的硬度与弹性模量,并测量压痕开裂后裂纹尖端到压痕中心点的距...
采用纳米压痕测试系统测试了定向凝固多晶硅沿晶体生长方向横/纵截面的硬度与弹性模量,分析了其受组织各向异性影响的变化规律。使用连续刚度方法借助玻氏压头采集压痕开裂前的硬度与弹性模量,并测量压痕开裂后裂纹尖端到压痕中心点的距离,一次性计算出材料的断裂韧性,避免了开裂对硬度以及弹性模量的影响。结果表明:横截面(110)面的硬度与弹性模量均低于纵截面(111)面,但断裂韧性呈现相反趋势。借助3D原位扫描功能扫描压痕裂纹的三维形貌,发现裂纹主要由剪切滑移台阶所形成。拟合不同载荷下的裂纹长度以及压痕尺寸得出临界压痕尺寸,该值与运用理论推导得出的临界压痕尺寸的结果一致。
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关键词
纳米压
痕
测试系统
多晶硅
断裂韧性
临界压痕尺寸
定向凝固
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职称材料
题名
定向凝固多晶硅在微纳尺度下的力学性能研究
1
作者
黄哲远
王文先
闫志峰
张婷婷
机构
太原理工大学材料科学与工程学院
新材料界面科学与工程教育部重点实验室
先进镁基材料山西省重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第14期11-15,共5页
基金
山西省回国留学人员科研资助项目(2013-029)
文摘
采用纳米压痕测试系统测试了定向凝固多晶硅沿晶体生长方向横/纵截面的硬度与弹性模量,分析了其受组织各向异性影响的变化规律。使用连续刚度方法借助玻氏压头采集压痕开裂前的硬度与弹性模量,并测量压痕开裂后裂纹尖端到压痕中心点的距离,一次性计算出材料的断裂韧性,避免了开裂对硬度以及弹性模量的影响。结果表明:横截面(110)面的硬度与弹性模量均低于纵截面(111)面,但断裂韧性呈现相反趋势。借助3D原位扫描功能扫描压痕裂纹的三维形貌,发现裂纹主要由剪切滑移台阶所形成。拟合不同载荷下的裂纹长度以及压痕尺寸得出临界压痕尺寸,该值与运用理论推导得出的临界压痕尺寸的结果一致。
关键词
纳米压
痕
测试系统
多晶硅
断裂韧性
临界压痕尺寸
定向凝固
Keywords
nano-indentation
polysilicon
fracture toughness
critical indentation size
directional solidification
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
定向凝固多晶硅在微纳尺度下的力学性能研究
黄哲远
王文先
闫志峰
张婷婷
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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参考文献
引证文献
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