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题名中红外带通滤光片的设计与制备
被引量：16
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作者
陈朝平
师建涛
郭芮
白波
杨崇民
郭鸿香
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机构
西安应用光学研究所
驻西安北方光电集团军事代表室
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期595-598,共4页
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文摘
中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法。详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论,给出了膜系结构,运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片,测试结果表明:所制备的滤光片峰值透过率达到87%以上,通带半宽度为70nm,光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现。
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关键词
中红外带通滤光片
薄膜
离子辅助沉积
通带半宽度
峰值透过率
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Keywords
mid-infrared bandpass filter
thin films
ion beam assisted deposition（IBAD）
full width at half maximum（FWHM）
peak transmission
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分类号
TN205
[电子电信—物理电子学]
O484.4
[理学—固体物理]
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