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基于旋滤波法的干涉条纹预处理技术
被引量：
5
1
作者
徐建程
许乔
+1 位作者
柴立群
邓燕
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期69-72,共4页
提出了一种新的基于旋滤波法的干涉条纹预处理方法。该方法根据条纹图灰度值梯度分布规律,只在干涉条纹切线方向进行中值滤波,它能有效地处理各种相干噪声而不会使条纹变模糊。实验证明该方法能有效地去除随机噪声、椒盐噪声以及由于光...
提出了一种新的基于旋滤波法的干涉条纹预处理方法。该方法根据条纹图灰度值梯度分布规律,只在干涉条纹切线方向进行中值滤波,它能有效地处理各种相干噪声而不会使条纹变模糊。实验证明该方法能有效地去除随机噪声、椒盐噪声以及由于光照不均匀引起的较大面积的亮斑或暗斑等噪声。对于亮斑或暗斑,其滤波效果要明显优于Gerchberg外插迭代算法。以WYKO相移干涉仪5次测量的面形平均值作为被测面形的参考值,则经过预处理后,抑制了噪声引起的局部误差,傅里叶变换法计算得到PV值的误差从未预处理的14.4%(全口径)、13.1%(95%口径)分别减小到3.4%(全口径)、1.5%(95%口径);RMS误差从28.7%(全口径)、23.3%(95%口径)分别减小到5.0%(全口径)、2.3%(95%口径)。
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关键词
光学检测
干涉测量
干涉条纹分析
傅里叶变换
中值旋滤波法
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职称材料
题名
基于旋滤波法的干涉条纹预处理技术
被引量：
5
1
作者
徐建程
许乔
柴立群
邓燕
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期69-72,共4页
基金
中国工程物理研究院基金资助课题
文摘
提出了一种新的基于旋滤波法的干涉条纹预处理方法。该方法根据条纹图灰度值梯度分布规律,只在干涉条纹切线方向进行中值滤波,它能有效地处理各种相干噪声而不会使条纹变模糊。实验证明该方法能有效地去除随机噪声、椒盐噪声以及由于光照不均匀引起的较大面积的亮斑或暗斑等噪声。对于亮斑或暗斑,其滤波效果要明显优于Gerchberg外插迭代算法。以WYKO相移干涉仪5次测量的面形平均值作为被测面形的参考值,则经过预处理后,抑制了噪声引起的局部误差,傅里叶变换法计算得到PV值的误差从未预处理的14.4%(全口径)、13.1%(95%口径)分别减小到3.4%(全口径)、1.5%(95%口径);RMS误差从28.7%(全口径)、23.3%(95%口径)分别减小到5.0%(全口径)、2.3%(95%口径)。
关键词
光学检测
干涉测量
干涉条纹分析
傅里叶变换
中值旋滤波法
Keywords
Optical test
Interferometry
Fourier transform
Fringe-pattern analysis
Median spin filtering
分类号
TN012 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于旋滤波法的干涉条纹预处理技术
徐建程
许乔
柴立群
邓燕
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
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