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严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
被引量:
1
1
作者
陈刚
孙可
刘浩
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期22-24,共3页
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅...
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅厚度相关;在一定条件下两者非常接近。
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关键词
正弦光栅
衍射效率
严格耦合波方法
计算
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职称材料
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
被引量:
7
2
作者
蔡托
桑田
赵华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期141-146,共6页
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作...
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明,当谐波数不断增加,即便对于厚光栅(d/λ>10)情形,光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。
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关键词
衍射光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射效率
收敛性
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职称材料
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
被引量:
2
3
作者
梁利杰
刘丽琴
+7 位作者
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计...
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
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关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
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职称材料
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
被引量:
6
4
作者
董亭亭
付跃刚
+3 位作者
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期235-240,共6页
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根...
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根据结果得到射频功率、气体流量及工作气压对微结构侧壁陡直度及形貌具有很大影响。还分析比较了形状(t为实际柱顶面直径与底面直径之比)与反射率的关系。采用热场发射扫描电子显微镜对该结构进行形貌表征,综合显微成像红外光谱仪对反射率进行测量。实验结果:制作了单面、双面微结构与无结构本征硅片反射率做比较双面圆柱形微结构的抗反射效果最好,反射率达8%左右,基本达到抗反射设计要求。
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关键词
严格
耦合
波
分析
方法
(RCWA)
圆柱形微结构
反应离子刻蚀
反射率
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职称材料
采样光栅设计与衍射行为分析
被引量:
5
5
作者
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期28-29,共2页
从一维矩形光栅的衍射特性分析开始,将一维矩形光栅结构作一定的改变设计出采样光栅。将设计出的变周期采样光栅作适当的近似处理,然后用严格的耦合波分析方法对它的衍射特性进行了详细分析。
关键词
矩形光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
采样光栅
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职称材料
衍射光栅分析软件构建与使用
6
作者
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期15-17,共3页
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要...
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要说明。然后对本软件所具有的功能一一举例,详细说明软件的使用方法。
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关键词
标量衍射理论
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射光栅
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职称材料
题名
严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
被引量:
1
1
作者
陈刚
孙可
刘浩
机构
南京信息职业技术学院微电子学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期22-24,共3页
基金
江苏省科技厅科技支撑计划项目(BE2009171)
文摘
为了研究振幅型光栅的衍射效率,运用严格耦合波方法建立立体正弦透射光栅的计算模型。用Matlab软件编程计算衍射效率,并模拟了光栅层附近区域内的光场振幅和相位分布。计算结果表明模型衍射效率与平面的正弦型光栅有差别,其与周期,光栅厚度相关;在一定条件下两者非常接近。
关键词
正弦光栅
衍射效率
严格耦合波方法
计算
Keywords
sinusoidal gratings
diffraction efficiency
rigousous coupled wave method
calculation
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
被引量:
7
2
作者
蔡托
桑田
赵华
机构
黔南民族师范学院物理与电子科学系
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期141-146,共6页
基金
贵州省省长基金资助项目(200847)
文摘
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明,当谐波数不断增加,即便对于厚光栅(d/λ>10)情形,光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。
关键词
衍射光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射效率
收敛性
Keywords
diffraction grating
rigorous coupled-wave analysis
diffraction efficiency
convergence
分类号
O437.4 [机械工程—光学工程]
TN253 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
被引量:
2
3
作者
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
机构
中国计量大学计量测试工程学院
上海市计量测试技术研究院
上海在线检测与控制技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基金
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300)
上海市自然科学基金项目(21ZR1483100)
上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。
文摘
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
Keywords
s:elf-traceable grating
rigorous coupled-wave method
diffraction efficiency
Littrow angle
measurement
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
被引量:
6
4
作者
董亭亭
付跃刚
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
机构
长春理工大学光电工程学院
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期235-240,共6页
基金
国家自然科学基金(61108044)
吉林省自然科研基金(20150101038JC)
文摘
应用严格耦合波分析方法(RCWA),在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根据结果得到射频功率、气体流量及工作气压对微结构侧壁陡直度及形貌具有很大影响。还分析比较了形状(t为实际柱顶面直径与底面直径之比)与反射率的关系。采用热场发射扫描电子显微镜对该结构进行形貌表征,综合显微成像红外光谱仪对反射率进行测量。实验结果:制作了单面、双面微结构与无结构本征硅片反射率做比较双面圆柱形微结构的抗反射效果最好,反射率达8%左右,基本达到抗反射设计要求。
关键词
严格
耦合
波
分析
方法
(RCWA)
圆柱形微结构
反应离子刻蚀
反射率
Keywords
rigorous coupled wave analysis(RCWA)
cylindrical microstructure
RIE
reflectance
分类号
O485 [理学—固体物理]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
采样光栅设计与衍射行为分析
被引量:
5
5
作者
陈德伟
机构
常州工学院电子信息与电气工程系
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期28-29,共2页
文摘
从一维矩形光栅的衍射特性分析开始,将一维矩形光栅结构作一定的改变设计出采样光栅。将设计出的变周期采样光栅作适当的近似处理,然后用严格的耦合波分析方法对它的衍射特性进行了详细分析。
关键词
矩形光栅
严格
的
耦合
波
分析
方法
采样光栅
Keywords
Rectangular grating
Rigorous coupled -wave analysis
Beam sampling grating
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
衍射光栅分析软件构建与使用
6
作者
陈德伟
机构
常州工学院电子信息与电气工程学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期15-17,共3页
文摘
详细介绍了一套自主开发设计,基于标量衍射理论和严格耦合波分析方法,运行于Matlab平台下的衍射光栅分析软件,它将各种各样的光栅按照面形结构的不同,分类进行分析。首先简要介绍了Matlab环境中软件的构建步骤,对一些关键命令作了简要说明。然后对本软件所具有的功能一一举例,详细说明软件的使用方法。
关键词
标量衍射理论
严格
的
耦合
波
分析
方法
衍射光栅
Keywords
scalar diffraction theory
rigorous coupled-wave analysis
diffractive grating
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
严格耦合波方法计算立体正弦光栅衍射效率
陈刚
孙可
刘浩
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
2
光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论
蔡托
桑田
赵华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
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职称材料
3
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
2
在线阅读
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职称材料
4
Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作
董亭亭
付跃刚
陈驰
张磊
马辰昊
赵玄
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016
6
在线阅读
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职称材料
5
采样光栅设计与衍射行为分析
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
衍射光栅分析软件构建与使用
陈德伟
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
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