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题名耦合波法和模式匹配法分析亚波长光栅中的光场分布
被引量：1
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作者
杨惠尹
张大伟
黄元申
倪争技
庄松林
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期29-31,共3页
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文摘
对于亚波长微结构光学元件,其特征尺寸为波长量级或亚波长量级,刻蚀深度也较大,标量衍射理论中的假设和近似己不再成立。此时,光的偏振性质和不同偏振光之间的相互作用对光的衍射结果起着重大作用,因此,必须应用严格的矢量衍射方法来分析和进行设计。在光栅问题的精确数值计算方法中,目前常用的两种方法为耦合波法和模式匹配法。我们应用耦合波法或模式匹配法,能够处理任意面型,任意入射面,任意厚度和任意折射率的光栅衍射问题。本文分别详尽介绍了两种方法的理论分析,最后给出了二者的异同及它们的优缺点。
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关键词
亚波长光栅
模式匹配
耦合波
严格矢量分析
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Keywords
subwavelength grating
pattern - matching
coupling - wave
rigorous vector method
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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