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题名双质量硅微机械陀螺仪正交校正系统设计及测试
被引量：8
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作者
曹慧亮
李宏生
申冲
石云波
刘俊
杨波
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
东南大学仪器科学与工程学院
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2015年第4期544-549,共6页
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基金
总装预研基金项目(9140A09011313JW06119)
江苏省科技攻关项目(BE2014003-3)
+4 种基金
国家杰出青年科学基金(51225504)
国防973(2012CB723404)
国家自然科学基金委员会
中国工程物理研究院联合基金资助(U1230114)
中北大学校基金
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文摘
为了减小正交误差对双质量硅微机械陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对双质量结构正交耦合刚度校正法进行了研究。首先,针对双质量陀螺结构的特殊形式,分析了其左、右结构中正交耦合刚度不相等的原因,并结合相敏检测相位误差对正交耦合刚度值进行了计算,进一步量化了其对输出信号的影响;其次,结合正交校正梳齿结构介绍了耦合刚度校正法的工作原理,并基于左、右结构单独校正的方法设计了双质量结构正交校正控制系统;最后,对正交校正前后的双质量微机械陀螺仪进行了详细测试,结果证实了双质量单独校正比整体校正效果更好,各项参数均有较大提高,其中零偏稳定性从校正前的540(°)/h提高到了正交后的24.05(°)/h(1σ),证明了提出的两质量块单独校正方法的可行性和实用性。
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关键词
双质量硅微机械陀螺仪
正交误差
正交耦合刚度校正
两质量块单独校正
性能测试
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Keywords
dual-mess MEMS gyroscope
quadrature error
coupling stiffness correction
two mass separate correction
performance test
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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