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三维原子探针纳米针尖制备装置研制及应用
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作者 赵磊 吴雨菲 +3 位作者 刘吉梓 吴森达 祖莉 吴志林 《实验技术与管理》 北大核心 2025年第5期169-173,共5页
三维原子探针是一种先进的材料表征设备,可用来分析样品在纳米尺度空间中化学元素的分布及含量。为克服目前人工制备三维原子探针纳米针尖样品效率低、质量差的问题,该文设计了金属纳米针尖制备专用装置,分为粗抛、清洗和精抛三个部分,... 三维原子探针是一种先进的材料表征设备,可用来分析样品在纳米尺度空间中化学元素的分布及含量。为克服目前人工制备三维原子探针纳米针尖样品效率低、质量差的问题,该文设计了金属纳米针尖制备专用装置,分为粗抛、清洗和精抛三个部分,通过电控系统实现制备过程的自动化。使用该装置分别制备了5种金属材料(Al、Al基合金、Mo、Fe基合金、Ti合金)的纳米针尖,制备出的纳米针尖质量高,且制备效率高、成功率高。该装置可用于实验室纳米针尖的制备,也可用于材料分析与测试相关领域的实验教学工作。 展开更多
关键词 三维原子探针 纳米针尖 电化学抛光 专用制样装置
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