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压电微动平台的精密运动控制
1
作者
于保军
司苏美
+1 位作者
林洁琼
靖贤
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第A02期40-42,46,共4页
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分...
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。
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关键词
迟滞非线性
精密运动控制
不确定性和干扰估计
RBF网络自适应鲁棒滑模控制
压电纳米微动定位平台
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职称材料
题名
压电微动平台的精密运动控制
1
作者
于保军
司苏美
林洁琼
靖贤
机构
长春工业大学机电工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第A02期40-42,46,共4页
基金
国家基金项目(51375060)
大型科学仪器共享共用-精密车床辅助切削关键技术的研究(20140622008JC)
文摘
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。
关键词
迟滞非线性
精密运动控制
不确定性和干扰估计
RBF网络自适应鲁棒滑模控制
压电纳米微动定位平台
Keywords
Hysteresis Honlinearity
Precision Motion Control
Uncertainty and Interference Estimation
RBF Netw-ork Adaptive Robust Sliding Mode Control
Piezoelectric Nano-Micro-Motion Positioning Platform
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
压电微动平台的精密运动控制
于保军
司苏美
林洁琼
靖贤
《机械设计与制造》
北大核心
2018
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